一种石墨舟陶瓷管随舟叶移动定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟陶瓷管随舟叶移动定位装置，包括机架、设置于机架底部的第一升降机和第二升降机、设置于机架上的移动架，所述第一升降机上方设置有小车，所述小车上设置有定位杆，所述定位杆上套设有托板，所述托板和第一升降机相连，所述定位杆上套设有石墨舟叶，所述石墨舟叶上设置有容置定位杆的陶瓷管，所述定位杆上方设置有压盘，所述压盘上设置有导向杆和真空吸盘，所述压盘通过下压电缸安装在移动架上，所述移动架通过丝杠安装在机架上，所述机架上还设置有工作台，所述工作台上设置有定位销。解决了石墨舟叶装配时间长，效率低的问题。效率低的问题。效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟陶瓷管随舟叶移动定位装置


[0001]本技术涉及太阳能电池制造设备领域，尤其涉及一种石墨舟陶瓷管随舟叶移动定位装置。

技术介绍

[0002]在太阳能电池的生产过程中，PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)镀膜工艺是生产流程中的重要环节，起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点，由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损及工艺过程中的烧焦，需要定期对卡点进行更换，以便保证石墨舟的良好状态，进而保证硅片的镀膜质量。
[0003]石墨舟在卡点自动装卸过程中，石墨舟叶需要在不同工位中移动，在这个过程中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟陶瓷管随舟叶移动定位装置，其特征在于：包括机架(7)、设置于机架(7)底部的第一升降机(10)和第二升降机(11)、设置于机架(7)上的移动架(2)，所述第一升降机(10)上方设置有小车(9)，所述小车(9)上设置有定位杆(12)，所述定位杆(12)上套设有托板(8)，所述托板(8)和第一升降机(10)相连，所述定位杆(12)上套设有石墨舟叶(4)，所述石墨舟叶(4)上设置有容置定位杆(12)的陶瓷管(13...

【专利技术属性】
技术研发人员：余永雄，陈必雄，杨建生，孙雪平，张朝阳，张彬庭，
申请(专利权)人：湖南华鑫晶造电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：