本发明专利技术的目的在于提供一种能够沿垂直方向升降的同时当水平方向移送时进行对准，从而能够防止对准部破损的配备有对准功能的气体供应装置。用于实现此目的的本发明专利技术的气体供应装置包括：上部模块，包括主板，所述主板固定设置在配备于容器上端的阀部的上侧；下部模块，包括盖分离部、连接器紧固部和第二对准部，并且能够相对于所述上部模块沿垂直方向升降，其中，所述盖分离部将覆盖阀连接器的盖从所述阀连接器分离，所述阀连接器配备于所述阀部，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器，所述第二对准部当水平方向移送时通过与配备于所述阀部的第一对准部结合而实现所述容器的对准。的第一对准部结合而实现所述容器的对准。的第一对准部结合而实现所述容器的对准。
【技术实现步骤摘要】
配备有对准功能的气体供应装置
[0001]本专利技术涉及一种气体供应装置，尤其涉及一种当替换气体储存容器时能够在将气体储存容器的阀连接器与连接于气体需求处的连接配管连接器紧固之前对准气体储存容器的气体供应装置。
技术介绍
[0002]通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备等执行精密作业的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合于各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。
[0003]为了进行有效的提供，许多种类的气体在高压状态下进行保管，尤其，具有可燃性、毒性、腐蚀性等有害特性的气体在与人类隔离的单独的空间进行严格管理。
[0004]保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接于气体需求处，若保管在容器的气体被全部消耗，则将连接于气体需求处的连接配管从气体容器的阀分离而替换容器之后，将连接于气体需求处的连接配管连接器结合到替换后的容器的阀连接器而再次供应气体。
[0005]在这样替换容器的情况下，操作者必须将容器放置在容器装载部的原位置，但是若没有配备用于将容器放置到原位置的自动化装置，则具有操作者难以将气体桶准确地放置到原位置的问题。
[0006]当然，若配备有自动化装置，则能够将容器放置到原位置，但是具有装置的构成复杂且制造成本高的问题。
[0007]作为关于半导体设备的气体供应装置的现有技术，公开有韩国授权专利第10-0242982号。
技术实现思路
[0008]本专利技术是为了解决上述的各种问题而提出的，其目的在于提供一种能够沿垂直方向升降的同时当水平方向移送时进行对准，从而能够防止对准部破损的气体供应装置。
[0009]本专利技术的另一目的在于提供一种当水平方向移送时使对准部能够进行旋转，从而能够实现更准确的对准的气体供应装置。
[0010]用于达成上述目的的本专利技术的配备有对准功能的气体供应装置包括：上部模块，配备有主板，所述主板固定设置在配备于容器上端的阀部的上侧；下部模块，包括盖分离部、连接器紧固部和第二对准部，并且能够相对于所述上部模块沿垂直方向升降，其中，所述盖分离部将覆盖阀连接器的盖从所述阀连接器分离，所述阀连接器配备于所述阀部所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器，所述第二对准部当水平方向移送时通过与配备于所述阀部的第一对准部结合而实现所述容器的对准。
[0011]所述第一对准部和第二对准部中的任意一个可以由具有水平方向的长度的销形状的对准销构成，其余一个由供所述对准销插入的对准销插入槽构成。
[0012]所述第二对准部可以与配备于所述下部模块的外侧的侧面壳体结合。
[0013]在所述侧面壳体可以结合有对准块，所述第二对准部在所述对准块配备于朝向所述阀部的面。
[0014]所述第一对准部可以配备于与所述阀部结合的固定块，所述固定块包括：第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块以如下方式包围所述阀部：使得使用于管制气体的供应的阀开闭的手柄向上部暴露，使所述阀连接器向所述连接配管连接器所在的方向暴露，所述第一固定块具有水平方向的长度，并且所述水平方向的一侧部包围所述阀部，在所述水平方向的另一侧部配备有所述第一对准部。
[0015]用于结合到在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部的第二结合部可以配备于所述下部模块，当所述第一对准部与第二对准部结合时，所述第一结合部与第二结合部结合，从而保持所述固定块与所述下部模块的结合状态。
[0016]在所述下部模块可以结合有对准块，所述第二结合部由配备于所述对准块且朝向所述第一结合部凸出的固定块结合部件构成，所述第一结合部由形成于所述固定块而使所述固定块结合部件插入的固定槽构成，若所述固定块结合部件插入到所述固定槽，则所述固定块结合部件被防止从所述固定槽脱离，若供应空气，则所述固定块结合部件能够从所述固定槽脱离。
[0017]所述下部模块可以配备为能够相对于所述上部模块沿水平方向旋转。
[0018]所述下部模块的上部与所述上部模块的下部可以通过固定销结合，在所述下部模块和上部模块中的任意一个结合有引导销，在其余一个形成有圆弧形状的引导槽，以使所述引导销插入所述引导槽而能够以所述固定销为旋转中心旋转。
[0019]在所述上部模块可以配备有：一对移送引导件，用于沿垂直方向移送所述下部模块；一对移送引导件支撑部件，结合于所述一对移送引导件的下部，其中，所述一对移送引导件支撑部件中的一侧的移送引导件支撑部件与所述下部模块通过所述固定销结合，在形成于另一侧的移送引导件支撑部件的所述引导槽插入有结合于所述下部模块的引导销。
