一种大量程的光谱共焦位移检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种大量程的光谱共焦位移检测装置，包括白光光源、狭缝、准直透镜、分光棱镜、菲涅尔透镜、被测物、聚焦透镜、光谱仪，其中：白光光源出射一束白光，通过狭缝和准直透镜进入分光棱镜，并在经过菲涅尔透镜后沿光轴方向色散，不同波长的光会聚于光轴不同位置，聚焦在被测物表面上的光束发生反射并原路返回，经过分光棱镜和聚焦透镜，入射狭缝后的光谱仪内。光谱仪接收两个由共焦特性选择出来的特定波长，并由特定波长解得对应焦距差值，即为被测物位移距离。本装置利用菲涅尔透镜将不同波长的光束聚焦在光轴不同位置，从而产生轴向色散，并极大增加了光源波长对应的焦点之间的极限距离，从而将位移检测装置的量程扩大两个数量级。个数量级。个数量级。

【技术实现步骤摘要】
一种大量程的光谱共焦位移检测装置


[0001]本专利技术属于光学非接触式精密位移测量领域，特别涉及一种大量程的光谱共焦位移检测装置。

技术介绍

[0002]光谱共焦位移检测是一种精密位移测量装置，原理为：由光源射出一束复色光(呈白色)，通过透镜组聚焦于被测物表面，量程范围内形成不同波长的单色光，每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过狭缝被光谱仪感测到，通过计算探测到的光波波长对应的焦点差值，获得被测物位移距离。光谱共焦位移测量装置已在精密非接触测量广泛使用，特别是在亚微米领域、被测物表面多样化的领域已经是极少数可行方案之一。
[0003]在先技术中，存在光谱共焦位移传感器，中北大学的刘宾，魏交统等人曾专利技术一种光谱共焦位移传感器，专利名称为一种光谱共焦位移传感器，授权专利号为CN 107084665 A，授权公布日为2017年8月22日。该专利技术是在透镜组前加装起偏器组，使得光束具有偏振态，再利用检偏器的检测分析完成同一台设备实现多点位移的同步测量。但是该专利技术的量程只有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大量程的光谱共焦位移检测装置，包括白光光源、狭缝、准直透镜、分光棱镜、菲涅尔透镜、被测物、聚焦透镜和光谱仪，其特征在于，白光光源与被测物之间共轴且依次放置狭缝、准直透镜、分光棱镜和菲涅尔透镜，在分光棱...

【专利技术属性】
技术研发人员：李劲松，张浩然，苏衍峰，王洵园，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：