本实用新型专利技术公开了一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，涉及蚀刻设备技术领域，包括主体，所述主体的正面设置有开合门，所述开合门的右端设置有控制装置，且控制装置的背面与设置的主体的正面固定连接，所述主体的内部顶端固定连接有横杆，且横杆的内部固定连接有螺纹轴，所述横杆的下端设置有蚀刻装置，所述蚀刻装置的下端设置有固定装置。本实用新型专利技术通过粉刷槽与固定元件的设置，从而方便粉刷装置对油脂地蘸取，然后根据抽取装置与抽取管道的设置，从而对油脂的提取，然后传输到粉刷槽的内部，根据回收槽与固定元件的设置，可以对多余的油脂进行回收，然后根据过滤网板的设置，对回收的油脂进行过滤。脂进行过滤。脂进行过滤。
【技术实现步骤摘要】
一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置
[0001]本技术涉及蚀刻设备
，具体涉及一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置。
技术介绍
[0002]蚀刻装置基本原理是利用化学感光材料的光敏特性，在基体金属基片两面均匀涂敷感光材料采用光刻方法，将胶膜板上栅网产显形状精确地复制到金属基片两面的感光层掩膜上通过显影去除未感光部分的掩膜，将裸露的金属部分在后续的加工中与腐蚀液直接喷压接触而被蚀除，最终获取所需的几何形状及高精度尺寸的产品技术蚀刻技术。
[0003]现有的一些蚀刻装置在对薄膜蚀刻时需要人工进行粉刷一层油脂，人工粉刷增加了工人的工作量，而且粉刷不够均匀，使用性能较差，另外还有一些蚀刻装置在粉刷油脂时，油脂滴落在外部，造成油脂的浪费。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，其中一种目的是为了解决一些蚀刻装置在对薄膜蚀刻时需要人工进行粉刷一层油脂，人工粉刷增加了工人的工作量，而且粉刷不够均匀，使用性能较差，另外还有一些蚀刻装置在粉刷油脂时，油脂滴落在外部，造成油脂的浪费。
[0005]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
[0006]一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，包括主体，所述主体的正面设置有开合门，所述开合门的右端设置有控制装置，且控制装置的背面与设置的主体的正面固定连接，所述主体的内部顶端固定连接有横杆，且横杆的内部固定连接有螺纹轴，所述横杆的下端设置有蚀刻装置，所述蚀刻装置的下端设置有固定装置，且固定装置的下端与设置的主体的内部底端固定连接，蚀刻装置的下端设置有粉刷装置，且粉刷装置的右端设置有蚀刻元件。
[0007]本技术技术方案的进一步改进在于：所述蚀刻装置包括驱动装置、连接杆和支撑板，所述驱动装置的下端与设置的连接杆的上端固定连接，所述支撑板的中部设置有活动轴，且活动轴的左端与设置的连接杆的右端固定连接。
[0008]采用上述技术方案，该方案中的驱动装置套接在横杆下端的螺纹孔上，驱动装置与控制装置线性连接。
[0009]本技术技术方案的进一步改进在于：所述支撑板的下端与设置的蚀刻元件的上端固定连接，所述粉刷装置的上端与设置的支撑板的下端固定连接。
[0010]采用上述技术方案，该方案中的粉刷装置设置为高分子软质橡胶刷，粉刷装置与蚀刻元件分别安装在支撑板的两侧。
[0011]本技术技术方案的进一步改进在于：所述固定装置包括蚀刻薄膜、固定元件、粉刷槽、抽取装置和抽取管道，所述蚀刻薄膜的下端与设置的固定元件的上端固定连接，所述粉刷槽的下端贯穿固定元件的上端，所述固定元件的下端与设置的抽取装置的上端固定连接，且抽取装置的下端固定连接有抽取管道。
[0012]本技术技术方案的进一步改进在于：所述固定元件的左端贯穿设置有回收槽，所述固定元件的内部顶端固定连接有挡板，所述挡板的左端设置有过滤网板，且过滤网板的左端与设置的固定元件的左端内壁固定连接，所述固定元件的左端设置有回收箱。
[0013]采用上述技术方案，该方案中的固定元件的左端贯穿有通槽，且通槽的下端与设置的过滤网板的左端在同一水平线上。
[0014]本技术技术方案的进一步改进在于：所述挡板的中部固定连接有振动器，且振动器的上端与设置的过滤网板的右端固定连接，所述过滤网板的右端固定连接有铰接元件，且铰接元件的右端与设置的挡板的左端固定连接。
[0015]采用上述技术方案，该方案中的过滤网板下端挡板之间的夹角设置为35
°
。
[0016]本技术技术方案的进一步改进在于：所述驱动装置通过横杆内部的螺纹轴与横杆滑动连接，所述支撑板通过设置的活动轴与连接杆活动连接。
[0017]采用上述技术方案，该方案中的活动轴上设置有小型伺服电机，从而方便带动连接杆与支撑板之间的活动连接。
[0018]由于采用了上述技术方案，本技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
