本发明专利技术公开了一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，包括锻压机、传送带、转运器、脱模剂喷洒器和中央控制器，两条所述传送带分别设置在锻压机的前后两侧，所述转运器设置在锻压机的一侧并将炉盖原材料或炉盖成品在锻压机和传送带之间转送，所述脱模剂喷洒器包括喷枪、液管、液箱和液泵，所述喷枪通过液管与储存有脱模剂的液箱相连接且管路上安装有液泵，若干个所述喷枪分别固定在锻压机之中且朝向锻压机的冲压板和模具喷洒脱模剂，所述锻压机、传送带、转运器和脱模剂喷洒器分别与中央控制器电连接，能够避免传送电机从输出轴处接收热量升温而导致使用寿命降低，还可避免炉盖成品与冲压板和模具相粘连。冲压板和模具相粘连。冲压板和模具相粘连。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置
[0001]本专利技术涉及单晶炉的
，特别是一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的
技术介绍
[0002]单晶硅是一种良好的半导体材料，可以用于二极管级、整流器件级、电路级和芯片产品的生产与深加工制造之中，其后续产品集成电路和半导体分离器件等也已广泛应用于各个领域，尤其在军事电子设备中占有着重要地位，处于新材料发展的前沿。
[0003]单晶炉是一种在惰性气体环境中，利用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，再利用直拉法生长无错位单晶的设备，通常包括炉体、电气控制柜、加热变压器、电源滤波柜、主真空泵、副室真空泵、真空管道、液压系统、氩气系统和冷却水系统等。
[0004]目前在制备单晶炉的炉盖时，通常采用传送带将高温的盖体原料运输至锻压机处进行锻压成型，传送带的传送电机长时间在高温环境下运作容易出现寿命减短的问题。此外，在锻压期间，压制结束后的炉盖成品容易粘黏在模具或冲压板上，影响后续的锻压，亟待解决。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，能够不断将由主动轴处传来的热量传输至冷却液之中，对传送电机进行隔热，避免传送电机从输出轴处接收热量升温而导致使用寿命降低，还可避免炉盖成品与冲压板和模具相粘连。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提出了一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，包括锻压机、传送带、转运器、脱模剂喷洒器和中央控制器，两条所述传送带分别设置在锻压机的前后两侧，所述转运器设置在锻压机的一侧并将炉盖原材料或炉盖成品在锻压机和传送带之间转送，所述脱模剂喷洒器包括喷枪、液管、液箱和液泵，所述喷枪通过液管与储存有脱模剂的液箱相连接且管路上安装有液泵，若干个所述喷枪分别固定在锻压机之中且朝向锻压机的冲压板和模具喷洒脱模剂，所述锻压机、传送带、转运器和脱模剂喷洒器分别与中央控制器电连接。
[0007]作为优选，所述锻压机包括机台、机架、液压缸、冲压板和模具，所述机架位于机台之上，所述液压缸安装在机架之上且伸缩杆端部与冲压板相连接，所述模具安装在机台之上且与冲压板相对设置。
[0008]作为优选，所述传送带包括传送带本体、传送电机和冷却器，所述冷却器包括冷却箱和冷却轮，所述冷却轮的轮板的一部分浸入位于冷却箱内的冷却液之中且前后两侧分别与传送带本体的主动轴以及传送电机的输出轴同心连接。
[0009]作为优选，所述冷却箱包括箱体和箱盖，所述箱盖封闭箱体顶部的开口从而与箱体之间共同包围形成密封腔室，所述轮板位于密封腔室之中，所述箱体或箱盖上设有侧口。
[0010]作为优选，所述轮板的前后两侧中央分别设有轮轴，两根所述轮轴分别可转动连接在箱体或箱盖之上且自由端在沿着侧口伸出密封腔室之后而与传送带本体的主动轴以及传送电机的输出轴同心连接。
[0011]作为优选，所述转运器包括竖向滑台、横向滑台和机械手，所述竖向滑台包括竖向台体和竖向驱动器，所述横向滑台包括横向台体和横向驱动器，所述竖向驱动器驱动横向台体沿着竖向台体的竖向滑槽上下移动，所述横向驱动器驱动机械手沿着横向台体的横向滑槽前后移动，所述机械手包括手指和手驱动器，所述手指由手驱动器驱动而张开或闭合。
[0012]作为优选，所述喷枪包括主管体、副管体、喷头和枪体驱动器，所述主管体的顶端与液管相连接，所述副管体的顶端可转动连接在主管体之中而底端与喷头相连接，所述副管体靠近喷头处设有弯曲段，所述副管体由枪体驱动器驱动转动。
[0013]作为优选，所述枪体驱动器包括枪体电机、主动齿轮和被动齿轮，所述枪体电机固定在主管体的外壁上且输出轴与主动齿轮相连接，所述主动齿轮与被动齿轮相啮合，所述被动齿轮固定在副管体的外壁上。
[0014]本专利技术的有益效果：本专利技术通过锻压机、传送带和转运器之间的相互配合，完成自动进料、冲压和出料，同时配合设置脱模剂喷洒器，能够在冲压前后对锻压机的冲压板和模具自动喷洒脱模剂，避免炉盖成品与冲压板和模具相粘连而影响后续产品的加工，整个过程无需工人配合，工作效率高；通过设置枪体驱动器驱动副管体在主管体之下转动，能够在不影响脱模剂喷出的情况下，增大脱模剂的喷洒范围；通过在传动带本体的主动轴和传送电机的输出轴之间设置冷却轮，并使冷却轮的轮板的一部分浸入位于冷却箱内的冷却液之中，从而不断将由主动轴处传来的热量传输至冷却液之中，对传送电机进行隔热，避免传送电机从输出轴处接收热量升温而导致使用寿命降低；通过将轮板封入密封腔室之中，并在轮板的前后两侧分别同心设置轮轴，既便于安装，又避免冷却液随着转动的冷却轮而飞溅出。
[0015]本专利技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
[0016]图1是本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的俯视图；
[0017]图2是本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的锻压机的主视图；
[0018]图3是本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的传送带的俯视图；
[0019]图4是本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的冷却器的主视图；
[0020]图5是本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的传送电机与冷却轮的连接示意图；
[0021]图6是本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的转运器的俯视图；
[0022]图7是本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置的喷枪的主视图。
[0023]图中：1
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锻压机、11
