花篮硅片用活动式精确分片装置制造方法及图纸

技术编号:30675344 阅读:16 留言:0更新日期:2021-11-06 09:02
本实用新型专利技术涉及硅片分片设备技术领域,尤其是涉及一种活动式实验精确分片装置,包括载板以及安装在载板顶面的两个固定夹,两个所述固定夹之间安装有固定支架以及实验花篮和分片花篮,所述实验花篮位于分片花篮左侧,所述固定支架位于分片花篮右侧,且所述实验花篮的卡槽槽口和分片花篮的卡槽槽口相对布置,所述固定支架上活动安装有用于推动硅片的若干推进杆,通过在载板和载板顶面的固定夹,能够对实验花篮和分片花篮起到定位固定的作用,通过固定支架和推进杆的布置,实验人员通过推动推进杆推出并转移硅片,实现了半自动化操作,从而提高了分片效率,且在分片过程中杜绝了手指印、划伤、碎片、隐裂等不良,提高了实验准确率。提高了实验准确率。提高了实验准确率。

【技术实现步骤摘要】
花篮硅片用活动式精确分片装置


[0001]本技术涉及硅片分片设备
,尤其是涉及一种花篮硅片用活动式精确分片装置。

技术介绍

[0002]硅片作为半导体领域最基础的材料,在其上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。切片后得到的硅片层叠在一起,需要分片后插入硅片承载盒中进行运输,由于硅片具有薄、脆的特点,因此硅片再次分片的难度很大。在实验室中,实验人员转移放置在花篮内硅片是手动单次分片转移,其分片转移效率慢,且仅能花篮在两端拿取硅片无法快速区分不同位置的硅片,在转移过程中容易造成硅片损伤,影响实验准确率。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是:为了克服现有技术中手动单次分片转移,其分片转移效率慢,且仅能花篮在两端拿取硅片无法快速区分不同位置的硅片,在转移过程中容易造成硅片损伤,影响实验准确率的问题,提供一种花篮硅片用活动式精确分片装置。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种活动式实验精确分片装置,包括载板以及安装在载板顶面的两个固定夹,两个所述固定夹之间安装有固定支架以及带有卡槽的实验花篮和分片花篮,所述实验花篮位于分片花篮左侧,所述固定支架位于分片花篮右侧,且所述实验花篮的卡槽槽口和分片花篮的卡槽槽口相对布置,所述固定支架上活动安装有用于推动硅片的若干推进杆,所述推进杆和分片花篮的卡槽一一对应,通过在载板和载板顶面的固定夹,能够对实验花篮和分片花篮起到定位固定的作用,通过固定支架和推进杆的布置,实验人员通过推动推进杆推出并转移硅片,实现了半自动化操作,从而提高了分片效率,且在分片过程中杜绝了手指印、划伤、碎片、隐裂等不良,提高了实验准确率。
[0005]为了解决推进杆固定和活动的问题,进一步包括所述固定支架上开设有用于供推进杆穿过的若干通孔,所述通孔和推进杆一一对应,所述推进杆位于其所对应的通孔内,通孔的设计便于生产加工,且通孔能够起到导向作用。
[0006]本技术的有益效果是:本技术提供的一种活动式实验精确分片装置,通过在载板和载板顶面的固定夹,能够对实验花篮和分片花篮起到定位固定的作用,通过固定支架和推进杆的布置,实验人员通过推动推进杆推出并转移硅片,实现了半自动化操作,从而提高了分片效率,且在分片过程中杜绝了手指印、划伤、碎片、隐裂等不良,提高了实验准确率。
附图说明
[0007]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0008]图1是本技术的俯视结构示意图;
[0009]图2是本技术的正视结构示意图。
[0010]图中:1、载板,2、固定夹,3、实验花篮,4、分片花篮,5、固定支架,51、通孔,6、推进杆。
具体实施方式
[0011]现在结合附图对本技术做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0012]如图1是本技术的结构示意图,一种花篮硅片用活动式精确分片装置,包括载板1以及安装在载板1顶面的两个固定夹2,两个所述固定夹2之间安装有固定支架5以及带有卡槽的实验花篮3和分片花篮4,所述实验花篮3位于分片花篮4左侧,且所述实验花篮3的卡槽槽口和分片花篮4的卡槽槽口相对布置,所述固定支架5位于分片花篮4右侧,所述固定支架5上活动安装有用于推动硅片的若干推进杆6,所述推进杆6和分片花篮4的卡槽一一对应,通过在载板1和载板1顶面的固定夹2,能够对实验花篮3和分片花篮4起到定位固定的作用,通过固定支架5和推进杆6的布置,实验人员通过推动推进杆6推出并转移硅片,实现了半自动化操作,从而提高了分片效率,且在分片过程中杜绝了手指印、划伤、碎片、隐裂等不良,提高了实验准确率。
[0013]如图2所示,所述固定支架5上开设有用于供推进杆6穿过的若干通孔51,所述通孔51和推进杆6一一对应,所述推进杆6位于其所对应的通孔51内,推进杆6的直径小于分片花篮4卡槽的宽度。
[0014]实施例:使用时,将带有卡槽的实验花篮3和分片花篮4放置在在载板1顶面的两个固定夹2之间,两个固定夹2之间的间距和分片花篮4的长度相匹配,且使实验花篮3的卡槽槽口和分片花篮4的卡槽槽口相对布置,实验人员通过推动分片花篮4内硅片所对应的推进杆6,将分片花篮4内的硅片推至实验花篮3内,完成了硅片的半自动化转移,分片转移快速,效率高。
[0015]以上述依据本技术的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种花篮硅片用活动式精确分片装置,其特征是,包括载板(1)以及安装在载板(1)顶面的两个固定夹(2),两个所述固定夹(2)之间安装有固定支架(5)以及带有卡槽的实验花篮(3)和分片花篮(4),所述实验花篮(3)位于分片花篮(4)左侧,所述固定支架(5)位于分片花篮(4)右侧,且所述实验花篮(3)的卡槽槽口和分片花篮(4)的卡槽槽口相对布置...

【专利技术属性】
技术研发人员:庄岩张飞张凯胜孙铁囤
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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