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本实用新型提供一种抽真空系统，包括：多台低真空泵(P1)，为机械真空泵，具有三台，其中一台机械真空泵用于抽低真空，另外两台机械真空泵与超高压真空扩散泵(P2)直连，用于作为超高压真空扩散泵的前级使用；多台超高真空扩散泵(P2)，与低真空泵(...
该专利属于川北真空科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过川北真空科技（北京）有限公司授权不得商用。

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