一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，包括支撑机构、传送机构、清洗机构、烘干机构，所述支撑机构上端安装有所述传送机构，所述清洗机构设置在所述传送机构下侧，所述烘干机构设置在所述清洗机构后侧，所述传送机构上吊装有洗刷机构，所述洗刷机构内侧设置有夹紧机构。本实用新型专利技术利用洗刷机构配合清洗机构、烘干机构，从而利用流水线的方式提高了清洗效率，并且保证了烘干效果，利用洗刷机构配合限位架、限位滑轨、第一配合齿条、第二配合齿条，从而使得清洗刷和圆晶存放盒能够反向旋转，从而提高清洗效果，并且不会对圆晶存放盒发生损伤，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机


[0001]本技术涉及晶圆存放盒清洗领域，特别是涉及一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机。

技术介绍

[0002]目前，在半导体生产各个制程之间，经常使用晶圆盒传送晶圆。现有的晶圆盒包括一面开口的盒体和门盖，所述门盖与盒体的开口处相配合，用于封闭所述盒体，所述盒体的内壁设有用于放置晶圆的若干凹槽。
[0003]当晶圆盒传输一定量的晶圆后，由于反复放置和撤离晶圆，晶圆和晶圆盒接触的过程中容易积聚大量的颗粒物质。因此，需要定期对晶圆盒进行清洗。目前，常用的清洗方法是：先将晶圆盒打开，然后将若干晶圆盒放入一个大的清洗装置的清洗腔内，接着在清洗腔内冲洗晶圆盒。但是，这种方法存在晶圆盒冲洗后不干燥的问题，不能直接用于晶圆的传输，要等到其彻底干燥后，才能开始用于晶圆传输。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机。
[0005]本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
[0006]一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，包括支撑机构、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，其特征在于：包括支撑机构(1)、传送机构(2)、清洗机构(3)、烘干机构(4)，所述支撑机构(1)上端安装有所述传送机构(2)，所述清洗机构(3)设置在所述传送机构(2)下侧，所述烘干机构(4)设置在所述清洗机构(3)后侧，所述传送机构(2)上吊装有洗刷机构(5)，所述洗刷机构(5)内侧设置有夹紧机构(6)；所述支撑机构(1)包括立柱(11)、支撑架(12)、滑轨(13)，所述立柱(11)上端安装有所述支撑架(12)，所述支撑架(12)外侧连接有所述滑轨(13)；所述传送机构(2)包括电机安装架(21)、电动机(22)、传动链组(23)，所述电机安装架(21)安装在所述滑轨(13)上端，所述电机安装架(21)上端安装有所述电动机(22)，所述电动机(22)动力输出端安装有所述传动链组(23)，所述传动链组(23)和所述滑轨(13)之间设置有配合槽；所述清洗机构(3)包括清洗箱(31)、超声波清洗机(32)、循环泵(33)、传输管(34)，所述清洗箱(31)内部底端设置有所述超声波清洗机(32)，所述清洗箱(31)后侧设置有所述循环泵(33)，所述循环泵(33)上连接有所述传输管(34)，所述传输管(34)上安装有高压喷头(35)，所述清洗箱(31)内侧面安装有限位架(36)，所述限位架(36)下侧设置有限位滑轨(37)，所述限位滑轨(37)在所述清洗箱(31)内侧面为一个Z型结构，且所述限位滑轨(37)低端对侧设置有第一配合齿条(38)，所述限位滑轨(37)下侧设置有第二配合齿条(39)，所述清洗箱(31)和所述烘干机构(4)之间设置有沥水架(310)；所述烘干机构(4)包括密封箱(41)、排风扇(42)、热风机(43)、烘干喷嘴(44)，所述密封箱(41)上端安装有所述排风扇(42)，所述密封箱(41)下端设置有所述热风机(43)，所述热风机(43)通过管道连接到所述密封箱(41)内部的所述烘干喷嘴(44)；所述洗刷机构(5)包括移动块(51)、连杆(52)、移动架(53)、第一配合齿轮(54)，所述移动块(51)下端安装有所述连杆(52)，所述连杆(52)下端连接有所述移动架(53)，所述移动架(53)内侧设置有所述夹紧机构(6)，所述夹紧机构(6)下端连接有所述第一配合齿轮(54)，所述第一配合齿轮(54)下单连接限位盘(55)，所述限位盘(55)下侧设置有清洗刷(57)，所述限位盘(55)和所述清洗刷(57)之间设置有圆晶存放盒(7)，所述清洗刷(57)动力端连接第二配合齿轮(56)，所述第一配合齿轮(54)前侧和所述第一配合齿条(38)配合，所述第一配合齿轮(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，段彬彬，冯春，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：