本实用新型专利技术涉及闸阀技术领域，公开一种闸阀用锁定装置及闸阀。其中闸阀用锁定装置包括本体、锁芯和驱动件，本体设置于闸阀的阀杆伸出阀体的一端；锁芯滑动设置于本体上，锁芯能选择性置于阀杆的锁定孔内，以锁定阀杆；驱动件滑动设置于本体上，驱动件上设置有导向面，锁芯的一端与导向面抵接，滑动驱动件以使锁芯的另一端置于锁定孔。本实用新型专利技术通过在本体上滑动设置锁芯和驱动件，并在驱动件上设置与锁芯一端抵接的导向面，在驱动驱动件在本体上滑动时，导向面能驱动锁芯相对于本体滑动，以使锁芯的另一端置于闸阀阀杆的锁定孔内，进而实现阀杆与阀体之间的锁定，闸阀用锁定装置结构简单，操作便捷。操作便捷。操作便捷。
【技术实现步骤摘要】
一种闸阀用锁定装置及闸阀
[0001]本技术涉及闸阀
，尤其涉及一种闸阀用锁定装置及闸阀。
技术介绍
[0002]HMI多光束检测机是一套能够验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统,它的作用就是检测制造出来的晶圆能够符合要求和预期。为保护HMI多光束检测机的检测装置，HMI多光束检测机上通常设置有保护装置，而为开启保护装置则需要关闭闸阀。
[0003]现有技术中，为实现对闸阀的关闭而避免保护装置开启时闸阀的异常波动，通常需要手动将锁芯置于闸阀阀杆的锁定孔内，由于安装空间有限，锁定的操作较为繁琐和复杂。
[0004]所以，亟需一种闸阀用锁定装置，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]基于以上所述，本技术的目的在于提供一种闸阀用锁定装置及闸阀，能方便快捷地实现对闸阀的锁定。
[0006]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种闸阀用锁定装置，包括：
[0008]本体，设置于闸阀的阀杆伸出阀体的一端；
[0009]锁芯，滑动设置于所述本体上，所述锁芯能选择性置于所述阀杆的锁定孔内，以锁定所述阀杆；
[0010]驱动件，滑动设置于所述本体上，所述驱动件上设置有导向面，所述锁芯的一端与所述导向面抵接，滑动所述驱动件以使所述锁芯的另一端置于所述锁定孔。
[0011]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，所述驱动件的滑动方向与所述锁芯的滑动方向相互垂直，所述导向面与所述驱动件的滑动方向和所述锁芯的滑动方向均呈夹角设置。
[0012]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，所述锁芯与所述导向面抵接的一端设置有倒角。
[0013]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，还包括复位件，一端与所述本体连接，另一端与所述锁芯连接，以驱动所述锁芯脱离所述锁定孔。
[0014]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，所述复位件为弹簧，当滑动所述驱动件使所述锁芯置于所述锁定孔内时所述弹簧被拉伸，当反方向滑动所述驱动件时所述弹簧能拉动所述锁芯脱离所述锁定孔。
[0015]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，还包括限位组件，以限位所述驱动件和所述本体。
[0016]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，所述限位组件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件能限位所述驱动件和所述本体以使所述锁芯置于所述锁定孔内，所述
第二限位件能限位所述驱动件和所述本体以使所述锁芯脱离所述锁定孔。
[0017]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，所述第一限位件为设置于所述驱动件上的第一凸起，当所述锁芯置于所述锁定孔内时，所述第一凸起与所述本体抵接；所述第二限位件为设置于所述驱动件上的第二凸起，当所述锁芯脱离所述锁定孔时，所述第二凸起与所述本体抵接。
[0018]作为一种闸阀用锁定装置的优选方案，所述本体设置为口字型，口字型的其中一面与所述阀体连接，所述驱动件和所述锁芯滑动设置于另外相互垂直的两面上。
[0019]一种闸阀，包括阀体和滑动设置于所述阀体内的阀杆，以及如以上任一方案所述的闸阀用锁定装置。
[0020]本技术的有益效果为：
