一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置，包括供气装置以及相对设置的浮动体、载体，供气装置向浮动体、载体之间通入气流使浮动体、载体之间形成静压承载气膜，还包括安装于载体的高频振动发生器，所述高频振动发生器驱动所述载体高频振动。本发明专利技术能够实现抑制静压承载气膜低频振动的作用，并能够进一步避免浮动体随静压承载气膜共振，进而提高气浮支承共振的稳定性。浮支承共振的稳定性。浮支承共振的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法


[0001]本专利技术涉及气浮支承领域，具体是一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法。

技术介绍

[0002]气体轴承及气浮支承是现代工业中常用的支承方式，其一般包括载体和浮动体，载体和浮动体上下相对，其中浮动体在上，载体在下，通过供气装置向载体和浮动体之间通入恒压气流，使载体和浮动体之间形成静压承载气膜，该静压承载气膜使浮动体相对于载体向上浮动，由此形成对浮动体的支撑。
[0003]在气体轴承及气浮支承与传输等气浮支承技术应用场合，气浮支承的稳定性控制是技术难点之一。由于产生的静压承载气膜刚度很低，容易发生低频振动（或震荡），当静压承载气膜振动频率与浮动体共振时的固有频率接近时，甚至会导致浮动体发生共振，严重时会使得气浮支承系统失稳而无法正常工作。在现有的气浮支承技术中，一般都是通过恰当设计供气装置中喷嘴、承压腔及节流装置的几何形貌与尺寸等措施提高气浮支承的稳定性，但仍然没有从根本上解决浮动体随静压承载气膜共振的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置，包括供气装置，以及相对设置的浮动体、载体，浮动体、载体彼此相对的一面相互平行，所述供气装置向浮动体、载体之间通入气流使浮动体、载体之间形成静压承载气膜，通过静压承载气膜使浮动体相对于载体浮起，其特征在于，还包括安装于载体的高频振动发生器，所述高频振动发生器驱动所述载体高频振动，使所述静压承载气膜中产生抑制静压承载气膜低频振动的挤压膜效应。2.根据权利要求1所述的一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置，其特征在于，所述高频振动发生器为压电陶瓷高频振动器。3.根据权利要求1所述的一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置，其特征在于，所述高频振动发生器驱动所述载体沿平行于浮动体浮起方向高频振动，由此使所述静压承载气膜产生抑制静压承载气膜低频振动的挤压膜效应。4.根据权利要求3所述的一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置，其特征在于，所述高频振动发生器驱动所述载体高频振动的振动频率，与所述静压承载气膜低频振动时的振动频...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄斌，王雪建，许智，马运杰，金施群，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：