下载一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法的技术资料

文档序号:29976201

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本发明公开了一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置,包括供气装置以及相对设置的浮动体、载体,供气装置向浮动体、载体之间通入气流使浮动体、载体之间形成静压承载气膜,还包括安装于载体的高频振动发生器,所述高频振动发生器驱动所述载体高频振动。本发明...
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