一种具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，包括一泵体，其内部形成中空的泵腔，该泵腔中设有至少两个叶轮；该泵体包括一进气口及一排气口；该泵体上设有至少一冷却气体通道，这些冷却气体通道具有一内侧端开口连通该泵体内部的该泵腔，及一外侧端入口连通该泵体的外部空间；该冷却气体通道用于将外部的冷却气体输入到该泵腔，并吸收该泵腔内部的热量后从该排气口排出；一水冷机构位于该泵体的排气口的周围，该水冷机构内部形成水槽环绕该排气口外侧，该水冷机构还包括一冷却水进口及一冷却水出口；该冷却水进口用于将外部的冷却水输入到该水槽，而吸收该排气口的热量后从该冷却水出口向外输出。出口向外输出。出口向外输出。
【技术实现步骤摘要】
具有气水混合冷却机构的气冷泵装置
[0001]本技术有关于气冷泵装置，尤其是一种具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置。
技术介绍
[0002]现有技术的真空泵，例如罗茨真空泵，为具有8字型叶轮的结构。罗茨真空泵在运作时，应用叶轮的旋转，将气体从输入端抽入，并通过叶轮传送到输出端再向外输出。
[0003]由于罗茨真空泵运作时，其内部气体的输送，以及叶轮的旋转，皆会使得罗茨真空泵的腔体温度升高，而真空泵内部的温度会影响整个真空泵的抽气速度及真空度。当温度越高，则整个真空泵的抽气速度越低，所能达到的真空度也就越低。
[0004]但一般的罗茨真空泵缺乏有效的冷却结构，因此容易导致罗茨真空泵的运作效率不佳，无法达到应有的效能，因此本技术技术提出一种可以结合有冷却结构的罗茨真空泵，可以对罗茨真空泵进行有效的冷却，将罗茨真空泵的腔体温度控制在良好的范围，以提高罗茨真空泵的运作效率。
[0005]故本技术提出一种崭新的具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，以解决上述现有技术上的缺陷。
技术实现思路
[0006]所以本技术的目的为解决上述现有技术上的问题，本技术中提出一种具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，在泵体上配置冷却气体通道连通泵体内部的泵腔，并在泵体的排气口处配置水冷机构，应用该冷却气体通道将冷却气体输入该泵腔内，以及应用水冷机构内的冷却水，而同时对该泵体进行散热，使其保持在适当的温度，可以达到相当好的冷却效果。本技术可以控制冷却气体的输入时间及输入量，使得预进气时间较晚，气量比例低，反流时间短，对于抽气速度及真空度的影响可以降低到最小。因此应用本技术的气冷及水冷的混合冷却机制，可以将整个泵体的工作温度保持在一定的范围内，不但使得整个真空泵可以长时间正常运作，同时也可以明显提升真空泵的效能，而不会因为高温而导致效能降低。
[0007]为达到上述目的本技术中提出一种具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，包括一泵体，其内部形成中空的泵腔，该泵腔中设有至少两叶轮；该泵体包括一进气口及一排气口，该泵体通过该进气口接收外部输入的气体，并通过该叶轮的转动，将气体压缩后从该排气口向外输出；该泵体上设有至少一冷却气体通道，这些冷却气体通道具有一内侧端开口连通该泵体内部的该泵腔，及一外侧端入口连通该泵体的外部空间；该冷却气体通道的外侧端入口用于接收外部输入的冷却气体，使得该冷却气体通过该冷却气体通道输入该泵腔，并吸收该泵腔内部的热量后从该排气口排出，而达到对该泵体冷却的目的；以及一水冷机构，位于该泵体的排气口的周围，该水冷机构内部形成水槽，该水槽环绕该排气口外侧，该水冷机构还包括一冷却水进口及一冷却水出口，该冷却水进口及该冷却水出口连
通该水槽；该冷却水进口用于接收外部输入的冷却水，使得该冷却水在该水槽流动，而吸收该排气口的热量后从该冷却水出口向外输出，而达到对该泵体冷却的目的。
[0008]由下文的说明可更进一步了解本技术的特征及其优点，阅读时并请参考附图。
附图说明
[0009]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0010]图1显示本技术的元件组合示意图。
[0011]图2显示图1的元件组合的另一侧示意图。
[0012]图3显示本技术的水冷机构的水槽示意图，其中未显示水盖。
[0013]图4显示图1中A
‑
A
’
方向的截面示意图。
[0014]图5显示本技术的另一元件组合示意图。
[0015]图6显示图5的元件组合的另一侧示意图。
具体实施方式
[0016]现就本技术的结构组成，及所能产生的功效与优点，配合附图，举本技术的一较佳实施例详细说明如下。
[0017]请参考图1至图6所示，显示本技术的具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，包括下列元件：
