一种透射电镜三维驱动原位样品杆制造技术

本实用新型专利技术涉及透射电镜原位样品杆领域，公开了一种透射电镜三维驱动原位样品杆，包括手柄、电动粗调模块、固定杆、杆头和移动杆，所述固定杆为空心杆，其一端和所述手柄固定连接，另一端和所述杆头连接；所述移动杆位于所述固定杆内，其一端和所述电动粗调模块连接，另一端设置有样品接头；所述电动粗调模块设置于所述手柄的内部，用于在所述固定杆内对所述移动杆进行微米级精度的三维移动控制；所述杆头用于承载测试组件。本实用新型专利技术的透射电镜三维力电样品杆能够快速精确地将样品接头承载的样品移动到位，开展样品的原位检测。开展样品的原位检测。开展样品的原位检测。

【技术实现步骤摘要】
一种透射电镜三维驱动原位样品杆


[0001]本技术涉及透射电镜原位样品杆领域，尤其涉及一种透射电镜三维驱动原位样品杆。

技术介绍

[0002]随着电镜原位技术的不断成熟和发展，透射电子显微镜(透射电镜或TEM)不再仅仅表征材料结构，还可以实现高精度的纳米加工、性能测试，将材料的结构演变和材料的各种性能(如力、电、热)变化联系起来。
[0003]完成上述功能必须借助于一系列的原位物性测试样品杆，但由于透射电子显微镜样品腔室尺寸(毫米量级)限制，透射电子显微镜中的原位技术难度在于不但要将各种物理场准确的加载在样品上，同时还要保证一系列苛刻的条件，例如保持样品极高的机械稳定度，保持电镜系统超高的真空度，不能对成像电子产生太大影响，结构必须紧凑以便适应狭小的电镜样品室的尺寸等等。因此，实现在透射电子显微镜下的多场调控研究仍然是极具挑战性的课题。
[0004]在市面上这类样品杆功能单一，实验操作繁琐，结构复杂，价格昂贵。例如安徽泽攸科技有限公司的PicoFemto透射电镜原位STM
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TEM力电一体测量系统，实验操作繁琐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种透射电镜三维驱动原位样品杆，包括手柄、电动粗调模块、固定杆、杆头和移动杆，其特征在于：所述固定杆为空心杆，其一端和所述手柄固定连接，另一端和所述杆头连接；所述移动杆位于所述固定杆内，其一端和所述电动粗调模块连接，另一端设置有样品接头；所述电动粗调模块设置于所述手柄的内部，用于在所述固定杆内对所述移动杆进行微米级精度的三维移动控制；所述杆头用于承载测试组件。2.如权利要求1所述的透射电镜三维驱动原位样品杆，其特征在于：所述移动杆部分包括依次连接的中心杆连接件座、XY两轴压电陶瓷、移动杆芯连接件、Z轴压电陶瓷、移动杆芯、样品接头连接座和所述样品接头；所述XY两轴压电陶瓷、Z轴压电陶瓷用于对所述样品接头进行纳米级精度的三维移动控制。3.如权利要求1所述的透射电镜三维驱动原位样品杆，其特征在于：所述电动粗调模块包括三个电机模组，三个电机模组用于分别控制所述移动杆在XYZ三轴上的移动。4.如权利要求3所述的透射电镜三维驱动原位样品杆，其特征在于：所述电机模组包括步进电机、限位开关、精密丝杆和滑轨，用于提供微米级的移动控制，所述限位开关用于精密丝杆的行...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖洪钢，兰李根，
申请(专利权)人：厦门超新芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：