【技术实现步骤摘要】
PFA供液压力储液罐
[0001]本技术涉及半导体/光电产业/化合物
,尤其涉及PFA供液压力储液罐。
技术介绍
[0002]传统化学供液模式通常采用化学气动隔膜泵或电动离心泵或重力等供液模式,该种模式存在的缺点为供液时候易产生脉冲造成液体波动不稳定状态,同时流量及流场也无法进行精准的控制,而在半导体先进工艺制程要求越来越严苛的条件下,对于设备的精准及精度要求也日趋严格,所以为突破传统供液的缺陷问题改进提升,特研发用氮气加压供液以供企业使用。
技术实现思路
[0003]技术目的:为了解决
技术介绍
中存在的不足,所以本技术公开了PFA供液压力储液罐。
[0004]技术方案:PFA供液压力储液罐,包括由PFA材料制成的外壳,所述外壳包括罐体和盖体,且所述盖体可拧接固定在罐体上方,所述盖体的侧边设有进液口,所述盖体的顶部上方设有用于注入氮气的进气口和用于排气的排气口,所述罐体的底部设有排液口,所述罐体和盖体的侧部共同安装有液位检测组件。
[0005]进一步的是,所述罐体上方设置有拧接座,所述盖体可拧接固定在拧接座内。
[0006]进一步的是,所述进气口注入氮气的压力为2kg。
[0007]进一步的是,所述氮气采用纯度为99.999%的氮气。
[0008]进一步的是,所述排气口上设置有排气阀。
[0009]进一步的是,所述液位检测组件包括连接设置在罐体和盖体外部的检测管路、以及安装在检测管路上下两侧的两个液位传感器。
[0010]进一步的是,每个所述液位 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.PFA供液压力储液罐,其特征在于,包括由PFA材料制成的外壳,所述外壳包括罐体和盖体,且所述盖体可拧接固定在罐体上方,所述盖体的侧边设有进液口,所述盖体的顶部上方设有用于注入氮气的进气口和用于排气的排气口,所述罐体的底部设有排液口,所述罐体和盖体的侧部共同安装有液位检测组件。2.根据权利要求1所述的PFA供液压力储液罐,其特征在于,所述罐体上方设置有拧接座,所述盖体可拧接固定在拧接座内。3.根据权利要求1所述的PFA供液压力储液罐,其特征在于,所述进气口注入氮...
【专利技术属性】
技术研发人员:周志刚,王静强,徐福兴,黄锡钦,陈亮,
申请(专利权)人:昆山基侑电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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