管式PECVD镀膜专用石墨舟制造技术

本发明专利技术给出了一种管式PECVD镀膜专用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上开有若干镂空区域，若干镂空区域依次间隔布置，所述石墨舟片对应镂空区域位置周围设有若干卡点；所述镂空区域覆盖有石墨网。石墨网代替原本石墨舟片的镂空区域，使得镀膜时均匀放电，硅片镀膜后四周不会有色差，提升镀膜质量。相比现有技术，石墨舟片上依旧可以开有镂空区域，由于只在镂空区域上增设石墨网，而且镂空区域延伸至对应卡点位置，并没有增加石墨舟的整体质量，但是克服了原本石墨舟镀膜不均匀的问题。不均匀的问题。不均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】
管式PECVD镀膜专用石墨舟


[0001]本专利技术涉及一种管式PECVD镀膜专用石墨舟。

技术介绍

[0002]近年来，太阳光伏产业发展迅速，很多国家开始逐渐开发太阳能资源，寻求经济发展的新动力，在众多材料的太阳能电池中，晶体硅电池工艺和材料发展逐渐成熟，而且考虑到自然环境和对人体健康的影响，晶体硅太阳电池向着更加环保的方向迈进，可以预料晶体硅太阳电池今后仍是太阳能电池研究的主流方向，现在制约太阳能电池发展的关键问题还是降低成本和提高转换效率。
[0003]现阶段，管式PECVD作为当前最为成熟的镀膜方式被广泛应用于太阳能电池镀膜，管式PECVD装卸硅片贴在石墨舟片去卡在卡点，受管式PECVD传动系统本身结构限制，必须减轻石墨舟的重量，通常采用在石墨舟片上设置多个镂空通孔，用以减轻石墨舟的质量。但是石墨舟片上设置镂空通孔后，会造成电场不均匀，进而镀膜时硅片表面会出现镀膜不均匀的情况，镂空通孔四周有一圈色差，硅片上对应镂空通孔的地方镀膜厚度较薄，大大影响镀膜质量；

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种结构合理、镀膜均匀的管式PECVD镀膜专用石墨舟。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种管式PECVD镀膜专用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上开有若干镂空区域，若干镂空区域依次间隔布置，所述石墨舟片对应镂空区域位置周围设有若干卡点；
[0006]所述镂空区域覆盖有石墨网。
[0007]为了更清楚的理解本专利技术的
技术实现思路
，以下将本管式PECVD镀膜专用石墨舟简称为本专用石墨舟。
[0008]作为本专用石墨舟的优选，石墨网包括边框体和网面，网面张紧在边框体内，边框体外轮廓与所述石墨舟片上对应的镂空区域轮廓一致，边框体与处于对应镂空区域周边的石墨舟片固定连接，网面完全覆盖镂空区域。
[0009]作为本专用石墨舟的优选，所述石墨网的网面选用10目至1000目。
[0010]作为本专用石墨舟的优选，所述石墨网的边框体与所述石墨舟片之间通过陶瓷卡扣固定连接。
[0011]作为本专用石墨舟的优选，所述网面为具有石墨乳涂层金属网或者具有石墨烯镀层的金属网。
[0012]作为本专用石墨舟的优选，所述镂空区域延伸至对应卡点位置。
[0013]采用这样的结构后，石墨网代替原本石墨舟片的镂空区域，使得镀膜时均匀放电，硅片镀膜后四周不会有色差，提升镀膜质量。相比现有技术，石墨舟片上依旧可以开有镂空
区域，由于只在镂空区域上增设石墨网，而且镂空区域延伸至对应卡点位置，并没有增加石墨舟的整体质量，但是克服了原本石墨舟镀膜不均匀的问题。
附图说明
[0014]图1是本专用石墨舟实施例一中的俯视图。
[0015]图2是本专用石墨舟实施例一中石墨舟片的主视图之一。
[0016]图3是本专用石墨舟实施例一中石墨舟片的主视图之二。
[0017]图4是本专用石墨舟实施例二中石墨舟片的主视图。
具体实施方式
[0018]实施例一
[0019]如图1至3所示(图3中省略了四个石墨网2)
[0020]本专用石墨舟包括依次平行布置的多片石墨舟片1。
[0021]每片石墨舟片1上开有四个镂空区域11，四个镂空区域11沿石墨舟片1的长度方向依次均匀间隔布置，石墨舟片1对应镂空区域11位置周围设有多个卡点12，镂空区域11延伸至对应卡点12位置。
[0022]石墨舟片1的每个镂空区域11都覆盖有石墨网2，石墨网2包括边框体21和网面22，网面22张紧在边框体21内，边框体21外轮廓与所述石墨舟片1上对应的镂空区域11轮廓一致，石墨网2的网面22选用700目，边框体21与处于对应镂空区域11周边的石墨舟片1固定，边框体21与所述石墨舟片1之间通过陶瓷卡扣23固定连接，网面22完全覆盖镂空区域11。
[0023]本实施例中网面22采用涂覆有石墨乳的金属网，石墨层厚度1nm至1mm，可以采用碳浆涂覆、物理气相沉积或者化学气相沉积，金属网材质各种可耐温至400℃的金属均可使用(如金、银、铜、不锈钢、钛、铱等金属)。
[0024]实施例二
[0025]如图4所示(图4中也省略了五个石墨网2)
[0026]本实施例与实施例一的区别仅仅在于：每片石墨舟片1a上开有五个镂空区域11a，并且石墨网的网面选用具有石墨烯镀层的金属网，网面的目数为20目。
[0027]本实施例可以达到实施例相似的技术效果，但是后续镀膜均匀度略逊与实施例一的镀膜均匀度。
[0028]以上所述的仅是本专利技术的两种实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本专利技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD镀膜专用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上开有若干镂空区域，若干镂空区域依次间隔布置，所述石墨舟片对应镂空区域位置周围设有若干卡点，其特征为：所述镂空区域覆盖有石墨网。2.根据权利要求1所述的管式PECVD镀膜专用石墨舟，其特征是：所述的石墨网包括边框体和网面，网面张紧在边框体内，边框体外轮廓与所述石墨舟片上对应的镂空区域轮廓一致，边框体与处于对应镂空区域周边的石墨舟片固定连接，网面完全覆盖镂空区域。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王杨阳，葛怀庆，练菊，孙友巍，孙嵩泉，
申请(专利权)人：普乐新能源蚌埠有限公司，
类型：发明
国别省市：