[0018]一泵体1，其内部形成中空的泵腔16，如图1及图4所示，该泵腔16中设有至少两个叶轮21、22。该泵体包括一进气口11及一排气口15，该泵体1通过该进气口11接收外部输入的气体，并通过该叶轮21、22的转动，将气体压缩后从该排气口15向外输出。其中这些叶轮21、22为8字型叶轮，其容积效率较高。较佳的该叶轮为两个叶轮21、22。但叶轮的数量并不用于限制本技术的范围，只要是具有大于两个叶轮的泵体皆属于本技术的范围。较佳的该泵体1为罗茨真空泵。
[0019]该泵体1还包括位于前侧的一第一端盖31、位于后侧的一第二端盖32、位于该第一端盖31前方的一前盖4、位于该前盖4前方的一电机连接架5及位于该第二端盖32后方的一后盖6。
[0020]如图1、图2及图4所示，该泵体1上设有至少一冷却气体通道12，这些冷却气体通道12具有一内侧端开口121连通该泵体1内部的该泵腔16，及一外侧端入口122连通该泵体1的外部空间。较佳的该冷却气体通道12为两个，位于该泵体1的两对侧处。该冷却气体通道12的外侧端入口122用于接收外部输入的冷却气体，使得该冷却气体通过该冷却气体通道12输入该泵腔16，并吸收该泵腔16内部的热量后从该排气口15排出，而达到对该泵体1冷却的目的。较佳的该冷却气体通道12的内侧端开口121位于靠近该排气口15的位置。
[0021]一水冷机构10，位于该泵体1的排气口15的周围，该水冷机构10内部形成水槽14，该水槽14环绕该排气口15外侧(如图3所示)，该水冷机构10还包括一冷却水进口141及一冷却水出口142，该冷却水进口141及该冷却水出口142连通该水槽14。该水冷机构10还包括一水盖7封闭该水槽14的底部，使得该水冷机构10除了该冷却水进口141及该冷却水出口142外，整体形成密闭结构。该冷却水进口141用于接收外部输入的冷却水，使得该冷却水在该
水槽14流动，而吸收该排气口15的热量后从该冷却水出口142向外输出，而达到对该泵体1冷却的目的。
[0022]图3显示本技术的运作状态，图中的箭号方向表示气流或水流的流动方向，其中来自外部真空系统的气体是从该泵体1的该进气口11进入该泵体1的该泵腔16，通过该至少两个叶轮21、22的同步反向运动，使得将该输入的气体从该泵体1的该排气口15向外排出，应用此抽取气体的过程达到抽真空的目的。由于该泵体1运行过程中，该排气口15处会产生大量热量，因此本技术将冷却气体从该冷却气体通道12输入到该泵体1的该泵腔16，以对该泵体1内部进行散热，并从该排气口15排出，而可以带走该泵体1内部的热量。另一方面可将外部的冷却水从该冷却水进口141输入到该水槽14中，而对该排气口15进行热交换，最后从该冷却水出口142输出，可以进一步带走该泵体1的热量。因此本技术应用冷却气体及冷却水对该泵体1进行热交换的方式，可以同时带走该泵体1的泵腔16内和泵体排气口15处的热量，使得整个泵体1可以保持在所需要的适当温度，可以达到相当好的冷却效果，而使该泵本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，其特征在于，包括：一泵体，其内部形成中空的泵腔，该泵腔中设有至少两个叶轮；该泵体包括一进气口及一排气口，该泵体通过该进气口接收外部输入的气体，并通过该叶轮的转动，将气体压缩后从该排气口向外输出；该泵体上设有至少一冷却气体通道，这些冷却气体通道具有一内侧端开口连通该泵体内部的该泵腔，及一外侧端入口连通该泵体的外部空间；该冷却气体通道的外侧端入口用于接收外部输入的冷却气体，使得该冷却气体通过该冷却气体通道输入该泵腔，并吸收该泵腔内部的热量后从该排气口排出，而达到对该泵体冷却的目的；以及一水冷机构，位于该泵体的排气口的周围，该水冷机构内部形成水槽，该水槽环绕该排气口外侧，该水冷机构还包括一冷却水进口及一冷却水出口，该冷却水进口及该冷却水出口连通该水槽；该冷却水进口用于接收外部输入的冷却水，使得该冷却水在该水槽流动，而吸收该排气口的热量后从该冷却水出口向外输出，而达到对该泵体冷却的目的。2.如权利要求1所述的具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，其特征在于，该冷却气体通道的内侧端开口位于靠近该排气口的位置。3.如权利要求1所述的具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置，其特征在于，该冷却气体通道为两个冷却气体通道，位于该泵体的两对侧处...
【专利技术属性】
技术研发人员：潇然，贝克托，谷斯特，马晓华，吴彬，潘小青，
申请(专利权)人：上海伊莱茨真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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