半导体检测设备制造技术

本申请公开了一种半导体检测设备。半导体检测设备包括箱体、传输装置及校准装置。其中，箱体包括相互间隔的校准区及翻转区。传输装置位于箱体内的校准区及翻转区之外，传输装置用于获取并传输工件。校准装置位于箱体内的校准区，并用于校准工件的状态，传输装置还用于选择性地将校准后的工件传输至箱体外，或将工件传输至翻转区进行翻转，及将翻转后的工件传输至箱体外。本申请的半导体检测设备中，校准装置能够校准工件的状态，传输装置能够获取工件，并将工件传输校准区进行校准，或将工件传输至翻转区进行翻转，以根据需求使工件以正面朝上或背面朝上的状态并保持校准后的位置送入其他装置。入其他装置。入其他装置。

【技术实现步骤摘要】
半导体检测设备


[0001]本申请涉及检测
，更具体而言，涉及一种半导体检测设备。

技术介绍

[0002]一些半导体检测设备能够传输工件至检测装置或加工装置中以进行检测检测或加工。由于半导体工件的正反两面存在差异，根据检测装置或加工装置的类型不同可以适用于对半导体工件的正面或背面进行检测或加工，或者既能够检测/加工半导体工件的正面又能够检测/ 加工半导体工件的背面。然而，现有的半导体检测设备往往无法根据需求对半导体工件做翻转处理以选择性地将半导体工件以正面朝上或背面朝上的状态传输至对应的检测装置或加工装置。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供一种半导体检测设备。
[0004]本申请实施方式的半导体检测设备包括箱体、传输装置及校准装置。其中，所述箱体包括相互间隔的校准区及翻转区。所述传输装置位于所述箱体内的所述校准区及所述翻转区之外，所述传输装置用于获取并传输工件。所述校准装置位于所述箱体内的所述校准区，并用于校准所述工件的状态，所述传输装置还用于选择性地将校准后的所述工件传输至所述箱体外，或将所述工件传输至所述翻转区进行翻转，及将翻转后的所述工件传输至所述箱体外。
[0005]在某些实施方式中，所述箱体包括本体及设置在所述本体外侧的装载台。所述本体设置有入口，所述入口处设置有闸门，所述闸门能够运动以遮挡或开放所述入口。所述装载台与所述入口对应，并用于放置所述工件，所述传输装置能够穿过所述入口从所述装载台获取所述工件。
[0006]在某些实施方式中，所述箱体还包括遮光件。所述遮光件设置在所述本体的外侧并至少部分围绕所述入口，以至少部分遮挡进入所述入口的光线。
[0007]在某些实施方式中，所述传输装置包括主体及多个机械臂。所述主体能够伸缩的安装在所述箱体内。每个所述机械臂均能够转动地安装在所述主体，至少一个所述机械臂能够伸缩的安装在所述主体，所述机械臂的伸缩方向与所述主体的伸缩方向一致，每个所述机械臂均用于获取并传输所述工件。
[0008]在某些实施方式中，每个所述机械臂包括支臂及翻转组件，所述支臂能够转动地安装在所述主体，所述翻转组件安装在所述支臂的末端，所述翻转组件能够获取并相对所述支臂转动以翻转所述工件。
[0009]在某些实施方式中，所述翻转组件包括驱动件、延伸臂、及吸附单元。所述驱动件安装在所述支臂的末端。所述延伸臂与所述驱动件连接，所述驱动件用于驱动所述延伸臂相对所述支臂转动，所述延伸臂的转动轴与所述主体的伸缩方向垂直。所述吸附单元设置在所述延伸臂，并用于抽气以吸附所述工件。
[0010]在某些实施方式中，所述校准装置包括承载台、调整件、及第一采集单元。所述调整件安装在所述承载台并能够相对所述承载台转动。
[0011]在某些实施方式中，校准装置还包括第二采集单元。所述第二采集单元用于获取承载在所述调整件上的工件的身份信息。
[0012]在某些实施方式中，所述校准装置还包括轨道、第一支架、第二支架、及第三支架。所述第一支架安装在所述轨道，并能够在所述轨道沿第一方向移动。所述第二支架安装在所述第一支架，并能够在所述第一支架沿第二方向移动。所述第三支架安装在所述第二支架，并能够在所述第二支架沿第三方向移动，所述第二采集单元安装在所述第三支架，所述第一方向、所述第二方向、及所述第三方向均不同。
[0013]在某些实施方式中，所述第二采集单元的数量为多个，多个所述第二采集单元分布在所述承载台的至少两侧，多个所述第二采集单元的拍摄视场覆盖承载在所述调整件上的所述工件。
[0014]在某些实施方式中，所述半导体检测设备还包括静电检测装置及静电消除装置。所述静电检测装置位于所述箱体内的所述校准区，并用于检测所述箱体内的静电。所述静电消除装置设置所述箱体内，并用于放电产生正负离子以消除所述箱体内的静电。
[0015]在某些实施方式中，述半导体检测设备还包括净化单元及回风系统。所述净化单元安装在所述箱体的顶部，用于朝所述静电消除装置和/或所述传输装置送风。所述回风系统用于抽取所述箱体内部的气体。
