磁盘用玻璃衬底的制造方法以及磁盘的制造方法技术

本发明专利技术提供了一种具有化学增强工序的磁盘用玻璃衬底的制造方法以及磁盘的制造方法，该方法所提供的磁盘用玻璃衬底可以抑制在化学增强工序后的玻璃衬底冷却时产生的微小波纹，并防止磁头碰撞以及热不均匀这样的问题，同时还可以谋求磁头的低飞行高度化，并实现高密度信息记录，特别是适合应用于便携信息设备用的小型磁盘。在化学增强工序后的冷却工序中，进行使玻璃衬底与熔解有固化温度低于化学增强盐的物质的处理液接触的冷却处理。该处理液的温度被调整为低于化学增强工序中的化学增强盐熔液的温度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及构成作为磁盘装置的硬盘驱动器(HDD)等中使用 的磁盘的磁盘用玻璃衬底的制造方法以及使用了该磁盘用玻璃衬底 的磁盘的制造方法.
技术介绍
如今，信息记录技术尤其是磁记录技术伴随所谓的IT产业的发 达而要求飞跃性的技术革新.而且，在作为计算机用存储器等而使用 的磁盘装置即硬盘驱动器(HDD)上所搭栽的磁盘与磁带或软盘等其 他磁记录介质不同，其信息记录密度的迅速增大化继续进行.这种磁盘是在铝系合金衬底或玻璃衬底等的村底上形成磁性层 的膜等而构成.然后，在硬盘驱动器中， 一边使磁头在高速旋转的磁 盘上浮动飞行， 一边通过该磁头将信息信号作为磁化困案记录在磁性 层上，再进行再生.近些年，在这种磁盘中，倌息记录密度已达到超过每1平方英寸 40G比特，进而，超过每1平方英寸100G比特的超高记录密度也将 要被实现.能够实现这样高的信息记录密度的近些年的磁盘与以往的 软盘等磁盘相比较，具有虽然是很小的磁盘面积却能够收纳实用上足 够的信息量的特征.另外，这种磁盘与其他的倌息记录介质相比较，还具有倌息的记 录速度及再生速度(应答速度)极其迅速且可以进行信息的随时写入 以及读出的特征.这种磁盘的种种特征已经得到关注，其结果是，在近些年要求能 够搭栽在如所谓的移动电话、数码相机、便携信息设备(例如、PDA(personal digital assistant):个人数字助理)或者汽车导航系统等 那样的、壳体远远小于个人计算机装置且要求高应答速度的便携用设 备上的小型硬盘驱动器.伴随着针对将硬盘驱动器搭栽在便携用设备上(所谓便携式用 途)的要求高涨，作为磁盘用的村底采用由硬质材料即玻璃构成的 玻璃衬底.这是因为玻璃村底与由软质材料即金属构成的衬底相比 较，具有高强度和高刚性.另外，因为在玻璃村底中可获得平滑的表面，所以可以防止磁头 碰撞以及热不均匀(thermal asperity)这样的问题，同时还可以使一 边在磁盘上浮动飞行一边进行记录再生的磁头的浮起量变得狹小(降 低飞行高度)，能够得到高信息记录密度的磁盘.但是，玻璃衬底还具有作为脆性材料的负面特性.因此，历来就 提出了各种各样的玻璃衬底的增强方法.例如，在专利文献l中记栽 有以下的化学增强处理通过将玻璃衬底以规定时间浸渍于在化学增 强槽中的加热到3001C左右的硝酸钠(NaN03 )或硝酸钾(KN03 )等 的硝酸盐熔液中，将玻璃衬底中的表层部的锂离子(Li+)里换成钠离 子(Na+)或钾离子(K+),或者，将玻璃村底中的表层部的钠离子 (Na+)置换成钾离子(K+),在两面的表层部形成压缩应力层，并 在这些压缩应力层之间设置拉伸应力层，另外，在专利文献2中记栽有以下的方法在化学增强处理中使 用的硝酸盐熔液中混入微量的阳离子杂质，进行调整以使贿酸盐的完 全凝固点小于等于130TC,在化学增强处理后的冷却时使贿酸盐具有 流动性，抑制玻璃村底的翘曲同时进行化学增强处理.专利文献1 :日本专利公开特开2002-121051 4S报专利文献2 :日本专利4Hf特开2001-192239 />报
