处理硬盘驱动器基板的腔室制造技术

本发明专利技术公开一种用以在磁性存储基板中形成磁性图案的设备。腔室包含：界定内部空间的腔室壁；在所述腔室的所述内部空间中的基板支座；在所述腔室的面对所述基板支座的壁区域中设置的气体散布器；用以将提供至所述腔室的工艺气体的一部分离子化的小型能量源；及具有z致动的闸部件的节流阀，所述闸部件具有用以覆盖所述腔室的出口埠的密封表面。离子通过电偏压被加速朝向所述基板支座，所述电偏压放大所述工艺气体的离子密度。通过所述离子轰击在所述基板支座上设置的基板以改变基板表面的磁性性质。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施方式大致上涉及制造诸如硬盘驱动器媒介与MRAM基板的磁性媒介。更具体地说，本专利技术的实施方式涉及用以在基板上形成图案化磁性媒介的方法与设备。
技术介绍
磁性媒介用在诸如硬盘驱动器与磁阻式随机存取存储器(MRAM)装置的各种电子设备中。硬盘驱动器是用于计算机与相关装置的存储媒介的选择。它们见于大部分的台式计算机和笔记本电脑中，并且也可见于许多诸如媒体记录器和播放机的消费电子设备以及用以收集和记录数据的仪器中。硬盘驱动器也被配置成阵列以用于网络存储。MRAM装置用在诸如闪存设备与动态随机存取存储(DRAM)装置的各种非挥发性存储器装置中。 磁性媒介装置使用磁场来存储与撷取信息。硬盘驱动器中的磁盘配置为具有多个磁畴,这些磁畴可通过磁头分别寻址。磁头移动到磁畴附近且改变磁畴的磁性性质以记录信息。为了读取所记录的信息，磁头移动到磁畴附近并检测磁畴的磁性性质。磁畴的磁性性质通常被解读成对应于两个可能的状态，即“O”状态与“ I”状态之ー的状态。依此方式，数字信息可被记录在磁性媒介上且之后被读取。磁性存储媒介通常包含通常是非磁性的玻璃、复合玻璃/陶瓷或金属的基板，在其上具有通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：马耶德·阿里·福阿德，马丁·A·希尔金，彼得·I·波尔什涅夫，乔斯安东尼奥·马林，马修·D·斯科特奈伊卡斯尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：