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提供一种光学位移传感器，该光学位移传感器能够以高精度检测待测量对象的位移量，同时使得辐射到光接收单元中的复合光中的重叠量稳定。光学位移传感器(1)包括：分割单元(20)，其将从光源(3)辐射的光分割为第一光线和第二光线；以及折返反射单元，其...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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