【技术实现步骤摘要】
光学位移传感器
[0001]本专利技术涉及光学位移传感器。
技术介绍
[0002]传统上已知的光学位移传感器包括用于辐射光的光源、用于接收来自光源的光的光接收单元和用于计算待测量对象的位移量的运算单元。
[0003]例如，JP2003
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156319A中描述的二维角度传感器(即，光学位移传感器)包括用于将光束投射到待检测对象的光源、设置在由光束从待检测对象反射的光的光路中的透镜、以及由设置在透镜焦点附近的光电二极管组成的检测元件(即，光接收单元)。二维角度传感器通过计算用检测元件检测的光电流来检测待检测对象的角度。
[0004]具体地，二维角度传感器从投射到检测元件的光的形状和光的光量的大小来检测待检测对象的倾斜。如果投射到检测元件的光的形状和光的光量的大小由于透镜等而变化，这样的变化可能作为噪声影响检测结果。因此，为了抑制噪声，二维角度传感器必须设置有光学部件，例如高质量且昂贵的透镜，因此存在成本高的问题。
[0005]对于这样的问题，例如，在JP11
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学位移传感器，包括：衍射单元，具有沿测量方向以预定周期布置的衍射光栅；光源，将光辐射到衍射单元；和光接收单元，接收已经穿过衍射单元的光，其特征在于，所述光学位移传感器包括：分割单元，将从光源辐射的光分割成第一光线和不同于该第一光线的第二光线；反射单元，具有对从光源辐射的光进行反射的第一反射部分和相对于该第一反射部分以预定角度设置的第二反射部分；和折返反射单元，将已经穿过反射单元的光折返并反射到所述反射单元，其中，所述反射单元将由所述分割单元分割并已经穿过所述衍射单元的第一光线和第二光线从第一反射部分反射到第二反射部分，并且将由所述折返反射单元反射的第一光线和第二光线从第二反射部分反射到第一反射部分，和其中，所述光接收单元接收已经穿过所述反射单元和所述折返反射单元的第一光线和第二光线。2.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述分割单元对应于包括在所述衍射单元中的衍射光栅。3.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述分割单元是将来自光源的光分割成彼此不同的两条光线的分束器。4.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，该光学位移传感器包括全反射单元，该全反射单元全反射第一光线和第二光线，以便将第一光线和第二光线的光路的方向改变到预定方向。5.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于：该光学位移传感器包括运算单元，该运算单元基于由光接收单元接收的光来计算待测量对象的位移量；所述衍射单元附接到在测量方向上移动的待测量对象并且与该待测量对象的移动同步地移动；和所述运算单元，与和待测量对象的移动同步移动的衍射单元的移动相关联地，计算由于从由光接收单元接收的光检测到的待测量对象的运动而引起的位移量。6.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于：所述光学位移传感器包括运算单元，该运算单元基于由光接收单元接收的光来计算待测量对象的位移量；所述衍射单元附接到围绕预定轴线旋转的待测量对象，并与待测量对象的旋转同步地旋转，所述预定轴线被限定为旋转轴线；和所述运算单元，与和待测量对象的旋转同步旋转的衍射单元的旋转相关联地，基于从由光接收单元接收的光检测到的相位变化，计算角度位移量。7.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述衍射单元是透射型的，其衍射并透射来自光源的光。8.根据权利要求1所述的光学位移传感器，其特征在于，所述衍射单元是反射型的，其衍射并反射来自光源的光。9.一种光学位移传感器，包括：
衍射单元，具有沿着测量方向以预定周期布置的衍射光栅；光源，将光辐射到衍射单元；和光接收单元，接收已经穿过衍射单元的光，其特征在于，所述光学位移传感器包括：分割单元，将从光源辐射的光在预定的分割点分割成第一光线和不同于第一光线的第二光线，并在相对于包括分割点的平面成平面对称的方向上输出第一光线和第二光线中的每一个；和反射单元，具有对从光源辐射的光进行反射的第一反射部分和相对于第一反射部分以预定角度设置的第二反射部分，其中，反射单元包括：第一反射单元，包括相对于第一反射部分以预定角度设置的第二反射部分；第二反射单元，不同于第一反射单元并包括相对于第一反射部分以与第一反...
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