一种用于多件蓝宝石晶棒端面校准的工装制造技术

技术编号:30423172 阅读:10 留言:0更新日期:2021-10-24 16:51
本实用新型专利技术提供了一种用于多件蓝宝石晶棒端面校准的工装。它包括底座和晶棒夹具,其中底座由底板、侧板和紧固轮组成,晶棒夹具由支撑侧板、夹持盖板、盖板螺栓和夹持槽组成;晶棒夹具倒置于底座顶端,晶棒夹具内竖直设置蓝宝石晶棒;底座的底板和侧板组成“凹”形结构,紧固轮位于侧板顶端;晶棒夹具由底座的侧板顶端承托并由紧固轮固定;晶棒夹具的两侧支撑侧板与两个夹持盖板连接,组成方框结构,盖板螺栓位于夹持盖板外侧,夹持槽位于夹持盖板内侧,盖板螺栓穿过夹持盖板与夹持槽连接。本实用新型专利技术一次可校准多件蓝宝石晶棒端面,可大幅度提高加工效率,结构简单,装卸方便,易于操作。作。作。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多件蓝宝石晶棒端面校准的工装


[0001]本技术属于用于蓝宝石加工工装
,具体涉及一种同时对多件蓝宝石晶棒进行端面校准并固定的工装。

技术介绍

[0002]蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键结合而成,其晶体结构为六方晶格结构。它常被应用的切面有A

Plane,C

Plane及R

Plane。由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光到中红外线都具有很好的透光性,因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性等特点,因此常被用来作为光电元件的材料,同时蓝宝石晶体也是一种优秀的多功能材料,具有硬度高、熔点高、透光性好、电绝缘性优异、化学性能稳定等特点,已逐渐成为国防、航空航天、现代高科技工业等领域中不可缺少、且极具潜力的结构材料,但其也具有韧性差、加工过程易发生脆性破坏等特点。
[0003]随着蓝宝石产品市场的持续发展,各应用领域对蓝宝石产品的质量要求不断提高,各蓝宝石厂家逐渐由传统人工加工向自动加工过渡,提高自动化水平,以实现大批次生产高质量、均一性和稳定性良好的蓝宝石产品。蓝宝石晶棒在加工过程中需对两端表面进行磨削,使其端面晶向和表面粗糙度满足技术要求。加工前需对蓝宝石晶棒端面进行校准,保证加工精度。目前采取的加工方案为蓝宝石晶棒放入与设备工作台相垂直的台钳内,晶棒侧面与台钳侧壁贴合后夹紧固定,但由于台钳结构限制以及蓝宝石晶棒长短各异,无法同时对多件蓝宝石晶棒进行校准,并且难以保证校准后各个晶棒端面均处于同一平面,因而单次作业仅能完成一件晶棒的加工,效率低下。因此,需要提供一种使多件蓝宝石晶棒的端面均位于同一水平面的校准技术。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种解决了传统蓝宝石晶棒端面校准加工效率低的问题,可同时对多件晶棒端面进行校准并固定,操作简单,装卸速度快的用于多件蓝宝石晶棒端面校准的工装。
[0005]本技术是这样实现的,它包括底座和晶棒夹具,其中底座由底板、侧板和紧固轮组成,晶棒夹具由支撑侧板、夹持盖板、盖板螺栓和夹持槽组成;晶棒夹具倒置于底座顶端,晶棒夹具内竖直设置蓝宝石晶棒;底座的底板和侧板组成
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凹”形结构,紧固轮位于侧板顶端;晶棒夹具由底座的侧板顶端承托并由紧固轮固定;晶棒夹具的两侧支撑侧板与两个夹持盖板连接,组成方框结构,盖板螺栓位于夹持盖板外侧,夹持槽位于夹持盖板内侧,盖板螺栓穿过夹持盖板与夹持槽连接。
[0006]本技术还有这样一些特征:
[0007]1. 所述的盖板螺栓穿过夹持盖板,与夹持槽连接。通过调节两侧盖板螺栓可调整两侧夹持槽的缩放。
[0008]2. 所述的晶棒夹具由底座侧板的顶端承托,侧板顶端的紧固轮用于固定晶棒夹具。
[0009]3. 所述的夹持槽包括一组“V”形槽结构,蓝宝石晶棒穿过“V”形槽且通过盖板螺栓固定,蓝宝石晶棒底部端面与底板表面充分贴合,通过底板承托晶棒端面的方法,使晶棒端面均处于同一平面。旋紧盖板螺栓将晶棒夹紧固定,取下晶棒夹具并翻转,使晶棒底部端面朝上,即完成晶棒端面校准,待后续加工。“V”形槽为尼龙或铜等软性材质。
[0010]本技术的有益效果有:
[0011](1)本技术一次可校准多件蓝宝石晶棒端面,可大幅度提高加工效率。
[0012]本技术结构简单,装卸方便,易于操作。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图;
[0014]图2为图1侧视图。
具体实施方式
[0015]下面结合附图对本技术进行详细说明:
[0016]结合图1

2,本实施例工装主要由底座和晶棒夹具组成,其中底座包含底板1、侧板2和紧固轮3,晶棒夹具包含支撑侧板4、夹持盖板5、盖板螺栓6和夹持槽7。底座水平放置于操作台表面,晶棒夹具倒置放于底座顶端,底座的侧板2与夹持侧板5尺寸配合,承托晶棒夹具。顺时针旋转紧固轮3固定晶棒夹具,将待加工的蓝宝石晶棒逐一竖直放入晶棒夹具内,使晶棒穿过夹持槽7、底部端面与底板1表面充分贴合,顺时针旋紧两侧的盖板螺栓6,使夹持槽7向内收缩夹持晶棒,直至晶棒夹紧固定,逆时针旋转紧固轮3,取下晶棒夹具并翻转,使晶棒底部端面朝上。将晶棒夹具放置于磨削设备工作台表面,对晶棒端面进行批量统一加工。加工完毕后取出晶棒夹具,倒置放于底座上端,使加工完毕后的晶棒端面朝下,顺时针旋转紧固轮3固定晶棒夹具。逆时针旋转两侧的盖板螺栓6松开夹持槽7,逐一取出晶棒,将晶棒调转后再次放入夹具内,校准晶棒另一端面,重复上述操作直至晶棒全部加工完毕。
[0017]以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所做的进一步详细说明,不能认定本技术的具体实施只限于这些说明。对于具有本技术所属领域基础知识的人员来讲,可以很容易对本技术进行变更和修改,都应当视为属于本技术所提交的权利要求书确定的专利保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于多件蓝宝石晶棒端面校准的工装,其特征在于它包括底座和晶棒夹具,底座由底板、侧板和紧固轮组成,晶棒夹具由支撑侧板、夹持盖板、盖板螺栓和夹持槽组成;晶棒夹具倒置于底座顶端,晶棒夹具内竖直设置蓝宝石晶棒;底座的底板和侧板组成
ꢀ“
凹”形结构,紧固轮位于侧板顶端;晶棒夹具由底座的侧板顶端承托并由紧固轮固定;晶棒夹具的两侧支撑侧板与两个夹持盖板连接,组成方框结构,盖板螺栓...

【专利技术属性】
技术研发人员:左洪波杨鑫宏李铁赵汉清卜祥春
申请(专利权)人:哈尔滨秋硕半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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