【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟和晶体硅太阳能电池的镀膜设备
[0001]本技术具体涉及一种石墨舟和晶体硅太阳能电池的镀膜设备。
技术介绍
[0002]晶体硅太阳能电池的镀膜工艺一般采用石墨舟作为载体，利用石墨舟两片电极间将氨气和硅烷电离成等离子体反应生成氮化硅沉积在硅片上，从而镀上反射膜。市面上使用的石墨舟一般是8个工位，每个工位插52片，总共416片。由于产线产能的要求越来越高，在不增加机台的情况下，提升产能的方法就只有增加石墨舟的载片量。因为炉管直径的限制每个工位的插片量无法增加，通常是增加石墨舟的工位，但是增加了石墨舟的工位会使石墨舟长度变长，导致电极电场从电极处到远处的衰减，在两边电极接触处的电场强度较大，在石墨舟中间的电场衰减较大，从而使石墨舟两边的膜厚较厚，中间膜厚较薄，严重影响均匀性。
[0003]现有技术缺点为石墨舟产能较小，如果直接增加石墨舟的工位会使石墨舟长度过长导致电场衰减严重，造成石墨舟中间和两边的色差明显，无法实际运用到生产。
技术实现思路
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提出了一种石墨舟，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，其特征在于，包括：至少两个小舟和绝缘片，每两个相邻小舟之间通过所述绝缘片连接，还包含电极，所述电极包括：正电极和负电极，每个小舟上的一个舟脚接触正电极，另一个舟脚接触负电极，从而使得小舟具有正负电场。2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，包括：绝缘杆，所述绝缘杆内设有电极绝缘套，所述绝缘杆上设有电极垫片，所述电极穿过所述电极绝缘套并从相应的所述电极垫片处引出电极，所述舟脚设置于所述电极垫片上并与所述电极接触。3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述绝缘杆内腔包括至少四个用于容纳电极绝缘套的格子，每个格子内容置一个电极绝缘套。4.根据权利要求3所述的石墨舟，其特征在于，所述电极绝缘套包括至少两个正电极绝缘套和负电极绝缘套，每两个所述正电极绝缘套和每两个所述正电极绝缘套成列排布设置于所述格子内。5.根据权利要求4所述的石墨舟，其特征在于，所述电极垫片包括：正电极垫片和负电极垫片，所述正电极穿过所述绝缘杆内的正电极绝缘套并从相应的正电极垫片...
【专利技术属性】
技术研发人员：张树德，倪志春，魏青竹，连维飞，赵保星，
申请(专利权)人：苏州腾晖光伏技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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