[0019]1、本技术提供一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，根据驱动装置与横杆的设置，从而可以带动整个的蚀刻装置沿横杆进行左右的移动，然后根据支撑板中部的活动轴与连接杆的连接，从而可以方便支撑板上粉刷装置与蚀刻元件的调换，从而可以实现自动粉刷的效果，减少人工的操作。
[0020]2、本技术提供一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，根据粉刷槽与固定元件的设置，从而方便粉刷装置对油脂地蘸取，然后根据抽取装置与抽取管道的设置，从而对油脂的提取，然后传输到粉刷槽的内部，根据回收槽与固定元件的设置，可以对多余的油脂进行回收，然后根据过滤网板的设置，对回收的油脂进行过滤，避免带有一些杂质，挡板与振动器的设置，可以加快过滤网板的过滤，铰接元件与挡板的组合设置，从而可以对过滤网板起到支撑固定的效果，根据过滤网板与回收箱的设置，可以将过滤的杂质传输到回收箱的内部。
附图说明
[0021]图1为本技术的整体立体结构示意图；
[0022]图2为本技术的主体剖视立体结构示意图；
[0023]图3为本技术的固定装置剖视立体结构示意图；
[0024]图4为本技术的挡板与过滤网板部分立体结构示意图。
[0025]图中：1、主体；11、横杆；12、驱动装置；13、连接杆；14、支撑板；15、粉刷装置；16、蚀刻元件；2、开合门；3、控制装置；4、固定装置；41、蚀刻薄膜；42、固定元件；43、粉刷槽；44、抽取装置；45、抽取管道；46、回收槽；47、挡板；471、振动器；472、铰接元件；48、过滤网板；49、回收箱。
具体实施方式
[0026]下面结合实施例对本技术做进一步详细说明：
[0027]实施例1
[0028]如图1
‑
4所示，本技术提供了一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，包括主体1，主体1的正面设置有开合门2，开合门2的右端设置有控制装置3，且控制装置3的背面与设置的主体1的正面固定连接，主体1的内部顶端固定连接有横杆11，且横杆11的内部固定连接有螺纹轴，驱动装置12套接在横杆11下端的螺纹孔上，从而方便利用驱动装置12内的小型伺服电机驱动，从而沿螺纹轴进行滑动，驱动装置12与控制装置3线性连接，从而方便利用控制装置3来调控驱动装置12，横杆11的下端设置有蚀刻装置，蚀刻装置的下端设置有固定装置4，且固定装置4的下端与设置的主体1的内部底端固定连接，蚀刻装置的下端设置有粉刷装置15，且粉刷装置15的右端设置有蚀刻元件16。
[0029]优选的，蚀刻装置包括驱动装置12、连接杆13和支撑板14，驱动装置12的下端与设置的连接杆13的上端固定连接，支撑板14的中部设置有活动轴，且活动轴的左端与设置的连接杆13的右端固定连接，粉刷装置15设置为高分子软质橡胶刷，用来对表面薄膜进行粉刷，避免造成对表面的损害，粉刷装置15与蚀刻元件16分别安装在支撑板14的两侧，方便利用支撑板14内的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，包括主体(1)，所述主体(1)的正面设置有开合门(2)，所述开合门(2)的右端设置有控制装置(3)，且控制装置(3)的背面与设置的主体(1)的正面固定连接，其特征在于：所述主体(1)的内部顶端固定连接有横杆(11)，且横杆(11)的内部固定连接有螺纹轴，所述横杆(11)的下端设置有蚀刻装置，所述蚀刻装置的下端设置有固定装置(4)，且固定装置(4)的下端与设置的主体(1)的内部底端固定连接，蚀刻装置的下端设置有粉刷装置(15)，且粉刷装置(15)的右端设置有蚀刻元件(16)。2.根据权利要求1所述的一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻装置包括驱动装置(12)、连接杆(13)和支撑板(14)，所述驱动装置(12)的下端与设置的连接杆(13)的上端固定连接，所述支撑板(14)的中部设置有活动轴，且活动轴的左端与设置的连接杆(13)的右端固定连接。3.根据权利要求2所述的一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，其特征在于：所述支撑板(14)的下端与设置的蚀刻元件(16)的上端固定连接，所述粉刷装置(15)的上端与设置的支撑板(14)的下端固定连接。4.根据权利要求1所述的一种VCSEL芯片表面薄膜蚀刻装置，其特征在于：所述固定装置(4)包括蚀刻薄膜(41)、固定元件(42)、粉刷...
【专利技术属性】
技术研发人员：时岱，杨军，白昱，
申请(专利权)人：苏州七橡科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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