用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，包括与过渡腔室依次连通的第一控制阀和缓冲腔室，和与质谱仪的真空腔室连通的第二控制阀，所述缓冲腔室的一接口通过第一连接气路与所述第二控制阀的另一接口连通；所述真空预抽系统还包括与过渡腔室连通的进气阀。本实用新型专利技术的过渡腔室和真空腔室之间连通设置有第一控制阀、缓冲腔室和第二控制阀，在质谱仪开启时可利用真空腔室对缓冲腔室抽取真空，使得缓冲腔室的真空度接近真空腔室并保持恒定，利用缓冲腔室缓存的高真空度负压来实现过渡腔室的快速预抽，缩短了样品的等待进样时间，提高了检测效率。提高了检测效率。提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】
用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统


[0001]本技术涉及质谱仪，尤其是涉及一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统。

技术介绍

[0002]基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪（即MALDI
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TOF
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MS，以下简称质谱仪）需要在真空状态下进行样品分析，即将样品置于质谱仪的真空腔室内进样样品解离。现有质谱仪大多利用分子泵对真空腔室（由箱体和盖板围成）抽取真空，确保真空腔室的真空度；为保护分子泵，分子泵的前端常配备有前级机械泵。
[0003]现有质谱仪的真空腔室较大，真空腔室的抽真空时间较长，若通过对真空腔室反复补充空气和抽真空来实现样品的取放，严重降低了质谱仪的检测效率。为此，现有质谱仪大多具有过渡腔室（真空腔室的盖板上开设有取放口，过渡腔室由抵在取放口底部的样品靶槽和盖设取放口处的密封盖围成），通过对过渡腔室放真空和预抽即可实现样品的取放作业，进而提高检测效率。
[0004]现有过渡腔室的预抽方式是利用质谱仪的机械泵，当过渡腔室的真空度达到预设真空度时，样品靶槽下行预设高度，过渡腔室和真空腔室连通形成一个整体，从而实现稳定进样。然而，由于机械泵的预抽时间相对较长，导致样品的等待时间较长，无法满足高通量样本的快速检测需求；另外，现有过渡腔室的预抽大多利用外设气路，气路结构复杂，不仅占用空间，稳定性较差，而且气路还容易磨损，影响过渡腔室的正常预抽。因而，如何设计一种能够实现过渡腔室的快速预抽的真空预抽系统是本行业需要解决的重要技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术目的在于提供一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，该真空预抽系统的缓冲腔室能够预存与真空腔室真空度一致的高真空负压，可通过缓存腔室室对过渡腔室预抽，实现过渡腔室的快速预抽，缩短了样品的进样等待时间。
[0006]为实现上述目的，本技术采取下述技术方案：
[0007]本技术所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，包括与过渡腔室依次连通的第一控制阀和缓冲腔室，和与质谱仪的真空腔室连通的第二控制阀，所述缓冲腔室的一接口通过第一连接气路与所述第二控制阀的另一接口连通；所述真空预抽系统还包括与过渡腔室连通的进气阀。
[0008]在本技术的优选实施方式中，所述真空预抽系统还包括密封设置在真空腔室的外壁上的阀体歧块，所述进气阀和第二控制阀集成安装在所述阀体歧块上。
[0009]在本技术的优选实施方式中，所述阀体歧块上开设有腔室连接通道，其具有第一连接孔、第二连接孔，以及第一连接通道、第二连接通道，所述第一连接通道一端与所述过渡腔室连通而另一端与所述第一连接孔连通，所述第二连接通道一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述真空腔室连通；
[0010]阀体歧块上还开设有进气阀连接通道，其具有第一通道和第二通道，所述第一通
道的一端与第一连接孔连通而其另一端与所述进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端与进气阀的第二接口连通而另一端与外界大气连通；
[0011]阀体歧块上还开设有第三通道，所述第三通道的一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述第二控制阀的一接口连通。
[0012]在本技术的更优选实施方式中，所述第二通道的进气口处密封插装有消音器，有效避免因空气流速过快而引起的啸声；消音器自带过渡网，对进入第二通道内的空气进行过滤，提高进入过渡腔室内的空气的洁净度。
[0013]在本技术的更优选实施方式中，所述真空预抽系统还包括与所述过渡腔室连通的真空检测元器件。
