观察窗保护装置、镀膜设备观察窗及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种观察窗保护装置，涉及镀膜玻璃生产技术领域，观察窗保护装置包括透明遮挡部和卡子，卡子用于将透明遮挡部可拆卸固定设置于观察窗位于真空腔室室内的一侧；本申请还提供了一种镀膜设备观察窗，包括观察窗保护装置和观察窗，观察窗保护装置可拆卸固定设置于观察窗位于真空腔室室内的一侧；本申请还提供了一种生产设备，包括镀膜设备观察窗。本申请提供的观察窗保护装置、镀膜设备观察窗及镀膜设备更换成本低、方便更换且不存在漏气风险。漏气风险。漏气风险。

【技术实现步骤摘要】
观察窗保护装置、镀膜设备观察窗及镀膜设备


[0001]本技术涉及镀膜玻璃生产
，特别是涉及一种观察窗保护装置、镀膜设备观察窗及镀膜设备。

技术介绍

[0002]低辐射镀膜玻璃，简称Low
‑
E玻璃，是在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系产品。离线真空溅射法作为目前国际上普遍采用的Low
‑
E玻璃生产方法，由于采用真空镀膜技术，生产过程中需要通过观察窗观察靶材和真空腔室内的状态，之前观察窗使用的是一块15毫米厚的玻璃，通过密封圈和固定环安装在特定位置，并在腔体内安装一块可在外部调节的活动挡板保护观察窗玻璃，此方法的主要缺点是尽管有挡板保护观察窗玻璃，挡板与玻璃存在一定距离，生产一段时间后仍会有溅射物附着到观察窗玻璃上，这是无法避免的，溅射物积累一定厚度后不仅影响观察效果，而且更换观察窗需要更换整块玻璃和密封圈，若操作不当存在漏气风险，影响生产。且每个生产周期结束后都需要更换大量观察窗，成本较高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种观察窗保护装置、镀膜设备观察窗及镀膜设备，以解决上述现有技术存在的问题，更换成本低、方便更换且不存在漏气风险。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0005]本技术提供了一种观察窗保护装置，包括：透明遮挡部和卡子，所述卡子用于将所述透明遮挡部可拆卸固定设置于观察窗位于真空腔室室内的一侧。
[0006]优选的，所述透明遮挡部为圆形并能够将所述观察窗完全遮挡。
[0007]优选的，所述透明遮挡部为透明玻璃。
[0008]优选的，所述卡子包括卡子本体和两个固定端头，所述卡子本体为一个开口圆环，所述开口圆环能够沿开口方向发生弹性形变，所述开口圆环两端固定连接有所述固定端头，所述开口圆环与两个所述固定端头一体成型，所述开口圆环与所述固定端头均用于固定所述透明玻璃。
[0009]优选的，所述卡子为铁质卡子。
[0010]本技术还提供了一种镀膜设备观察窗，包括如上所述的观察窗保护装置和所述观察窗，所述观察窗保护装置固定于所述观察窗位于所述真空腔室室内的一侧。
[0011]优选的，所述观察窗上设置有固定环，所述固定环用于将所述观察窗固定设置在所述真空腔室的观察口处，所述固定环与所述观察口之间设置有密封圈。
[0012]本技术还提供了一种镀膜设备，包括如上所述的镀膜设备观察窗。
[0013]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0014]本技术提供了一种观察窗保护装置，通过卡子将透明遮挡部固定于观察窗位于真空腔室内的一侧，取下卡子后只需取出透明遮挡部并对透明遮挡部进行更换，更换方
便，更换成本低，同时又避免了拆除整个镀膜设备观察窗带来的漏气风险；本申请还提供了一种镀膜设备观察窗，包括观察窗保护装置和观察窗；本申请还提供了一种镀膜设备，包括镀膜设备观察窗。因此，本申请提供的观察窗保护装置、镀膜设备观察窗及镀膜设备更换成本低、方便更换且不存在漏气风险。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术提供的镀膜设备观察窗的结构示意图；
[0017]图2为本技术提供的观察窗保护装置的透明玻璃的结构示意图；
[0018]图3为本技术提供的观察窗保护装置的卡子的结构示意图；
