本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，包括支撑机构、传送机构、清洗机构、烘干机构，所述支撑机构上端安装有所述传送机构，所述清洗机构设置在所述传送机构下侧，所述烘干机构设置在所述清洗机构后侧，所述传送机构上吊装有洗刷机构，所述洗刷机构内侧设置有夹紧机构。本实用新型专利技术利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构，从而利用流水线的方式提高了清洗效率，并且保证了烘干效果，利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条，从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转，从而提高清洗效果，并且不会对圆晶存放盒发生损伤，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机
[0001]本技术涉及晶圆存放盒清洗领域，特别是涉及一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机。
技术介绍
[0002]目前，在半导体生产各个制程之间，经常使用晶圆盒传送晶圆。现有的晶圆盒包括一面开口的盒体和门盖，所述门盖与盒体的开口处相配合，用于封闭所述盒体，所述盒体的内壁设有用于放置晶圆的若干凹槽。
[0003]当晶圆盒传输一定量的晶圆后，由于反复放置和撤离晶圆，晶圆和晶圆盒接触的过程中容易积聚大量的颗粒物质。因此，需要定期对晶圆盒进行清洗。目前，常用的清洗方法是：先将晶圆盒打开，然后将若干晶圆盒放入一个大的清洗装置的清洗腔内，接着在清洗腔内冲洗晶圆盒。但是，这种方法存在晶圆盒冲洗后不干燥的问题，不能直接用于晶圆的传输，要等到其彻底干燥后，才能开始用于晶圆传输。
技术实现思路
[0004]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0006]一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，包括支撑机构、传送机构、清洗机构、烘干机构，所述支撑机构上端安装有所述传送机构，所述清洗机构设置在所述传送机构下侧，所述烘干机构设置在所述清洗机构后侧，所述传送机构上吊装有洗刷机构，所述洗刷机构内侧设置有夹紧机构；
[0007]所述支撑机构包括立柱、支撑架、滑轨，所述立柱上端安装有所述支撑架，所述支撑架外侧连接有所述滑轨；
[0008]所述传送机构包括电机安装架、电动机、传动链组，所述电机安装架安装在所述滑轨上端，所述电机安装架上端安装有所述电动机，所述电动机动力输出端安装有所述传动链组，所述传动链组和所述滑轨之间设置有配合槽；
[0009]所述清洗机构包括清洗箱、超声波清洗机、循环泵、传输管，所述清洗箱内部底端设置有所述超声波清洗机，所述清洗箱后侧设置有所述循环泵，所述循环泵上连接有所述传输管，所述传输管上安装有高压喷头，所述清洗箱内侧面安装有限位架，所述限位架下侧设置有限位滑轨，所述限位滑轨在所述清洗箱内侧面为一个Z型结构，且所述限位滑轨低端对侧设置有第一配合齿条，所述限位滑轨下侧设置有第二配合齿条，所述清洗箱和所述烘干机构之间设置有沥水架；
[0010]所述烘干机构包括密封箱、排风扇、热风机、烘干喷嘴，所述密封箱上端安装有所述排风扇，所述密封箱下端设置有所述热风机，所述热风机通过管道连接到所述密封箱内部的所述烘干喷嘴；
[0011]所述洗刷机构包括移动块、连杆、移动架、第一配合齿轮，所述移动块下端安装有所述连杆，所述连杆下端连接有所述移动架，所述移动架内侧设置有所述夹紧机构，所述夹紧机构下端连接有所述第一配合齿轮，所述第一配合齿轮下单连接限位盘，所述限位盘下侧设置有清洗刷，所述限位盘和所述清洗刷之间设置有圆晶存放盒，所述清洗刷动力端连接第二配合齿轮，所述第一配合齿轮前侧和所述第一配合齿条配合，所述第一配合齿轮后侧被所述限位滑轨限位，所述第二配合齿轮后端和所述第二配合齿条配合。
[0012]优选的：所述夹紧机构包括第一滑柱、第一复位弹簧、滑槽，所述第一滑柱外侧设置有所述第一复位弹簧，所述第一复位弹簧下端连接所述第一配合齿轮，所述第一配合齿轮和所述第一滑柱之间成型有所述滑槽。
[0013]如此设置，当限位滑轨逐渐变低时，第一配合齿轮被压迫变低在所述第一滑柱上向下滑动，同时带动限位盘将圆晶存放盒压在清洗刷上端。
[0014]优选的：所述夹紧机构包括第二滑柱、连接块、第二复位弹簧、滑槽，所述第二滑柱外部滑动连接有所述第一配合齿轮，所述第二滑柱和所述第一配合齿轮之间设置有所述滑槽，所述第一配合齿轮内侧面设置有所述连接块，所述连接块通过所述第二复位弹簧连接所述第二滑柱，所述第二滑柱上设置有用于所述连接块滑动的槽。
[0015]如此设置，当限位滑轨逐渐变低时，第一配合齿轮被压迫变低在所述第二滑柱上向下滑动，同时带动限位盘将圆晶存放盒压在清洗刷上端。
[0016]优选的：所述支撑架通过焊接连接所述立柱，所述滑轨通过螺栓连接所述支撑架，所述滑轨内部为中空，且底部设置有用于限位所述移动块的槽。
[0017]如此设置，所述滑轨起传输作用。
[0018]优选的：所述电机安装架通过螺栓连接所述电动机，所述电动机螺栓连接所述传动链组，所述传动链组上设置有卡块，且卡块与所述移动块上的链条配合。
[0019]如此设置，所述传动链组起带动所述洗刷机构移动作用。
[0020]优选的：所述高压喷头与水平面之间的夹角范围为20度到70度，所述限位滑轨高面与所述第一配合齿轮初始位置相同，所述限位滑轨低面与所述第一配合齿条高度相同。
