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本实用新型公开了一种用于晶圆存放盒的清洗烘干一体机，包括支撑机构、传送机构、清洗机构、烘干机构，所述支撑机构上端安装有所述传送机构，所述清洗机构设置在所述传送机构下侧，所述烘干机构设置在所述清洗机构后侧，所述传送机构上吊装有洗刷机构，所述洗...
该专利属于江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技有限公司授权不得商用。

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