[0019]图中：100
‑
镀膜设备观察窗；1
‑
观察窗保护装置；11
‑
透明遮挡部；12
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透明玻璃；13
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卡子；14
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固定端头；2
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观察窗；3
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固定环。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]本技术的目的是提供一种观察窗保护装置、镀膜设备观察窗及镀膜设备，以解决现有技术存在的问题，更换成本低、方便更换且不存在漏气风险。
[0022]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0023]实施例一
[0024]本实施例提供了一种观察窗保护装置1，如图1～3所示，包括：透明遮挡部11和卡子13，卡子13用于将透明遮挡部11可拆卸固定设置于观察窗2位于真空腔室室内的一侧，通过卡子13将透明遮挡部11固定于观察窗2位于真空腔室内的一侧，取下卡子13后只需取出透明遮挡部11并对透明遮挡部11进行更换，更换方便，更换成本低，同时又避免了拆除整个镀膜设备观察窗100带来的漏气风险，因此，本申请提供的观察窗保护装置1更换成本低、方便更换且不存在漏气风险。
[0025]透明遮挡部11为圆形并能够将观察窗2完全遮挡，防止溅射物溅射附着到观察窗2上。
[0026]透明遮挡部11为透明玻璃12，透明玻璃12既能够防止溅射物溅射附着到观察窗2上，同时透明玻璃12厚度仅为1毫米，不影响观察靶材和真空腔室内的状态。
[0027]卡子13包括卡子本体和两个固定端头14，卡子本体为一个开口圆环，开口圆环能够沿开口方向发生弹性形变，开口圆环两端固定连接有固定端头14，开口圆环与两个固定端头14一体成型，开口圆环与固定端头14均用于固定透明玻璃。
[0028]卡子13为铁质卡子。
[0029]实施例二
[0030]本实施例提供了一种镀膜设备观察窗100，包括实施例一中的观察窗保护装置1和观察窗2，观察窗保护装置1固定于观察窗2位于真空腔室室内的一侧，只需对观察窗保护装置1进行拆卸更换，避免了拆除更换密封圈带来的漏气风险，因此，本申请提供的镀膜设备观察窗100更换成本低、方便更换且不存在漏气风险。
[0031]观察窗2上设置有固定环3，固定环3用于将观察窗2通过螺栓固定设置在真空腔室的观察口处，固定环3与观察口之间设置有密封圈，溅射物附着到透明玻璃12上。
[0032]实施例三
[0033]本实施例提供了一种镀膜设备，包括实施例二中的镀膜设备观察窗，不需要对整个镀膜设备观察窗进行拆卸更换，避免了更换整个镀膜设备观察窗导致的漏气风险，同时方便更换且更换成本低，因此，本申请提供的镀膜设备更换成本低、方便更换且不存在漏气风险。
[0034]本技术中应用了具体个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种观察窗保护装置，其特征在于：包括：透明遮挡部和卡子，所述卡子用于将所述透明遮挡部可拆卸固定设置于观察窗位于真空腔室室内的一侧；所述透明遮挡部为圆形并能够将所述观察窗完全遮挡；所述透明遮挡部为透明玻璃；所述卡子包括卡子本体和两个固定端头，所述卡子本体为一个开口圆环，所述开口圆环能够沿开口方向发生弹性形变，所述开口圆环两端固定连接有所述固定端头，所述开口圆环与两个所述固定端头一体成型，所述开口圆环与所述固定端头均用于固定所述透明玻璃。2.根据权利要求1所述的观...

【专利技术属性】
技术研发人员：李浩坤，
申请(专利权)人：武汉长利新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：