[0016]在某些实施方式中，所述半导体检测设备还包括设置在所述箱体内的工控模块及操控模块。所述操控模块设置在所述箱体的外部，并用于供用户操控以向所述工控模块传输控制指令，及显示所述传输装置及所述校准装置的工作信息。
[0017]本申请实施方式中的半导体检测设备中，校准装置能够校准工件的状态，使工件能够以预定的位置传输至箱体外，以在工件送入箱体外的其他装置如半导体检测装置中时工件的状态能够满足其他装置对工件的状态要求，使工件能够顺利送入其他装置。传输装置能够获取并传输工件，例如能够吸附或抓取工件以传输工件。传输装置还能够选择性地将校准后的工件传输至箱体外；或者将校准后的工件输至翻转区翻转，并将翻转后的工件传输至箱体外；或从箱体外获取一面已经完成检测或加工的工件传输至翻转区翻转，并将翻转后的工件传输至箱体外，以根据需求使工件以正面朝上或背面朝上的状态并保持校准后的位置送入其他装置。
[0018]本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。
附图说明
[0019]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0020]图1是本申请某些实施方式的半导体检测设备的立体示意图；
[0021]图2是本申请某些实施方式的半导体检测设备的部分立体示意图；
[0022]图3是本申请某些实施方式的半导体检测设备的传输装置的示意图；
[0023]图4是本申请某些实施方式的半导体检测设备的部分示意图；
[0024]图5是本申请某些实施方式的半导体检测设备的校准装置、静电检测装置、及工件的立体示意图。
具体实施方式
[0025]以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
[0026]另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。
[0027]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0028]请参阅图1及图2，本申请提供一种半导体检测设备100。半导体检测设备100包括箱体10、传输装置20及校准装置30。其中，箱体10包括相互间隔的校准区11及翻转区12。传输装置20位于箱体10内的校准区11及翻转区12之外，传输装置20用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体检测设备，其特征在于，包括箱体、传输装置及校准装置，其中：所述箱体包括校准区及翻转区；所述传输装置位于所述箱体内的所述校准区及所述翻转区之外，所述传输装置用于获取并传输工件；所述校准装置位于所述箱体内的所述校准区，并用于校准所述工件的状态，所述传输装置还用于选择性地将校准后的所述工件传输至所述箱体外，或将所述工件传输至所述翻转区进行翻转，及将翻转后的所述工件传输至所述箱体外。2.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述箱体包括：本体，所述本体设置有入口，所述入口处设置有闸门，所述闸门能够运动以遮挡或开放所述入口；及设置在所述本体外侧的装载台，所述装载台与所述入口对应，并用于放置所述工件，所述传输装置能够穿过所述入口从所述装载台获取所述工件。3.根据权利要求2所述的半导体检测设备，其特征在于，所述箱体还包括：遮光件，所述遮光件设置在所述本体的外侧并至少部分围绕所述入口，以至少部分遮挡进入所述入口的光线。4.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述传输装置包括：主体，所述主体可伸缩地安装在所述箱体内；及多个机械臂，每个所述机械臂均可转动地安装在所述主体，至少一个所述机械臂可伸缩的安装在所述主体，所述机械臂的伸缩方向与所述主体的伸缩方向一致，每个所述机械臂均用于获取并传输所述工件。5.根据权利要求4所述的半导体检测设备，其特征在于，每个所述机械臂包括支臂及翻转组件，所述支臂可转动地安装在所述主体，所述翻转组件安装在所述支臂的末端，所述翻转组件能够获取并相对所述支臂转动以翻转所述工件。6.根据权利要求5所述的半导体检测设备，其特征在于，所述翻转组件包括：驱动件，所述驱动件安装在所述支臂的末端；延伸臂，所述延伸臂与所述驱动件连接，所述驱动件用于驱动所述延伸臂相对所述支臂转动，所述延伸臂的转动轴与所述主体的伸缩方向垂直；及吸附单元，所述吸附单元设置在所述延伸臂，并用于抽气以吸附所述工件。7.根据权利要求1所述的半导体检测设备，其特征在于，所述校准装置包括：承载台；调整件...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海卫，张鹏斌，董坤玲，金建高，范铎，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：