一种抽真空系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种抽真空系统，包括：多台低真空泵(P1)，为机械真空泵，具有三台，其中一台机械真空泵用于抽低真空，另外两台机械真空泵与超高压真空扩散泵(P2)直连，用于作为超高压真空扩散泵的前级使用；多台超高真空扩散泵(P2)，与低真空泵(P1)部分通过洁净管路连通；以及阀门系统，分别与低真空泵(P1)以及超高真空扩散泵(P2)通过真空密封焊进行焊接连接；阀门系统包括：多个电磁阀，设置在低真空泵的连接主管路上，并设置连接有小通径旁路；多个电磁高真空挡板阀(V1,V2,V4,V6,V10)；多个电磁高真空自动充放气阀(V8,V10)，设置在系统的洁净管道中，工艺结束对加热炉腔体放气；以及电动插板阀门(V3)，安装在每个超高真空扩散泵的进气口。泵的进气口。泵的进气口。

【技术实现步骤摘要】
一种抽真空系统


[0001]本技术涉及抽真空系统
，特别是一种对真空玻璃的抽真空系统。

技术介绍

[0002]随着技术不断革新，生产真空玻璃企业也不断创新，目前市场应用中，采用仅有主路抽真空，没有辅助管道，而玻璃所需真空环境日益加大，这样导致，设备在抽真空时，需要时间变长，真空度技术指标达不到玻璃生产要求，玻璃满足不了现代工艺要求和客户需求，同时，若满足要求情况下，生产厂家的投入成本加大，导致生产厂商成本递增。总之目前用于抽真空系统设备已不能满足市场行情，就需要可实现对玻璃真空环境的有效抽气，功能、性能和安全方面实现兼顾的新的抽真空系统。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术存在的上述问题，本技术提供一种抽真空系统，抽真空时能够更好解决生产实际问题，产品满足客户需求，技术创新更进一步的同时响应国家2025计划。当主管路关闭低真空阀时，开启高真空阀，此时辅助真空管路仍继续抽低真空，解决了系统真空度不足问题，使厂家生产玻璃时，能够达到更高的标准，满足客户使用需求。
[0004]为了实现上述目的，本技术通过如下的技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抽真空系统，其特征在于包括：多台低真空泵(P1)，所述低真空泵(P1)为机械真空泵，具有三台，其中一台所述机械真空泵用于抽低真空，另外两台所述机械真空泵与超高真空扩散泵(P2)直连，用于作为所述超高真空扩散泵的前级使用；多台超高真空扩散泵(P2)，通过洁净管路与低真空泵(P1)连通；以及阀门系统，分别与所述低真空泵(P1)以及所述超高真空扩散泵(P2)通过真空密封焊进行焊接连接。2.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述阀门系统包括：多个电磁阀，设置在所述低真空泵(P1)的连接主管路上，并设置连接有小通径旁路；多个电磁高真空挡板阀(V1,V2,V4,V6,V10)，其中部分电磁高真空挡板阀(V6)为多个并联的电磁高真空挡板阀；多个电磁高真空自动充放气阀(V8)，设置在所述系统的洁净管道中，用于工艺结束对加热炉腔体的放气；以及电动插板阀门(V3)，安装在每个所述超高真空扩散泵的进气口。3.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述洁净管路为不锈钢真空管路，所述不锈钢真空管路的内壁抛光。4.根据权利要求1所述的一种抽真空系统，其特征在于所述超高...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲜伟，
申请(专利权)人：川北真空科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：