微致动器、磁头折片组合、硬盘驱动器及其制造方法技术

本发明专利技术提供微致动器、使用该微致动器的磁头折片组合、硬盘驱动器及其制造方法。本发明专利技术提供的微致动器包括搭载有定位对象物的平台、一体固定安装有所述平台的支架、装在所述支架上并根据施加的驱动信号进行伸缩变形的压电元件、以及向所述压电元件施加驱动信号的驱动装置，其中，所述压电元件具有通过伸缩方式向所述支架施加转动力的结构。本发明专利技术提供的微致动器的强度高、驱动范围大、制造工序简单、以及制造成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微致动器，尤其涉及转动驱动用微致动器。本专利技术还涉及装有该微致动器的磁头折片组合及其硬盘驱动器。本专利技术进一步涉及所述微致动器及磁头折片组合的制造方法。
技术介绍
硬盘驱动器作为一种信息存储装置，其搭载有安装了对磁盘等存储媒体进行数据的记录再生的磁头滑块的磁头折片组合。所述磁头折片组合则包括磁头滑块、前端部安装有所述磁头滑块的带有弹性的挠曲件、及形成在所述挠曲件上并向所述磁头滑块传达信号的FPC(柔性印刷电路)、以及支撑所述挠曲件的负载杆。其中，所述负载杆通过基板安装在磁头臂上。而且，通过轴支撑多个磁头折片组合，使得通过各个磁头臂及利用台架对多个磁头折片组合进行层叠固定，并利用音圈马达进行旋转驱动，以此形成磁头悬臂组合。磁头折片组合通过音圈马达被旋转驱动，从而对安装在其前端部的磁头滑块进行定位。然而，随着近年来对磁盘的高记录密度化的更高要求，通过音圈马达控制的磁头的定位精度则无法满足需求。由此，出现了一种利用微致动器对磁头滑块进行更微小的驱动，并将其搭载到挠曲件上的技术。在专利文献1中记载了其中的一个例子。根据专利文献1，其中揭示的微致动器则可以摆动驱动形成有记录再生元件部的磁头滑块的前端部分。更具体地说，具有大致平行设置的舌片面的固定部及可动并用于支撑磁头滑块的可动部，利用根据给该固定部与可动部的中心附近施加电压而伸缩的两根连接部件连接形成。而且，通过分别伸缩两根连接部件，可以相对固定部摆动驱动可动部。由此，实现位于磁头滑块的前端部的记录再生元件部的微小定位控制。并且，专利文献1的特征在于，由于作为连接部件的压电元件等压电元件本身强度比较脆弱，因此增加补强部件。专利文献1特开2001-118230号公报然而，上述现有技术中的微致动器，则需要加工压电元件并将其成形为所述形状的致动器，从而导致了制造工序较繁琐的问题。而且，为了确保致动器自身的强度还要增加补强元件，因而不仅其结构复杂，还引起了复杂的制造工序及制造成本的增加。还有，由于是通过伸缩相邻接配置的两根连接部件而进行摆动，并根据伸缩差决定其摆动范围，因此导致驱动范围狭窄的问题。有鉴于此，为改善现有技术的不足之处，提供一种可以提高强度及扩大驱动范围，以及简化制造工序，减少制造成本的微致动器实为必要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可以提高强度及扩大驱动范围，以及简化制造工序，减少制造成本的微致动器。作为本专利技术的一实施例相关的微致动器，其包括搭载有定位对象物的平台；支架；该平台被一体固定安装于该支架上；装在该支架上并根据被施加的驱动信号进行伸缩变形的压电元件；以及向该压电元件施加驱动信号的驱动装置，其中，所述压电元件具有通过伸缩方式向所述支架施加转动力的结构。在此，压电元件具有使支架的至少一部分相对于转动中心或其附近收缩或膨胀的结构。进而，压电元件具有可伸缩的结构，并将所述支架上的、除了贯通转动中心的部件及与该部件连接的连接处以外的一部分与转动中心或其附近相连接。根据所述技术方案，连接支架的一部分及转动中心或其附近的压电元件通过由驱动装置施加的驱动信号进行伸缩，由此该支架的一部分可相对转动中心或其附近被收缩或被膨胀。从而在所述支架自身处产生以转动中心为中心的转动力。由此，所述支架及被一体固定安装的平台上赋有转动力，从而可以旋转驱动搭载在其上的定位对象物，进行微小的定位。根据于此，通过不同于所述压电元件的支架可以提高微致动器的自身强度，同时还可以通过进行转动驱动实现更广范围的定位控制。并且，支架包括所述转动中心的轴支架，以及大致垂直于该轴支架的一端或两端而设的一个或两个端部支架，所述压电元件具有连接所述端部支架及所述轴支架并可伸缩的结构。此时，压电元件在所述轴支架的转动中心附近，形成了从该轴支架突出的连接区域。由此，通过压电元件的伸缩可以使端部支架相对轴支架的转动中心附近被收缩，或者被膨胀，因此可以更有效地产生支架自身的转动力。并且，所述压电元件设置在可将一个所述端部支架与所述轴支架的连接处夹在其间的两侧，从而使所述压电元件可分别进行相反的伸缩动作。此时，在将所述端部支架分别设置在所述轴支架两端的情况下，以所述轴支架为界而被设置在同一侧的所述各压电元件具有分别进行相反伸缩动作的结构。由此，通过所有压电元件的伸缩，可以在转动中心周围产生相同方向的转动力。从而，可以更有效地旋转驱动定位对象物。并且，支撑所述平台的轴部贯通所述支架的转动中心并固定在该支架上，且该被贯通的轴部的端部构成微致动器的负荷接受部。由此，以平台的轴部为中心进行转动驱动，并可以实现转动驱动的平滑化。