【技术实现步骤摘要】
携带单颗旋转的取放功能的吸嘴结构
[0001]本专利技术涉及一种吸嘴,具体涉及一种携带单颗旋转的取放功能的吸嘴结构。
技术介绍
[0002]在半导体芯片制程中,有水洗回流之后进行的植球作业,再从拖盘转移至载具中,由于后续工艺需求,需要将所有芯片的角度旋转90度进行放置。因此对应取放动作工艺的机器,一般会遵循旋转90度摆放的方式,进行载具以及拖盘的摆放,即载具方向会根据自身与拖盘方向旋转90度进行机械位置固定。如下图1:小产品取放(不需要角度变换)的示意图。
[0003]但是会有个别情况,例如一些比较大的产品,由于摆放空间受限,是不需要旋转90度的,即横纵方向与转移前一致,因此不能进行直接的平移操作,如下图2:大产品取放示意(进行90度旋转)的示意图。
[0004]以往的吸头组,由于这种规格产品无需对应,因此并没有旋转90度的功能。因此无法对应这种比较大规格的产品。
[0005]而为了这个功能单独制作一台特殊用途的机种,则过于浪费资源。且产量较少,资源利用并不十分有效,但是该产品也是必须品,也需要进行自 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.携带单颗旋转的取放功能的吸嘴结构,其特征在于:包括吸嘴(4)、旋转副(1)、电机(3)和皮带(2),所述旋转副(1)通过电机(3)带动皮带(2)驱动,所述皮带(2)一端套于电机(3)轴上,所述皮带(2)另一端套于吸嘴(4)上部,所述旋转副(1)内的旋转轴(5)下端与吸嘴(4)连接,所述旋转轴(5)的上端外接真空管(6)。2.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵凯,梁猛,林海涛,邵嘉裕,刘新愉,
申请(专利权)人:上海世禹精密机械有限公司,
类型:发明
国别省市:
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