技术实现思路
(专利技术要解决的问题)然而，已知在上述的化学增强工序中无法充分抑制在化学增强工序后产生的玻璃衬底上的微小波故的情况.另外，巳知这种微小波紋 在化学增强工序后的玻璃衬底的冷却时产生.而且，近年来伴随着磁盘中的信息记录的高密度化，不断降低磁 头的飞行高度，要求具有比以往更加平滑的表面的玻璃衬底，这种微 小波故就成为问题.因此，本专利技术就是鉴于上述那样的情况而完成的，其目的在于提 供一种磁盘用玻璃衬底的制造方法，该方法具有使玻璃衬底接触加热 了的化学增强盐熔液并对玻璃衬底的表层进行化学增强的化学增强 工序，该方法能够制造这样的磁盘用玻璃衬底，它可以抑制在化学増 强工序后的玻璃衬底冷却时产生的微小波纹，并防止磁头碰撞以及热 不均匀这样的问题，同时还可谋求磁头的低飞行高度化，并可实现髙 密度信息记录，特别是能够构成适合用于便携信息设备用的小型硬盘 驱动器的磁盘.另外，本专利技术还提供一种磁盘的制造方法，该方法通过采用这种 磁盘用玻璃村底，能够制造可以防止磁头碰撞以及热不均匀这样的问 题、同时还可以谋求磁头的低飞行高度化并实现高密度信息记录的、 特別是适合用于便携信息设备用的小型硬盘驱动器的磁盘. (解决问题的方法) 本专利技术人已彻底查明如上述那样的玻璃衬底上产生的微小波紋 是在化学增强工序之后，由于残留于玻璃村底上的增强盐被冷却并结 晶时所产生的盐的体积变动以及凝固热而产生的.因此，本专利技术所涉及的磁盘用玻璃衬底的制造方法具有以下构成 中的某一种.〔构成1〕一种磁盘用玻璃村底的制造方法，包括使玻璃衬底与加热了的 化学增强盐熔液接触并在所希望的温度下对玻璃衬底的表层进行化 学增强的化学增强工序；和对经过该化学增强工序的玻璃衬底进行冷 却的冷却工序，其特征在于在冷却工序中，使玻璃衬底的温度下降 至规定的温度，而不使附着于玻璃衬底的表面上的化学增强盐熔液中 的化学增强盐固化.〔构成2〕一种磁盘用玻璃衬底的制造方法，包括使玻璃村底与加热了的 化学增强盐熔液接触并在所希望的温度下对玻璃衬底的表层进行化 学增强的化学增强工序；和对经过该化学增强工序的玻璃衬底进行冷 却的冷却工序，其特征在于在冷却工序中，进行使玻璃衬底与熔解 有固化温度低于化学增强盐的物质的处理液接触的冷却处理，处理液 的温度被调整得低于化学增强工序中的化学增强盐熔液的温度. 〔构成3〕具有构成2的磁盘用玻璃衬底的制造方法，其特征在于包括 冷却处理由使玻璃衬底与笫1处理液接触的笫1冷却处理；和在该笫' 1冷却处理之后使玻璃村底依次与至少一个笫2以后的处理液接触的 笫2以后的冷却处理，笫1冷却处理中使用的笫1处理液被调整成低 于化学增强工序中的化学增强盐熔液的温度且高于化学增强盐的固 化温度的温度，笫2以后的冷却处理中使用的第2以后的处理液被调 整成低于在该冷却处理之前进行的前一个冷却处理中使用的前级处 理液的温度且高于该前级处理液的固化温度的温度. 〔构成4〕一种磁盘用玻璃村底的制造方法，包括将玻璃衬底漫渍于被容 纳在化学增强处理槽中且被加热了的化学增强盐熔液中并在所希望 的温度下对玻璃衬底的表层进行化学增强的化学增强工序；和将经过 该化学增强工序的玻璃衬底漫渍于玻璃村底保持槽中所容纳的处理 液中并保持该玻璃村底的玻璃衬底保持工序，其特征在于玻璃衬底 保持槽中所容纳的处理液熔解有固化温度低于化学增强盐的物质， 并被调整得低于化学増强工序中的化学增强盐熔液的温度. 