并且，本专利技术的另一实施例相关的一种磁头折片组合包括设置在挠曲件前端部的把磁头滑块作为定位对象物搭载在平台上的上述微致动器。此时，利用形成在保持所述挠曲件的负载杆上的、面向磁盘侧而突出的小凸起来轴支撑所述支架的转动中心。尤其是利用小凸起轴支撑贯穿支架的平台的轴部的端部为好。进而，本专利技术提供一种具备所述磁头折片组合的硬盘驱动器。根据于此，以磁头滑块为定位对象物将微致动器利用到硬盘驱动器上，可以对形成在磁头滑块上的记录再生元件部分进行旋转即更广范围的摆动，实现高精度的定位控制。从而，可以提高对高记录密度的磁盘进行数据记录再生的精度，以及可以实现硬盘驱动器的小型化及大容量化， 并且，本专利技术的其他实施例相关的一种微致动器的制造方法，其包括在硅基板上形成薄膜压电元件的工序；将硅基板成形为支架的工序；使压电元件成形为通过伸缩压电元件而可使支架受转动力的形状的成形工序；以及将搭载有定位对象物的平台一体固定在支架上的装配工序。此时，在所述支架上装配所述平台的工序中，支撑所述平台的轴部贯穿所述支架的转动中心并固定安装于所述支架上。并且，所述支架的成形工序及所述压电元件的成形工序为蚀刻成形。另外，本专利技术一种磁头折片组合的方法包括将通过所述制造方法制造出的微致动器安装于挠曲件的前端部上的工序，其中，把所述微致动器装配在所述挠曲件上的工序为利用形成在保持所述挠曲件的负载杆上的、面向磁盘侧而突出的小凸起轴支撑贯通所述支架的、所述平台的轴部的端部的装配工序。由此，可以把成膜在硅基板上的薄膜压电元件作为每个硅基板的支架利用，并且也可以利用成膜中的压电元件。还有，由于不用重新在支架上装配压电元件，因此不仅简化了制造工序，也减少了制造成本。进而，由于是通过蚀刻成形形成了支架或压电元件的形状，因此抑制了内附机械应力的现象，同时还可以形成复杂的形状。与现有技术相比较，本专利技术的各技术方案具有上述结构及功能，因此不仅可以提高微致动器自身强度的同时，也可以实现微致动器的转动驱动，从而可以实现磁头滑块等定位对象物的更广范围的定位控制。并且，可以将成膜形成在硅基板上的压电元件以每个硅基板使用形成微致动器，因此可以简化制造工序，削减制造成本。附图说明图1为举例表示搭载有微致动器的硬盘驱动器的立体图。图2为举例表示搭载有微致动器的磁头悬臂组合的立体图。图3为微致动器本体结构的模式图，其中，图3A是俯视图，图3B是主视图。图4为平台的结构示意图，其中，图4A是俯视图，图4B是主视图。图5为微致动器本体上搭载有平台的微致动器结构的主视图。图6为搭载有微致动器的磁头折片组合前端部的示意图。图7为说明微致动器动作的示意图。图8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微致动器，其特征在于包括：　　　　搭载有定位对象物的平台；　　　　支架；该平台被一体固定安装于该支架上；　　　　装在该支架上并根据被施加的驱动信号进行伸缩变形的压电元件；以及　　　　向该压电元件施加驱动信号的驱动装置，　　　　其中，所述压电元件具有通过伸缩方式向所述支架施加转动力的结构。

【技术特征摘要】
JP 2005-8-2 2005-2235671.一种微致动器，其特征在于包括搭载有定位对象物的平台；支架；该平台被一体固定安装于该支架上；装在该支架上并根据被施加的驱动信号进行伸缩变形的压电元件；以及向该压电元件施加驱动信号的驱动装置，其中，所述压电元件具有通过伸缩方式向所述支架施加转动力的结构。2.如权利要求1所述的微致动器，其特征在于，所述压电元件具有使所述支架的至少一部分相对于转动中心或其附近收缩或膨胀的结构。3.如权利要求2所述的微致动器，其特征在于，所述压电元件具有可伸缩的结构，并将所述支架上的、除了贯通所述转动中心的部件及与该部件连接的连接处以外的一部分与所述转动中心或其附近相连接。4.如权利要求3所述的微致动器，其特征在于，所述支架包括所述转动中心的轴支架，以及大致垂直于该轴支架的一端或两端而设的一个或两个端部支架，所述压电元件具有连接所述端部支架及所述轴支架并可伸缩的结构。5.如权利要求4所述的微致动器，其特征在于，所述压电元件在所述轴支架的转动中心附近，形成了从该轴支架突出的连接区域。6.如权利要求4所述的微致动器，其特征在于，所述压电元件设置在可将一个所述端部支架与所述轴支架的连接处夹在其间的两侧，从而使所述压电元件可分别进行相反的伸缩动作。7.如权利要求6所述的微致动器，其特征在于，在将所述端部支架分别设置在所述轴支架两端的情况下，以所述轴支架为界而被设置在同一侧的所述各压电元件具有分别进行相反伸缩动作的结构。8.如权利要求1所述的微致动器，其特征在于，支撑所述平台的轴部贯通所述支架的转动中心并固定在该支架上，且该被贯通的轴部的端部构成微致动器的负荷接受部。9.如权利要求1所述的微致动器，其特征在于，所述支架为硅基板，所述压电元件为在所述硅基板上预先成膜的薄膜压电元件。10.一种磁头折片组合，其特征在于包括设置在挠曲件前端部上的权利要求1所述的微致动器，其中，该微致动器的平台上搭载有作为定位对象物的磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：本田隆，
申请(专利权)人：新科实业有限公司，
类型：发明
国别省市：HK[中国|香港]