一种真空预载气浮支承结构及其应用制造技术

本发明专利技术公开了一种真空预载气浮支承结构及其应用，真空预载气浮支承结构，包括基板和浮板，所述基板的上端面向下凹陷形成真空腔，基板与浮板之间形成气膜间隙，基板内在真空腔下方设置有调节腔，调节腔与真空腔连通，调节腔的纵向截面呈凸形结构，所述调节腔的大端内设置有真空节流板，真空节流板的上端面设置有永磁体，所述永磁体能够在调节腔的小端内上下移动，真空节流板上设置有过孔，所述过孔与调节腔的小端错开设置，真空节流板的上端面与调节腔内壁之间形成真空节流口，所述真空腔通过真空节流口、过孔和抽气口与真空发生装置连通，所述浮板采用导磁金属材料制成。本发明专利技术通过磁力结构的引入，有效地提升真空预载气浮支承的刚度。承的刚度。承的刚度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空预载气浮支承结构及其应用


[0001]本专利技术涉及气体静压支承
，具体涉及一种真空预载气浮支承结构及其应用。

技术介绍

[0002]气体静压支承具有精度高、无摩擦、寿命长等优点，在精密、超精密检测与制造领域应用广泛。根据支承面布置，静压支承一般可以分为开式结构和闭式结构。开式结构为单面支承，结构简单，装调难度低，但是其不能承受反向负载，刚度偏低；闭式结构为双面支承，结构相对复杂，装调难度稍大，但可以承受双向负载，刚度好。真空预载气浮支承技术是在开式气浮支承的基础上，增加真空吸附区，使得支承面同时具备反向吸力，从而实现反向承载，刚度得到一定增加。但是和闭式气浮支承相比，其刚度还是较弱。
[0003]附图1为典型的真空预载气浮支承结构方案，支承面分为气浮区和吸附区，气浮区与传统气体静压支承一致，采用节流器(小孔、狭缝、多孔质或其他)进行节流，从而实现刚度的调节；吸附区一般设置为一个真空腔，通过真空发生器或真空泵向外抽气，吸附区的真空度一般为恒定值。
[0004]目前，有些公司、研究所采用了真空预载气浮支承技术，取得了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空预载气浮支承结构，包括基板(1)和浮板(3)，所述浮板(3)设置在基板(1)的上方，所述基板(1)的上端面嵌入有若干节流塞(2)，所述节流塞(2)通过正压供气口(21)与正压提供装置连通，所述基板(1)的上端面向下凹陷形成真空腔(23)，所述真空腔(23)通过抽气口(26)与真空发生装置连通，其特征在于，所述基板(1)与浮板(3)之间形成气膜间隙(22)，所述基板(1)内在真空腔(23)下方设置有调节腔，所述调节腔与真空腔(23)连通，所述调节腔的纵向截面呈凸形结构，所述调节腔的大端内设置有真空节流板(5)，所述真空节流板(5)的上端面设置有永磁体(4)，所述永磁体(4)能够在调节腔的小端内上下移动，所述真空节流板(5)上设置有过孔(25)，所述过孔(25)与调节腔的小端错开设置，所述真空节流板(5)的上端面与调节腔内壁之间形成真空节流口(24)，所述真空腔(23)通过真空节流口(24)、过孔(25)和抽气口(26)与真空发生装置连通，所述浮板(3)采用导磁金属材料制成。2.根据权利要求1所述的一种真空预载气浮支承结构，其特征在于，所述调节腔的大端内设置在真空节流板(5)的下方滑动设置有堵头(6)，所述堵头(6)的上端面向下凹陷形成凹槽，所述真空节流板(5)的下端面设置有凸起(27)，所述凸起(27)的自由端嵌入凹槽内，所述凸起(27)的外壁与凹槽的内壁紧贴，所述凸起(27)的底部与凹槽之间形成孔腔(28)，通过滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡秋，李梦阳，薛宝珠，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：