[0020]所述下部模块可以相对于所述上部模块能够沿水平方向旋转的同时直线移动。
[0021]在所述上部模块可以配备有：第一移送引导件，为了引导所述下部模块沿作为水平方向中的任意一个的第一方向移送而配备；第二移送引导件，用于引导所述下部模块沿水平方向中的与第一方向垂直的第二方向移送。
[0022]所述主板、中间板、下部板可以配备为从上部向下部彼此隔开，所述第一移送引导件配备于所述主板与中间板之间，所述第二移送引导件配备于所述中间板与下部板之间。
[0023]在所述上部模块可以配备有：第三移送引导件，用于引导所述下部模块沿垂直方向移送。
[0024]在所述第三移送引导件可以配备有用于对垂直方向移送进行制动的垂直方向制动部。
[0025]可以配备有用于对所述水平方向中的至少任意一个直线方向移送进行制动的水平方向制动部。
[0026]在所述下部模块可以配备有：移送机构，用于相对于所述阀部沿前后方向和左右方向一体地移送所述盖分离部和连接器紧固部；旋转机构，用于使所述盖分离部和连接器紧固部旋转，并且配备有：控制部，用于控制所述移送机构的移送及所述旋转机构的旋转。
[0027]根据本专利技术，下部模块能够沿垂直方向升降的同时，当水平方向移送时进行对准，从而能够防止对准部破损。
[0028]并且，下部模块相对于上部模块可旋转，从而能够实现更准确的对准。
[0029]并且，即使操作者未将容器置于容器装载部的准确位置也能够实现容器的准确对准，因此作业便利。
附图说明
[0030]图1是示出本专利技术的气体供应装置的立体图。
[0031]图2是示出在本专利技术的气体供应装置中阀固定模块结合于容器的状态的立体图。
[0032]图3是示出本专利技术的气体供应装置的上部模块的立体图。
[0033]图4是示出本专利技术的气体供应装置的下部模块的立体图。
[0034]图5是示出本专利技术的气体供应装置中的插头模块和垫片供应部的立体图。
[0035]图6是示出在本专利技术的气体供应装置中第一对准部与第二对准部布置为对向的状态的平面图。
[0036]图7是示出在图6的状态下使下部模块前进而第一对准部与第二对准部结合的状态的平面图。
[0037]图8是示出在图7的状态下使盖分离部前进而结合于盖的状本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体供应装置，包括：上部模块，配备有主板，所述主板固定设置在配备于容器上端的阀部的上侧；下部模块，包括盖分离部、连接器紧固部和第二对准部，并且能够相对于所述上部模块沿垂直方向升降，其中，所述盖分离部将覆盖阀连接器的盖从所述阀连接器分离，所述阀连接器配备于所述阀部，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接到所述阀连接器，所述第二对准部当水平方向移送时通过与配备于所述阀部的第一对准部结合而实现所述容器的对准。2.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述第一对准部和第二对准部中的任意一个由具有水平方向的长度的销形状的对准销构成，其余一个由供所述对准销插入的对准销插入槽构成。3.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述第二对准部与配备于所述下部模块的外侧的侧面壳体结合。4.根据权利要求3所述的气体供应装置，其特征在于，在所述侧面壳体结合有对准块，所述第二对准部在所述对准块配备于朝向所述阀部的面。5.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述第一对准部配备于与所述阀部结合的固定块，所述固定块包括：第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块以如下方式包围所述阀部：使得使用于管制气体的供应的阀开闭的手柄向上部暴露，并且使所述阀连接器向所述连接配管连接器所在的方向暴露，所述第一固定块具有水平方向的长度，并且所述水平方向的一侧部包围所述阀部，在所述水平方向的另一侧部配备有所述第一对准部。6.根据权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述第一对准部配备于与所述阀部结合的固定块，用于结合到在所述固定块邻近于所述第一对准部而配备的第一结合部的第二结合部配备于所述下部模块，当所述第一对准部与第二对准部结合时，所述第一结合部与第二结合部结合，从而保持所述固定块与所述下部模块的结合状态。7.根据权利要求6所述的气体供应装置，其特征在于，在所述下部模块结合有对准块，所述第二结合部由配备于所述对准块且朝向所述第一结合部凸出的固定块结合部件构成，所述第一结合部由形成于所述固定块而使所述固定块结合部件插入的固定槽构成，若所述固定块结合部件插入到所述固定槽，则所述固定块结合部件被防止从所述固定槽脱离，若供应空气，则所述固定块结合部件能够从所述固定槽脱离。8.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴用建，李祥煜，金容澈，徐彻教，金相镇，
申请(专利权)人：KC股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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