[0021]本技术通过在本体上滑动设置锁芯和驱动件，并在驱动件上设置与锁芯一端抵接的导向面，在驱动驱动件在本体上滑动时，导向面能驱动锁芯相对于本体滑动，以使锁芯的另一端置于闸阀阀杆的锁定孔内，进而实现阀杆与阀体之间的锁定，闸阀用锁定装置结构简单，通过导向面的设置，用驱动件驱动锁芯，使操作者在较狭小空间内的操作更加简单、便捷。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0023]图1是本技术具体实施方式提供的闸阀用锁定装置的示意图；
[0024]图2是本技术具体实施方式提供的闸阀的阀体和阀杆的示意图。
[0025]图中：
[0026]1、本体；
[0027]2、锁芯；
[0028]3、驱动件；31、导向面；32、让位孔；
[0029]4、复位件；
[0030]51、第一限位件；52、第二限位件；
[0031]110、阀杆；111、锁定孔；120、阀体。
具体实施方式
[0032]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]如图1和图2所示，本实施方式提供一种用于闸阀的闸阀用锁定装置，该闸阀用锁定装置包括本体1、锁芯2和驱动件3，本体1设置于闸阀的阀杆110伸出阀体120的一端；锁芯
2滑动设置于本体1的上，锁芯2能选择性置于阀杆110的锁定孔111内，以锁定阀杆110；驱动件3滑动设置于本体1上，驱动件3上设置有导向面31，锁芯2的一端与导向面31抵接，滑动驱动件3以使锁芯2的另一端置于锁定孔111。
[0034]通过在本体1上滑动设置锁芯2和驱动件3，并在驱动件3上设置与锁芯2一端抵接的导向面31，在驱动驱动件3在本体1上滑动时，导向面31能驱动锁芯2相对于本体1滑动，以使锁芯2的另一端置于闸阀阀杆110的锁定孔111内，进而实现阀杆110与阀体120之间的锁定，闸阀用锁定装置结构简单，通过导向面31的设置，用驱动件3驱动锁芯2，使操作者在较狭小空间内的操作更加简单、便捷。
[0035]本实施例中，驱动件3与锁芯2垂直设置，驱动件3的滑动方向与锁芯2的滑动方向相互垂直，在锁芯2长度方向空间较狭小时，可以在驱动件3的长度方向进行操作，使操作更加方便。为实现驱动件3滑动时能同时驱动锁芯2滑动，所以导向面31与驱动件3的滑动方向和锁芯2的滑动方向均呈夹角设置，具体夹角的度数可以根据锁芯2需要置于锁定孔111内的长度以及驱动件3便于滑动的长度进行设置。
[0036]值得说明的，本领域技术人员可以根据闸阀用锁定装置的实际使用场景进行设置驱动件3和本体1相对于本体1的滑动方向以及导向面31与驱动件3的滑动方向和锁芯2的滑动方向，以便于操作者能在较狭小空间内更加便捷地对闸阀进行锁定，在此不做具体限定。
[0037]具体地，闸阀用锁定装置还包括复位件4，复位件4的一端与本体1连接，另一端与锁芯2连接，以驱动锁芯2脱离锁定孔111，便于锁芯2的复位，进而保证闸阀的正常使用。
[0038]可选地，复位件4为弹簧，当滑动驱动件3使锁芯2置于锁定孔111内时弹簧被拉伸并保持拉伸状态；当需要解除锁芯2的锁本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种闸阀用锁定装置，其特征在于，包括：本体(1)，设置于闸阀的阀杆(110)伸出阀体(120)的一端；锁芯(2)，滑动设置于所述本体(1)上，所述锁芯(2)能选择性置于所述阀杆(110)的锁定孔(111)内，以锁定所述阀杆(110)；驱动件(3)，滑动设置于所述本体(1)上，所述驱动件(3)上设置有导向面(31)，所述锁芯(2)的一端与所述导向面(31)抵接，滑动所述驱动件(3)以使所述锁芯(2)的另一端置于所述锁定孔(111)。2.根据权利要求1所述的闸阀用锁定装置，其特征在于，所述驱动件(3)的滑动方向与所述锁芯(2)的滑动方向相互垂直，所述导向面(31)与所述驱动件(3)的滑动方向和所述锁芯(2)的滑动方向均呈夹角设置。3.根据权利要求1所述的闸阀用锁定装置，其特征在于，所述锁芯(2)与所述导向面(31)抵接的一端设置有倒角。4.根据权利要求1所述的闸阀用锁定装置，其特征在于，还包括复位件(4)，一端与所述本体(1)连接，另一端与所述锁芯(2)连接，以驱动所述锁芯(2)脱离所述锁定孔(111)。5.根据权利要求4所述的闸阀用锁定装置，其特征在于，所述复位件(4)为弹簧，当滑动所述驱动件(3)使所述锁芯(2)置于所述锁定孔(111)内时所述弹簧被拉伸，当反方向滑动所述驱动件(3)时所述弹簧能拉动所述锁芯(2)脱离所述锁定孔(111)。6...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玉宝，闫鹏，栾克豪，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：
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