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机台、12
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机架、13
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液压缸、14
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冲压板、15
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模具、2
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传送带、21
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传送带本体、22
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传送电机、23
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冷却器、231
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冷却箱、2311
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箱体、2312
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箱盖、232
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冷却轮、2321
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轮板、2322
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轮轴、3
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转运器、31
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竖向滑台、32
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横向滑台、33
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机械手、331
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手指、332
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手驱动器、4
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脱模剂喷洒器、41
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主管体、42
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副管体、421
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弯曲段、43
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喷头、44
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枪体驱动器、441
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枪体电机、442
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主动齿轮、443
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被动齿轮。
【具体实施方式】
[0024]参阅图1至图7，本专利技术一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，包括锻压机1、传送带2、转运器3、脱模剂喷洒器4和中央控制器，两条所述传送带2分别设置在锻压机1的前后两侧，所述转运器3本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，其特征在于：包括锻压机(1)、传送带(2)、转运器(3)、脱模剂喷洒器(4)和中央控制器，两条所述传送带(2)分别设置在锻压机(1)的前后两侧，所述转运器(3)设置在锻压机(1)的一侧并将炉盖原材料或炉盖成品在锻压机(1)和传送带(2)之间转送，所述脱模剂喷洒器(4)包括喷枪、液管、液箱和液泵，所述喷枪通过液管与储存有脱模剂的液箱相连接且管路上安装有液泵，若干个所述喷枪分别固定在锻压机(1)之中且朝向锻压机(1)的冲压板(14)和模具(15)喷洒脱模剂，所述锻压机(1)、传送带(2)、转运器(3)和脱模剂喷洒器(4)分别与中央控制器电连接。2.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，其特征在于：所述锻压机(1)包括机台(11)、机架(12)、液压缸(13)、冲压板(14)和模具(15)，所述机架(12)位于机台(11)之上，所述液压缸(13)安装在机架(12)之上且伸缩杆端部与冲压板(14)相连接，所述模具(15)安装在机台(11)之上且与冲压板(14)相对设置。3.如权利要求1所述的一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，其特征在于：所述传送带(2)包括传送带本体(21)、传送电机(22)和冷却器(23)，所述冷却器(23)包括冷却箱(231)和冷却轮(232)，所述冷却轮(232)的轮板(2321)的一部分浸入位于冷却箱(231)内的冷却液之中且前后两侧分别与传送带本体(21)的主动轴以及传送电机(22)的输出轴同心连接。4.如权利要求3所述的一种单晶硅生长炉炉盖精密成型装置，其特征在于：所述冷却箱(231)包括箱体(2311)和箱盖(2312)，所述箱盖(2312)封闭箱体(2311)顶部的开口从而与箱体(2311)之间共同包围形成密封腔室，所述轮板(2321)位于密封腔室之...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪书文，叶建海，高典，高文柱，
申请(专利权)人：嘉兴坤博新能源装备制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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