〔构成5〕具有构成4的磁盘用玻璃衬底的制造方法，其特征在于玻璃衬 底保持工序包括使玻璃衬底浸渍于第l玻璃村底保持槽中所容纳的 笫1处理液中的笫1保持处理；和在该笫1保持处理之后使玻璃衬底依次浸渍于至少一个笫2以后的玻璃衬底保持槽中所容纳的笫2以后 的处理液中的笫2以后的保持处理，第l保持处理中使用的笫l处理 液被调整成低于化学增强工序中的化学增强盐熔液的温度且高于化 学增强盐的固化温度的温度，第2以后的保持处理中使用的笫2以后 的处理液被调整成低于该保持处理的前一个进行的保持处理中使用 的前级处理液的温度且高于该前级处理液的固化温度的温度.根据本专利技术，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁盘用玻璃衬底的制造方法，包含使玻璃衬底与加热了的化学增强盐熔液接触并在所希望的温度下对玻璃衬底的表层进行化学增强的化学增强工序、和对经过该化学增强工序的玻璃衬底进行冷却的冷却工序，其特征在于：　在上述冷却工序中，使上述玻璃衬底的温度下降至规定的温度而不使附着于上述玻璃衬底的表面上的上述化学增强盐熔液中的化学增强盐固化。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-3-24 083018/2006;JP 2006-3-24 083019/20061.一种磁盘用玻璃衬底的制造方法，包含使玻璃衬底与加热了的化学增强盐熔液接触并在所希望的温度下对玻璃衬底的表层进行化学增强的化学增强工序、和对经过该化学增强工序的玻璃衬底进行冷却的冷却工序，其特征在于在上述冷却工序中，使上述玻璃衬底的温度下降至规定的温度而不使附着于上述玻璃衬底的表面上的上述化学增强盐熔液中的化学增强盐固化。2. —种磁盘用玻璃村底的制造方法，包舍使玻璃衬底与加热了 的化学增强盐熔液接触并在所希望的温度下对玻璃衬底的表层进行 化学增强的化学增强工序、和对经过该化学增强工序的玻璃衬底进行 冷却的冷却工序，其特征在于在上述冷却工序中，进行使上迷玻璃村底与熔解有固化温度低于 上述化学增强盐的物质的处理液接触的冷却处理，上述处理液的温度被调整为低于上述化学增强工序中的化学增 强盐熔液的温度.3. 权利要求2所述的磁盘用玻璃衬底的制造方法，其特征在于 上述冷却处理包括使上述玻璃衬底与第1处理液接触的笫1冷却处理、和在该笫l冷却处理之后使上述玻璃衬底依次与至少一个 笫2以后的处理液接触的笫2以后的冷却处理，上迷笫l冷却处理中使用的笫l处理液被调整成低于上迷化学增 强工序中的化学增强盐熔液的温度且高于上迷化学增强盐的固化温 度的温度,上述笫2以后的冷却处理中使用的笫2以后的处理液被调整成低 于在该冷却处理之前进行的前一个冷却处理中使用的前级处理液的 温度且高于该前级处理液的固化温度的温度.4. 一种磁盘用玻璃衬底的制造方法，包含将玻璃衬底浸渍于被 容纳在化学增强处理槽中且加热了的化学增强盐熔液中并在所希望的温度下对玻璃衬底的表层进行化学增强的化学增强工序、和将经过 该化学增强工序的玻璃衬底浸渍于玻璃衬底保持槽中所容纳的处理液中并保持该玻璃村底的玻璃衬底保持工序，其特征在于上述玻璃村底保持槽中所容纳的处理液熔解有固化温度低于上 迷化学增强盐的物质，且被调整为低于上述化学增强工序中的化学增 强盐熔液的温度.5. 权利要求4所述的磁盘用玻璃衬底的制造方法，其特征在于 上述玻璃村底保持工序包括使上述玻璃衬底漫清于笫1玻璃衬底保持槽中所容纳的笫l处理液中的笫l...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩田胜行，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]