一种合金靶材表面加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种合金靶材表面加工装置，包括置物台和置物板，所述置物台上端固定安装有置物板，所述置物板上端设有用于固定合金靶材的固定机构，所述置物板上方设有用于较平合金靶材的施压机构，所述施压机构下端设有用于调节施压机构位置的移动机构，所述移动机构所处的置物台上端位于左侧位置安装有百分表支架，所述百分表支架一端安装有百分表，所述百分表下端设有测量杆,本实用新型专利技术校平时间短，不会压坏合金靶材，结构简单，使用方便，校平效果好，且通过用塑胶制成的抵压块对合金靶材进行直接触抵，不会对靶材表面造成划痕，适合推广使用。适合推广使用。适合推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种合金靶材表面加工装置


[0001]本技术涉及一种加工装置，具体是一种合金靶材表面加工装置。

技术介绍

[0002]合金靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，有金属类、合金类、氧化物类等等；在使用时是将靶材贴合在背板上，从而形成能够实现溅射加工的靶材原料；在合金靶材与背板进行绑定时，需要在加热平台上进行，由于背板材料与靶材的膨胀系数不同，以及背板与靶材在绑定过程中所达到的温度不同，绑定所得的平面靶材，必然会因为背板与靶材发生不同程度的表征变化，导致平面靶材出现正拱或反拱，这些出现在靶材基片的正拱或反拱的凹凸高度相对理想平面的偏差过大时，会导致靶材基片的溅射膜层均匀度不够，薄膜的成膜质量差等问题。
[0003]所以在进行溅射镀膜前，需要对合金靶材表面进行加工处理，而在现有技术中，一般采用铁块施压处理，这种方式容易对靶材表面造成刮痕，而且由于铁块重量大，导致操作难度大，容易压坏质脆和质软的合金靶材，装置在加工的过程中，不便于对合金靶材进行固定，在加工时容易出现安装不稳的情况，影响合金靶材的加工效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种合金靶材表面加工装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种合金靶材表面加工装置，包括置物台和置物板，所述置物台上端固定安装有置物板，所述置物板上端设有用于固定合金靶材的固定机构，所述置物板上方设有用于较平合金靶材的施压机构，所述施压机构下端设有用于调节施压机构位置的移动机构，所述移动机构所处的置物台上端位于左侧位置安装有百分表支架，所述百分表支架一端安装有百分表，所述百分表下端设有测量杆。
[0007]作为本技术进一步的方案：所述固定机构包括台阶块、通孔、紧固螺纹杆和垫片，所述台阶块位于置物板上端，所述置物板上设有供台阶块移动的滑槽，所述滑槽内设有紧固螺纹杆，所述滑槽上端的台阶块较低一端固定安装有压板，所述压板的中部开设有通孔，所述紧固螺纹杆从下到上依次穿过滑槽和通孔，所述紧固螺纹杆上端配有螺母，所述螺母压接于压板上端，所述压板下端设有垫片。
[0008]作为本技术进一步的方案：所述移动机构包括光杆、驱动丝杆、电机和固定座，所述固定座固定安装在置物板两侧，所述置物板上方设有光杆，所述光杆两端通过固定座安装于置物台上端，所述光杆右侧设置有电机，所述电机的输出端固定连接有驱动丝杆，所述驱动丝杆的两端通过轴承分别安装于固定座内，所述驱动丝杆与光杆间隔设置，所述驱动丝杆与光杆的轴线平行。
[0009]作为本技术进一步的方案：所述施压机构包括移动底座、悬臂、螺纹杆和施压
手轮，所述移动底座内部下端设有与驱动丝杆相匹配的螺纹孔，所述螺纹孔所处的移动底座内部下端设有光杆套，所述螺纹孔与驱动丝杆相匹配，所述光杆套内设有光杆，所述光杆与移动底座滑动连接，所述悬臂固接于移动底座上端，所述悬臂的端部延伸至置物板的上方，所述悬臂的端部开设有螺纹孔，所述螺纹杆一端贯穿悬臂，所述螺纹杆螺纹连接于螺纹孔内，所述螺纹杆贯穿悬臂一端固定连接有施压手轮，所述螺纹杆远离施压手轮一端固定有抵压块。
[0010]作为本技术进一步的方案：所述置物台内设有控制模块，所述控制模块的信号输出端与测量杆电性连接。
[0011]作为本技术进一步的方案：所述抵压块为塑胶材料制成。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述施压手轮上包裹有防滑套。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.本技术通过设置施压手轮、螺纹杆和抵压块，通过抵压块对合金靶材的抵压校平，校平时间短，不会压坏合金靶材，结构简单，使用方便，校平效果好，不会反弹，且通过用塑胶制成的抵压块对合金靶材进行直接触抵，不会对合金靶材表面造成划痕。
