一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构制造技术

本发明专利技术提供一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，包括多个依次叠放的舟片；所述舟片设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜通道内通入镀膜气体或惰性气体。本发明专利技术单个设备上可以镀多种膜，节省了倒片时间，同时减少倒片过程的划伤，提升了良率。同时避免镀膜过程暴露在空气中，减少污染。减少污染。减少污染。

【技术实现步骤摘要】
一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构


[0001]本专利技术涉及光伏电池工装夹具
，具体而言是一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构。

技术介绍

[0002]提高效率、良率和降低成本一直是光伏行业的努力方向。当前光伏电池主流产品PERC电池效率在23％以上，良率在95％以上，不良品中存在一定比例的划伤等不良，影响了良率和效率。
[0003]光伏电池工艺PECVD镀氮化硅膜能降低光的反射，同时还具有抗氧化和绝缘等性能。此外，PECVD薄膜中富含氢，能起到对硅衬底杂质和缺陷钝化抑制。
[0004]光伏电池工艺PECVD镀膜正背面往往是不同的膜层，起到不同作用。如氧化铝膜层能吸附高密度负电荷，具有场钝化效应；氮氧化硅可以调节折射率等。常规的PECVD一次只能镀一种膜层，电池工艺镀多种膜往往需要倒片，这样硅片出现擦伤划痕的概率大幅增加，同时搬运时间的增加也浪费了产能。

技术实现思路

[0005]根据上述技术问题，而提供一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构。本专利技术主要利用相临两个舟片之间的空隙形成独立的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于，包括多个依次叠放的舟片，多个所述舟片的叠放方向沿所述舟片的厚度方向；所述舟片沿其长度方向上设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜通道内通入镀膜气体或惰性气体。2.根据权利要求1所述的一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于，所述舟片在其长度方向的一端安装有电极，相临两个舟片的电极分别位于舟片的两端。3.根据权利要求1所述的一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，其特征在于，在所述舟片的长度方向的两侧，相临两个舟片之间的缝隙处安装有隔板，所述隔板通过加工在两个所述舟片之间的缝隙处的隔板安装槽与两个所述舟片连接，并密封所述缝隙；相临两个所述隔板之间具有多个舟片陶瓷绝缘块。4.根据权利要求1所述的一种可镀多种膜的管式PECVD...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎志欣，胡动力，
申请(专利权)人：大连连城数控机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：