一种用于质谱仪的真空进样装置制造方法及图纸

技术编号:31342596 阅读:19 留言:0更新日期:2021-12-13 08:40
本实用新型专利技术公开了一种用于质谱仪的真空进样装置,包括样品靶、靶板、进样舱、舱门和样品靶移动平台,所述舱门包括盖门和卡凸,所述卡凸设置在盖门下表面的中间位置,所述进样舱包括盖槽和卡槽,所述盖门刚好卡在盖槽内,所述卡凸刚好卡在卡槽内,所述卡槽的一侧侧壁上设有一排气孔,所述盖门一侧边通过转动件安装在盖槽的侧边,所述靶板处在卡槽的底部,所述样品靶放置在靶板内,所述样品靶移动平台能够推动靶板在进样舱下方和离子源之间来回移动。本实用新型专利技术将盖门和卡凸分别与盖槽和卡槽配合,在抽真空负压下,有效防止舱门移动或晃动,而且在抽真空时,真空度越高,舱门密封性越好,并有快速、高效的将样品靶在进样舱和离子源之间来回移动。间来回移动。间来回移动。

【技术实现步骤摘要】
一种用于质谱仪的真空进样装置


[0001]本技术涉及质谱仪配件
,尤其涉及一种用于质谱仪的真空进样装置。

技术介绍

[0002]飞行时间质谱仪中,进样结构需要密封性好,进样方便,换样简单,才能更有利于质谱仪的操作。然而,在进样舱位置需要密封性好,还要能够承受高真空负压下,舱盖不会漏气,还要能盖合和打开换样方便。并且样品靶能够在真空腔内移动,在进样舱和离子源之间移动方便,以提高换靶和进靶的操作。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本技术的一个目的在于提出一种用于质谱仪的真空进样装置,解决了进靶和换靶不方便,进样舱密封性差的问题。
[0004]根据本技术提出的一种用于质谱仪的真空进样装置,包括样品靶、靶板、进样舱、舱门和样品靶移动平台,所述舱门包括盖门和卡凸,所述卡凸设置在盖门下表面的中间位置,所述进样舱包括盖槽和卡槽,所述盖门刚好卡在盖槽内,所述卡凸刚好卡在卡槽内,所述卡槽的一侧侧壁上设有一排气孔,所述盖门一侧边通过转动件安装在盖槽的侧边,所述靶板处在卡槽的底部,所述样品靶放置在靶板内,所述样品靶移动平台能够推动靶板在进样舱下方和离子源之间来回移动。
[0005]在本技术的一些实施例中,所述盖槽底部上沿着卡槽的槽口一周设有内嵌的橡胶垫,所述橡胶垫高出盖槽的槽底。
[0006]在本技术的另一些实施例中,所述盖槽的底部设有吸铁磁缺口,所述吸铁磁缺口内设有磁铁。
[0007]在本技术的另一些实施例中,所述样品靶移动平台包括左搭台、右搭台和推拉气缸,所述左搭台设置在离子源左侧并延伸到卡槽下面,所述右搭台设置在离子源的右侧,所述推拉气缸的气缸轴固定在靶板的一侧。
[0008]在本技术的另一些实施例中,所述离子源包括靶电极和引出电极,所述靶电极在引出电极的下方,所述引出电极包括脉冲电极和接地电极,所述脉冲电极在接地电极的下方。
[0009]本技术中,利用盖槽和卡槽形成一体槽体,而盖门和卡凸分别与盖槽和卡槽配合,在抽真空负压下,有效防止舱门移动或晃动,而且在抽真空时,真空度越高,舱门密封性越好,并有快速、高效的将样品靶在进样舱和离子源之间来回移动。
附图说明
[0010]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用
新型的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0011]图1为本技术提出的一种用于质谱仪的真空进样装置的结构示意图。
[0012]图2为本技术提出的一种用于质谱仪的真空进样装置的剖面示意图(换靶或点靶)。
[0013]图3为本技术提出的一种用于质谱仪的真空进样装置的剖面示意图(进靶)。
[0014]图中:1、盖门;11、转动件;2、卡凸;3、盖槽;31、橡胶垫;4、卡槽; 41、气孔;5、磁铁;6、靶板;61、左搭台;62、右搭台;7、样品靶;8、靶电极;9、引出电极;10、推拉气缸。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0016]所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。
[0017]参照图1

