一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组制造技术

本实用新型专利技术属于空气净化处理机组技术领域，尤其为一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，包括机组本体，所述机组本体的内壁滑动连接有活性炭杀菌网，所述机组本体的内壁滑动连接有第一防尘网，所述机组本体的内壁滑动连接有第二防尘网，所述活性炭杀菌网、第一防尘网和第二防尘网的顶部均固定连接有拉板，所述机组本体的顶部固定连接有固定盒。本实用新型专利技术通过拉杆的设置，使拉杆向两边拉动时，带动限位板向两边压缩伸缩杆和压缩弹簧，将插杆从套筒内抽出，使插杆与拉板分离，配合活性炭杀菌网、第一防尘网、第二防尘网与机组本体滑动连接，从而可将活性炭杀菌网、第一防尘网、第二防尘网抽出。二防尘网抽出。二防尘网抽出。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组


[0001]本技术涉及空气净化处理机组
，具体为一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组。

技术介绍

[0002]空气处理机组，是一种集中式空气处理系统，它起源于设备集中设置，通过风管分配加热空气的强制式热风采暖和通风系统，基本的集中式系统是一种全空气单区域系统，如中国申请专利号为：CN201820236845.4，本技术公开了一种空气净化处理机组，包括保护箱，所述保护箱的顶部固定连接有壳体，所述壳体内腔的顶部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有转盘，所述转盘表面的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的表面套设有传动框，所述传动框的内壁与固定杆的表面滑动连接，所述传动框的顶部固定连接有滑杆。
[0003]目前空气处理机组存在以下问题：
[0004]1、杀菌网一般与机组为固定连接，当其损坏时，不便将其拆卸进行维修或更换；
[0005]2、只能简单的对空气进行处理，不便对空气中灰尘进行去除，影响空气质量。

技术实现思路

[0006](一)解决的技术问题...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，包括机组本体(1)，其特征在于：所述机组本体(1)的内壁滑动连接有活性炭杀菌网(2)，所述机组本体(1)的内壁滑动连接有第一防尘网(3)，所述机组本体(1)的内壁滑动连接有第二防尘网(4)，所述活性炭杀菌网(2)、第一防尘网(3)和第二防尘网(4)的顶部均固定连接有拉板(19)，所述机组本体(1)的顶部固定连接有固定盒(5)，所述固定盒(5)的内壁滑动连接有拉杆(6)，所述拉杆(6)的一端固定连接有限位板(7)，所述固定盒(5)与限位板(7)之间固定连接有伸缩杆(8)，所述伸缩杆(8)的外表面套接有压缩弹簧(9)，所述压缩弹簧(9)的两端分别与固定盒(5)和限位板(7)固定连接，所述限位板(7)的一侧固定连接有插杆(10)，所述机组本体(1)的顶部固定连接有直板(11)，所述直板(11)的一侧固定连接有套筒(12)，所述插杆(10)与套筒(12)滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲁煜，王祎，刘玉良，姜经理，谭大胜，
申请(专利权)人：浙江中电环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：