[0014]在本技术的更优选实施方式中，所述阀体歧块上还开设有与所述第一连接孔连通的真空检测通道，所述真空检测元器件的检测部插装在所述真空检测通道内，通过检测第一连接孔的真空度来判断过渡腔室的真空度是否达到进样标准。
[0015]在本技术的更优选实施方式中，所述真空检测元器件为真空规。
[0016]在本技术的更优选实施方式中，所述阀体歧块上还开设有一端与所述第一连接孔连通的第四通道，所述第一控制阀安装在阀体歧块上。
[0017]在本技术的更优选实施方式中，所述第二控制阀、进气阀和第一控制阀均为两位两通电磁阀，通过质谱仪的第一控制阀控制第二控制阀、进气阀和第一控制阀的启闭，实现过渡腔室的自动充气和真空预抽。
[0018]在本技术的更优选实施方式中，所述阀体歧块的一侧面的上部或下部向外凸出形成安装台面，所述安装台面密封贴设在所述真空腔室的外壁上。
[0019]本技术的过渡腔室和真空腔室之间连通设置有第一控制阀、缓冲腔室和第二控制阀，在质谱仪开启时可利用真空腔室对缓冲腔室抽取真空，使得缓冲腔室的真空度接近真空腔室并保持恒定，利用缓冲腔室缓存的高真空度负压来实现过渡腔室的快速预抽，缩短了样品的等待进样时间，提高了检测效率。
[0020]本技术的阀体歧块密封安装在真空腔室的盖板上，且第二控制阀、真空规和进气阀集成安装在阀体歧块上，有效减少气路结构，使得质谱仪更加简洁，有效降低了因牵拉气路或气路摩擦等引起的故障。同时真空规能够检测过渡腔室的真空度，确保每个检测每个样品时过渡腔室的预抽真空度都在预设范围内，当过渡腔室的真空度难以预抽到预设定范围内时，质谱仪的控制系统发出报错提示。
附图说明
[0021]图1是本技术的管路连接图。
[0022]图2是本技术所述进气阀、第二控制阀在阀体歧块上的安装图。
[0023]图3是图2中阀体歧块的主视图。
[0024]图4是图3的D
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D向剖视结构示意图。
[0025]图5是图2中阀体歧块的右视图。
[0026]图6是图2中阀体歧块的左视图。
[0027]图7是图6的B
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B向剖视结构示意图。
[0028]图8是图6的C
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C向剖视结构示意图。
[0029]图9是图2中阀体歧块的仰视图。
具体实施方式
[0030]下面结合附图对本专利技术的实施例作详细说明，本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本专利技术的保护范围不限于下述实施例。
[0031]需要说明的是，本技术实施例中所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后
……
）仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0032]同时还需要说明的是，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0033]如图1
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2所示，本技术所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，包括与过渡腔室1.1依次连通的第一控制阀2和缓冲腔室3，和与质谱仪的真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：包括与过渡腔室依次连通的第一控制阀和缓冲腔室，和与质谱仪的真空腔室连通的第二控制阀，所述缓冲腔室的一接口通过第一连接气路与所述第二控制阀的另一接口连通；所述真空预抽系统还包括与过渡腔室连通的进气阀。2.根据权利要求1所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述真空预抽系统还包括密封设置在真空腔室的外壁上的阀体歧块，所述进气阀和第二控制阀集成安装在所述阀体歧块上。3.根据权利要求2所述的用于质谱仪过渡腔室的真空预抽系统，其特征在于：所述阀体歧块上开设有腔室连接通道，其具有第一连接孔、第二连接孔，以及第一连接通道、第二连接通道，所述第一连接通道一端与所述过渡腔室连通而另一端与所述第一连接孔连通，所述第二连接通道一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述真空腔室连通；阀体歧块上还开设有进气阀连接通道，其具有第一通道和第二通道，所述第一通道的一端与第一连接孔连通而其另一端与所述进气阀的第一接口连通，所述第二通道的一端与进气阀的第二接口连通而另一端与外界大气连通；阀体歧块上还开设有第三通道，所述第三通道的一端与所述第二连接孔连通而另一端与所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李向广，刘伟伟，赵高岭，蔡克亚，
申请(专利权)人：安图实验仪器郑州有限公司，
类型：新型
国别省市：