[0015]2.本技术结构简单，使用方便，通过使用垫片和紧固螺纹杆和螺母相配合的方式，将其固定于置物板上端进行加工处理，使合金靶材进行加工时，切削更容易，而且也不容易产生崩角现象，通过使用百分表确保校平位置的定位准确性，解决了加工时出现安装不稳的现象，进一步提高了合金靶材的质量。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图。
[0017]图2为本技术中俯视的结构示意图。
[0018]图3为本技术中置物台的立体示意图。
[0019]图4为本技术中固定机构的立体示意图。
[0020]图5为本技术中百分表处的结构示意图。
[0021]其中：1、置物台；2、百分表；3、百分表支架；4、测量杆；5、置物板；6、滑槽；7、台阶块；8、通孔；9、紧固螺纹杆；10、垫片；11、电机；12、驱动丝杆；13、移动底座；14、悬臂；15、螺纹杆；16、施压手轮；17、固定座；18、光杆、19、抵压块。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5，本技术实施例中，一种合金靶材表面加工装置，包括置物台1和置物板5，所述置物台1上端固定安装有置物板5，所述置物板5上端设有用于固定合金靶材的固定机构，所述置物板5上方设有用于较平合金靶材的施压机构，所述施压机构下端设有用于调节施压机构位置的移动机构，所述移动机构所处的置物台1上端位于左侧位置安装有百分表支架3，所述百分表支架3一端安装有百分表2，所述百分表2下端设有测量杆4，测
量杆4对合金靶材进行平面度误差测量，取得平面靶材变形处的平面度误差值，便于对合金靶材变形处进行抵压校平。
[0024]所述固定机构包括台阶块7、通孔8、紧固螺纹杆9和垫片10，所述台阶块7位于置物板5上端，用于放置靶材，所述置物板5上设有供台阶块7移动的滑槽6，台阶块7可以在滑槽6内滑动，可根据靶材的形状进行调节，所述滑槽6内设有紧固螺纹杆9，所述滑槽6上端的台阶块7较低一端固定安装有压板，所述压板的中部开设有通孔8，所述紧固螺纹杆9从下到上依次穿过滑槽6和通孔8，所述紧固螺纹杆9上端配有螺母，所述螺母压接于压板上端，所述压板下端设有垫片10，所述垫片10使用塑胶材料制成，使合金靶材不会在紧固的情况下，受到损伤。
[0025]所述移动机构包括光杆18、驱动丝杆12、电机11和固定座17，所述固定座17固定安装在置物板5两侧，所述置物板5上方设有光杆18，所述光杆18两端通过固定座17安装于置物台1上端，所述光杆18右侧设置有电机11，用于为移动施压机构提供能量，所述电机11的输出端固定连接有驱动丝杆12，所述驱动丝杆12的两端通过轴承分别安装于固定座17内，所述驱动丝杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种合金靶材表面加工装置，包括置物台(1)和置物板(5)，所述置物台(1)上端固定安装有置物板(5)，其特征在于，所述置物板(5)上端设有用于固定合金靶材的固定机构，所述置物板(5)上方设有用于较平合金靶材的施压机构，所述施压机构下端设有用于调节施压机构位置的移动机构，所述移动机构所处的置物台(1)上端位于左侧位置安装有百分表支架(3)，所述百分表支架(3)一端安装有百分表(2)，所述百分表(2)下端设有测量杆(4)。2.根据权利要求1所述的合金靶材表面加工装置，其特征在于，所述固定机构包括台阶块(7)、通孔(8)、紧固螺纹杆(9)和垫片(10)，所述台阶块(7)位于置物板(5)上端，所述置物板(5)上设有供台阶块(7)移动的滑槽(6)，所述滑槽(6)内设有紧固螺纹杆(9)，所述滑槽(6)上端的台阶块(7)较低一端固定安装有压板，所述压板的中部开设有通孔(8)，所述紧固螺纹杆(9)从下到上依次穿过滑槽(6)和通孔(8)，所述紧固螺纹杆(9)上端配有螺母，所述螺母压接于压板上端，所述压板下端设有垫片(10)。3.根据权利要求1所述的合金靶材表面加工装置，其特征在于，所述移动机构包括光杆(18)、驱动丝杆(12)、电机(11)和固定座(17)，所述固定座(17)固定安装在置物板(5)两侧，所述置物板(5)上方设有光杆(18)，所述光杆(18)两端通过固定座(17)安装于置物台(1)上端，所述光杆(18)右侧设置有电机(11)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹硕华，
申请(专利权)人：长沙鑫康新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：