[0021]如此设置，所述高压喷头对所述圆晶存放盒外部和内部进行清洗。
[0022]优选的：所述限位盘键连接所述第一配合齿轮，所述限位盘材质为橡胶。
[0023]如此设置，所述限位盘用于压紧所述圆晶存放盒，从而使得所述圆晶存放盒能够和所述清洗刷配合反向旋转。
[0024]优选的：所述第二配合齿轮通过轴承座连接所述移动架，所述清洗刷键连接所述第二配合齿轮。
[0025]如此设置，所述移动架起安装和固定作用。
[0026]优选的：所述清洗刷材质为软毛刷。
[0027]如此设置，所述清洗刷对所述圆晶存放盒内侧面进行清洗，同时保证内侧面不会发生损伤。
[0028]优选的：所述第一配合齿轮滑动连接所述第一滑柱，所述第一复位弹簧通过螺钉连接所述移动架和所述第一配合齿轮。
[0029]如此设置，所述第一配合齿轮用于带动所述限位盘下降和旋转。
[0030]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0031]1、利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构，从而利用流水线的方式提高了清洗效率，并且保证了烘干效果；
[0032]2、利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条，从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转，从而提高清洗效果，并且不会对圆晶存放盒发生损伤，提高工作效率。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1是本技术所述一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机的结构示意图；
[0035]图2是本技术所述一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机的清洗箱内部结构示意图；
[0036]图3是本技术所述一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机的密封箱内部结构示意图；
[0037]图4是本技术所述一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机的洗刷机构结构示意图；
[0038]图5是本技术所述一种用于晶圆存放盒的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，其特征在于：包括支撑机构(1)、传送机构(2)、清洗机构(3)、烘干机构(4)，所述支撑机构(1)上端安装有所述传送机构(2)，所述清洗机构(3)设置在所述传送机构(2)下侧，所述烘干机构(4)设置在所述清洗机构(3)后侧，所述传送机构(2)上吊装有洗刷机构(5)，所述洗刷机构(5)内侧设置有夹紧机构(6)；所述支撑机构(1)包括立柱(11)、支撑架(12)、滑轨(13)，所述立柱(11)上端安装有所述支撑架(12)，所述支撑架(12)外侧连接有所述滑轨(13)；所述传送机构(2)包括电机安装架(21)、电动机(22)、传动链组(23)，所述电机安装架(21)安装在所述滑轨(13)上端，所述电机安装架(21)上端安装有所述电动机(22)，所述电动机(22)动力输出端安装有所述传动链组(23)，所述传动链组(23)和所述滑轨(13)之间设置有配合槽；所述清洗机构(3)包括清洗箱(31)、超声波清洗机(32)、循环泵(33)、传输管(34)，所述清洗箱(31)内部底端设置有所述超声波清洗机(32)，所述清洗箱(31)后侧设置有所述循环泵(33)，所述循环泵(33)上连接有所述传输管(34)，所述传输管(34)上安装有高压喷头(35)，所述清洗箱(31)内侧面安装有限位架(36)，所述限位架(36)下侧设置有限位滑轨(37)，所述限位滑轨(37)在所述清洗箱(31)内侧面为一个Z型结构，且所述限位滑轨(37)低端对侧设置有第一配合齿条(38)，所述限位滑轨(37)下侧设置有第二配合齿条(39)，所述清洗箱(31)和所述烘干机构(4)之间设置有沥水架(310)；所述烘干机构(4)包括密封箱(41)、排风扇(42)、热风机(43)、烘干喷嘴(44)，所述密封箱(41)上端安装有所述排风扇(42)，所述密封箱(41)下端设置有所述热风机(43)，所述热风机(43)通过管道连接到所述密封箱(41)内部的所述烘干喷嘴(44)；所述洗刷机构(5)包括移动块(51)、连杆(52)、移动架(53)、第一配合齿轮(54)，所述移动块(51)下端安装有所述连杆(52)，所述连杆(52)下端连接有所述移动架(53)，所述移动架(53)内侧设置有所述夹紧机构(6)，所述夹紧机构(6)下端连接有所述第一配合齿轮(54)，所述第一配合齿轮(54)下单连接限位盘(55)，所述限位盘(55)下侧设置有清洗刷(57)，所述限位盘(55)和所述清洗刷(57)之间设置有圆晶存放盒(7)，所述清洗刷(57)动力端连接第二配合齿轮(56)，所述第一配合齿轮(54)前侧和所述第一配合齿条(38)配合，所述第一配合齿轮(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，段彬彬，冯春，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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