一种高效稳定的电弧离子源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效稳定的电弧离子源，包括XY平台、样品靶板、真空锁和离子光学部分，所述样品靶板安装在XY平台上，所述样品靶板上设有样品靶槽，所述真空锁用于将大气与样品靶所在的真空区域进行真空隔离，所述离子光学部分包括靶电极、脉冲电极、接地的加速电极和激光系统，所述靶电极放置在样品靶槽的槽底，所述激光系统的内的激光头朝向电离点，所述电离点与两个离子通过孔在一条轴线上。本实用新型专利技术激光系统能够准确照射到样品靶上的样品，使样品离子化，并被20kV的高电压的靶电极加速，并被引出电极(脉冲电极)引出，得到高速的离子从离子通过孔通过，进入到飞行管内。进入到飞行管内。进入到飞行管内。

【技术实现步骤摘要】
一种高效稳定的电弧离子源


[0001]本技术涉及质谱仪离子源
，尤其涉及一种高效稳定的电弧离子源。

技术介绍

[0002]质谱仪中对样品进行激光照射，将样品分子转变为离子，并被加速发射到飞行管内进行分析。而离子源是样品离子化的主要部分。因此，在质谱仪中离子源包括的部分很多，包括移动样品靶的平台、发出高频脉冲激光组件、靶电极和引出电极。这些部件均在真空腔环境内，且要准确将激光发射到样品靶上，以使的样品离子化，将至关重要。还要能有效的将离子化的离子加速发射到飞行管内，保证更多离子化离子进入飞行管。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种高效稳定的电弧离子源，解决了质谱仪中离子源对样品离子化程度不高，离子被加速飞行到飞行管内的数量不够。
[0004]根据本技术提出的一种高效稳定的电弧离子源，包括XY平台、样品靶板、真空锁和离子光学部分，所述样品靶板安装在XY平台上，所述样品靶板上设有样品靶槽，所述真空锁用于将大气与样品靶所在的真空区域进行真空隔离，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效稳定的电弧离子源，其特征在于：包括XY平台、样品靶板(7)、真空锁和离子光学部分，所述样品靶板(7)安装在XY平台上，所述样品靶板(7)上设有样品靶槽(71)，所述真空锁用于将大气与样品靶所在的真空区域进行真空隔离，所述离子光学部分包括靶电极(8)、脉冲电极、接地的加速电极和激光系统，所述靶电极(8)放置在样品靶槽(71)的槽底，所述脉冲电极与接地的加速电极平行设置且其中间位置均设有相对的离子通过孔，所述激光系统的内的激光头朝向电离点，所述电离点与两个离子通过孔在一条轴线上。2.根据权利要求1所述的一种高效稳定的电弧离子源，其特征在于：所述XY...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟晟，郑杰，
申请(专利权)人：深圳泰莱生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：