【技术实现步骤摘要】
一种内置加热装置的真空油扩散泵
[0001]本技术涉及油扩散泵
，具体为一种内置加热装置的真空油扩散泵。
技术介绍
[0002]油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵，这种泵的极限真空为10
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4～10
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5帕，工作压力范围为10
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1～10
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4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒(1升＝10
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3米3)，油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
[0003]油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成，当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时，油锅可开始加热，沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞，气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动，到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的，但是油扩散泵在关机阶段...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种内置加热装置的真空油扩散泵，包括泵体(1)，其特征在于：所述泵体(1)的内部设置有冷凝帽(7)，所述冷凝帽(7)的两侧均安装有冷凝管，所述冷凝帽(7)与冷凝管固定连接，所述冷凝管与泵体(1)固定连接，所述冷凝帽(7)与泵体(1)通过冷凝管固定连接，所述冷凝帽(7)的上方安装有外保护罩(8)，所述外保护罩(8)与冷凝帽(7)通过紧固螺丝固定连接，所述外保护罩(8)的内部安装有电机(9)，所述电机(9)与外保护罩(8)通过紧固螺丝固定连接，所述泵体(1)的内部设置有吸风扇(10)，所述吸风扇(10)与电机(9)通过连轴固定连接。2.根据权利要求1所述的一种内置加热装置的真空油扩散泵，其特征在于：所述泵体(1)的下方安装有保温罩(2)，所述保温罩(2)与泵体(1)通过紧固螺丝固定连接，所述泵体(1)的内部安装有油锅(5)，所述油锅(5)与泵体(1)通过紧固螺丝固定连接。3.根据权利要求2所述的一种内置加热装置的真空油扩散泵，其特征在于：所述油锅(5)的上方安装有蒸汽导管(6)，所述蒸汽导管(6)与油锅(5)通过紧固螺丝固定连接，所述蒸汽导管(6)的外侧安装有第二扩散喷嘴(12)，所述第二扩散喷嘴(12)与蒸汽导管(6)通过紧固螺丝固定连接。4.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王伟平，王金泉，王菊姿，
申请(专利权)人：莱糸真空科技常州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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