3,一种用于质谱仪的真空进样装置,包括样品靶7、靶板6、进样舱、舱门和样品靶移动平台,所述舱门包括盖门1和卡凸2,所述卡凸2设置在盖门1下表面的中间位置,所述进样舱包括盖槽3和卡槽4,所述盖门1刚好卡在盖槽3内,所述卡凸2刚好卡在卡槽4内,所述卡槽的一侧侧壁上设有一排气孔41,所述盖门1一侧边通过转动件11安装在盖槽3的侧边,所述靶板6处在卡槽4的底部,所述样品靶7放置在靶板6内,所述样品靶移动平台能够推动靶板6在进样舱下方和离子源之间来回移动。
[0018]在进样前,先打开舱门,将样品和基质混合点涂于样品靶的靶点(靶槽)上,然后将样品靶7放入靶板6(样品靶槽)内,然后盖上舱门(盖门1刚好卡在盖槽3内,卡凸2刚好卡在卡槽4内),进行预抽真空,真空度在200Pa以下。通过样品靶移动平台将样品靶7移动到离子源内部,利用激光系统对样品靶7上样品发出高频脉冲激光,使其离子化。当需要换靶时,将样品靶7再次推到卡槽4 下方,进行卸真空,当真空腔内真空度恢复正常气压时,打开舱门进行换靶即可。
[0019]所述盖槽3底部上沿着卡槽3的槽口一周设有内嵌的橡胶垫31,所述橡胶垫31高出盖槽3的槽底。当盖门1压在橡胶垫31上时,真空腔内真空度越高,压的越紧,密封性越高。
[0020]所述盖槽3的底部设有吸铁磁缺口,所述吸铁磁缺口内设有磁铁5。在没有抽真空下,是利用磁铁5吸住盖门1,进行盖合,而密封是靠橡胶垫31。
[0021]所述样品靶移动平台包括左搭台61、右搭台62和推拉气缸10,所述左搭台 61设置在离子源左侧并延伸到卡槽4下面,所述右搭台62设置在离子源的右侧,所述推拉气缸10的气缸轴固定在靶板6的一侧。
[0022]左搭台61、右搭台62为一体的,仅仅在两者之间设有离子源孔洞,用于离子源工作。推动气缸10可以推拉靶板6移动,使其在左搭台61和右搭台62上移动,先是在左搭台61上。并处于卡槽4下方,进靶时,拉动靶板6移动到离子源内,使得靶板6两侧分别搭在左搭台61、右搭台62上。
[0023]所述离子源包括靶电极8和引出电极9,所述靶电极8在引出电极9的下方,所述引
出电极9包括脉冲电极和接地电极,所述脉冲电极在接地电极的下方。
[0024]靶电极8上有20KV的高压电,当离子化的样品,在靶电极下移动,并被引出电极引入飞行器内,在到检测器上。
[0025]以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于质谱仪的真空进样装置,其特征在于:包括样品靶(7)、靶板(6)、进样舱、舱门和样品靶移动平台,所述舱门包括盖门(1)和卡凸(2),所述卡凸(2)设置在盖门(1)下表面的中间位置,所述进样舱包括盖槽(3)和卡槽(4),所述盖门(1)刚好卡在盖槽(3)内,所述卡凸(2)刚好卡在卡槽(4)内,所述卡槽的一侧侧壁上设有一排气孔(41),所述盖门(1)一侧边通过转动件(11)安装在盖槽(3)的侧边,所述靶板(6)处在卡槽(4)的底部,所述样品靶(7)放置在靶板(6)内,所述样品靶移动平台能够推动靶板(6)在进样舱下方和离子源之间来回移动。2.根据权利要求1所述的一种用于质谱仪的真空进样装置,其特征在于:所述盖槽(3)底部上沿着卡槽(4)的槽口一周设有内嵌的橡胶垫(31),所述橡...

【专利技术属性】
技术研发人员:钟晟郑杰
申请(专利权)人:深圳泰莱生物科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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