一种立式数控真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式数控真空镀膜机，涉及真空镀膜机结构技术领域，为解决现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候，需要对物体进行翻转，从而对物体表面进行镀膜，这样使镀膜的效率不高的问题。所述镀膜机上端安装有冷却装置，所述冷却装置的下端安装有电加热装置，所述电加热装置的下方安装有靶材，所述镀膜机的一端设置有连接座，所述连接座的一侧安装有抽真空管，所述抽真空管的一端安装有真空泵，所述镀膜机内壁的两侧均安装有直线电机，所述直线电机的一端安装有移动座，所述移动座的一侧安装有电机，所述电机的一侧安装有安装箱，所述安装箱的内部安装有电动气缸，所述电动气缸的一侧安装有夹持板。所述电动气缸的一侧安装有夹持板。所述电动气缸的一侧安装有夹持板。

【技术实现步骤摘要】
一种立式数控真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机结构
，具体为一种立式数控真空镀膜机。

技术介绍

[0002]立式真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，一般是加热靶材使靶材表面组分以原子或离子的形式被蒸发出现，并沉降在需要镀膜的物体的表面，从而形成薄膜，这样能够很好对物体的表面进行防护。
[0003]中国专利授权公告号CN208917295U，授权公告日2019年05月31日，一种立式数控真空镀膜机，属于真空镀膜机领域，一种立式数控真空镀膜机包括立式镀膜室和工件架，工件架位于立式镀膜室的内部，工件架包括转盘、至少一个的螺纹轴、以及若干可调工件放置件，螺纹轴的一端插在转盘上，且螺纹轴与转盘可转动连接，螺纹轴上具有多段外螺纹，每段外螺纹均螺接有一个可调工件放置件。立式数控真空镀膜机的工件架能根据放置的不同规格工件进行调整。
[0004]但是现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候，需要对物体进行翻转，从而对物体表面进行镀膜，这样使镀膜的效率不高，因此市场上急需一种立式数控真空镀膜机来解决这些问题。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式数控真空镀膜机，包括镀膜台(1)，其特征在于：所述镀膜台(1)的上方安装有镀膜机(4)，所述镀膜机(4)的一端安装有密封箱门(5)，所述镀膜机(4)上端安装有冷却装置(6)，所述冷却装置(6)的下端安装有电加热装置(8)，所述电加热装置(8)的下方安装有靶材(9)，所述冷却装置(6)的一端设置有进水座(602)，所述进水座(602)的下端设置有出水座(603)，所述镀膜机(4)的一端设置有连接座(17)，所述连接座(17)的一侧安装有抽真空管(16)，所述抽真空管(16)的一端安装有真空泵(15)，所述镀膜机(4)内壁的两侧均安装有直线电机(18)，所述直线电机(18)的一端安装有移动座(19)，所述移动座(19)的一侧安装有电机(20)，所述电机(20)的一侧安装有安装箱(23)，所述安装箱(23)的内部安装有电动气缸(24)，所述电动气缸(24)的一侧安装有夹持板(26)，所述夹持板(26)的一端安装有防护垫(28)，所述镀膜机(4)的内部安装有放置座(29)。2.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜台(1)的一侧设置有控制装置(2)，所述镀膜台(1)的下方安装有支撑脚(3)，所述支撑脚(3)设置有四个，四个所述支撑脚(3)关于镀膜台(1)的垂直中心线相对称。3.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机，其特征在于：所述冷却装置(6)的上端设置有固定脚(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟平，王金泉，王菊姿，
申请(专利权)人：莱糸真空科技常州有限公司，
类型：新型
国别省市：