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本实用新型公开了一种高效稳定的电弧离子源，包括XY平台、样品靶板、真空锁和离子光学部分，所述样品靶板安装在XY平台上，所述样品靶板上设有样品靶槽，所述真空锁用于将大气与样品靶所在的真空区域进行真空隔离，所述离子光学部分包括靶电极、脉冲电极、...
该专利属于深圳泰莱生物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳泰莱生物科技有限公司授权不得商用。

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