一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装制造技术

一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，包括连接件和两个对称设置的侧板；所述侧板包括支撑座和设置在支撑座上的支撑杆；所述支撑杆为由两个横杆和一个竖杆组成的工字型状；所述支撑杆中心位置设有通孔作为连接孔；连接件穿过两个侧板的连接孔将两个侧板连接紧固。将两个石墨盘分别夹装在工字型的支撑杆上，石墨盘仅与工字型的两条横杆接触，减小石墨盘与工装的接触面积，减少工装对沉积的影响；本实用新型专利技术的工装可以同时均匀的沉积两个石墨盘，提升生产效率，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装


[0001]本技术涉及化学气相沉积
，具体为一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装。

技术介绍

[0002]化学气相沉积以热分解反应方式在衬底上进行化学沉积反应生成各种半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料的方法，该反应过程是以石墨盘作为衬底的承载平台。
[0003]目前，化学气相沉积过程中需要将石墨盘悬空放置，而现有的支撑放置石墨盘的工装只能支撑放置单片石墨盘，且现有的支撑放置石墨盘的工装存在由于影响气流流向造成石墨盘两面沉积不均匀的问题。

技术实现思路

[0004]一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，包括连接件和两个对称设置的侧板；所述侧板包括支撑座和设置在支撑座上的支撑杆；所述支撑杆为由两个横杆和一个竖杆组成的工字型状；所述支撑杆中心位置设有通孔作为连接孔；连接件穿过两个侧板的连接孔将两个侧板连接紧固。
[0005]进一步，所述支撑座与支撑杆一体成型。
[0006]进一步，所述连接件包括两个以插接的方式连接的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和第二连接杆分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：包括连接件和两个对称设置的侧板；所述侧板包括支撑座和设置在支撑座上的支撑杆；所述支撑杆为由两个横杆和一个竖杆组成的工字型状；所述支撑杆中心位置设有通孔作为连接孔；连接件穿过两个侧板的连接孔将两个侧板连接紧固。2.根据权利要求1所述的支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：所述支撑座与支撑杆一体成型。3.根据权利要求1所述的支撑化学气相沉积用石墨盘的工装，其特征在于：所述连接件包括两个以插接的方式连接的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆和第二连接杆分别为T字形杆，T字形杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文华，李江涛，张冰冰，刘帅，王长江，于佳成，张东生，吴恒，
申请(专利权)人：巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司，
类型：新型
国别省市：