电光装置用基板及其检查方法和有源矩阵基板制造方法及图纸

在第１栅线断线检查过程中，对第１左侧晶体管列的各栅，供给使各薄膜晶体管成为导通状态的信号，测定流过由各薄膜晶体管导通的２条栅线的电流值。在第２栅线断线检查过程中，对第２左侧晶体管列的各栅，供给使各薄膜晶体管成为导通状态的信号，测定流过由各薄膜晶体管导通的２条栅线的电流值。其次，根据第１栅线断线检查过程和第２栅线断线检查过程的检查结果，判定是否在某一条栅线中存在缺陷。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
迄今为止，已知有在一对基板的间隙中夹持液晶而构成的液晶显示装置。作为这样的液晶显示装置，使用有源矩阵基板作为一对基板中的一方的液晶显示装置已实现了实用化。在该有源矩阵基板中，在玻璃基板等的上表面上形成了多条数据线和与各数据线正交的多条栅线。而且，与各数据线和栅线的交叉点对应地形成了像素电极。各像素电极通过薄膜晶体管与各数据线和栅线连接。在此，数据线和栅线分别以与显示像素数对应的条数被形成。例如，在能进行彩色显示的液晶显示装置中，已知有具备480条栅线和640×3条(对应于RGB各色)数据线的装置及具备1024条栅线和1280×3条数据线的装置。这样，在有源矩阵基板中，必须形成庞大的数目的布线，但在各数据线和栅线中不能有断线或布线狭窄部(与其它部分相比，布线变窄的部分)等的缺陷。但是，因为有源矩阵基板的各种制造工序中的种种原因之故，目前的情况是不能避免以某种比例发生布线的缺陷。因此，存在下述的要求能可靠地发现具有栅线或数据线的缺陷的有源矩阵基板，此外，打算准确地掌握断线部位，以便防止基于相同的原因的断线等的缺陷的再次发生。在实开昭63-70596号公报中公开了用于响应这样的要求的断线检查方法。在该断线检查方法中，首先，对于在基板上以条状被形成的多条栅线，连接邻接的栅线(或数据线)的端部相互间，如第1条栅线与第2条栅线的左端部相互间、第2条栅线与第3条栅线的右端部相互间、第3条栅线与第4条栅线的左端部相互间、第4条栅线与第5条栅线而的右端部相互间、…等等。通过这样做，形成串联地连接各栅线构成的1条布线。然后，例如通过研究预定的电流是否流过该布线，来判定在某一条栅线中是否存在缺陷。但是，在该断线检查方法中，虽然能够检查栅线的某一条是否断线，但不能具体地查明哪条栅线中存在缺陷。因而，在使用该检查方法的情况下，不能判定栅线的断线部位的位置，追踪使缺陷产生的原因，或进行类推。因此，存在不能采取防止断线的再次发生的有效对策的问题。此外，在上述断线检查方法中，还可以考虑通过使恒定的电流i流过串联地连接的布线、并测定在其两端部的电位差来判断缺陷的有无。具体地说，首先，预先测定在哪一条布线中也不存在缺陷的情况的电压。如果将每一条布线(例如栅线)的电阻值设为RL，将布线的总条数(例如栅线的总条数)设为N，则用iNRL来表示该电压。其次，测定作为检查对象的布线的两端部的电位差。在此，在某一条布线中存在缺陷的情况下，用i(RB+NRL)来表示该被测定的电压。RB是布线狭窄部等的缺陷部位的电阻值。然后，求出这些电压的差，即，iNRL-i(RB+NRL)。然后，在该结果被检测出的电压值比预定值小的情况下，判定为在某一条布线中存在断线。但是，在采用该方法的情况下，在NRL＞＞RB时，由于从上述的式求出的电压≈0，故不能进行缺陷的检测。即，在上述的方法中，存在下述问题在布线数多的情况(即，电阻NRL大的情况)或布线只是变细而没有完全断线的情况(即，s在布线的一部分中存在狭窄部的状态下，电阻RB较小的情况)下，缺陷的检测变得困难。因此，为了解决上述的问题，提出了用以下示出的方法来检测断线或布线狭窄部的方法。关于该方法，参照图6进行说明。在图6中示出的有源矩阵基板S2中，例如在栅线(G1～G6)的左端一侧，设置了作为栅电极驱动电路的Y移位寄存器31和缓冲级33，在右端一侧，设置了Y移位寄存器32和缓冲级34。在该检查方法中，首先，在使Y移位寄存器32一侧的缓冲级34的最终级的输出电平全部为低电平之后，对Y移位寄存器31输入选择脉冲。具体地说，将Y移位寄存器31一侧的缓冲级33的最终级的倒相器的输出信号依次排他地从低电平切换为高电平。其结果，在栅线G1、G2、…、G6中依次流过电流i1、i2、…、i6。通过在缓冲级34的附近测定这些电流值，对于栅线逐条地检查断线的有无。在此，如果电流i1、i2、…、i6的电流值为预定值以上，则可判断为在该栅线中没有断线。与此不同，在被测定的电流值比预定值低的情况下，可判断为在该栅线中存在某种缺陷。但是，在使用由最高工艺温度约为400～600℃的低温工艺制成的多晶硅来形成Y移位寄存器31和32的情况下，可知该Y移位寄存器31和32被静电破坏而成为功能不全的危险性高。再者，也有由于粒子等的影响而产生图形不良、由此在Y移位寄存器31和32中产生功能不全的情况。因而，例如在Y移位寄存器31和32的至少一方中产生不良情况、缓冲级33和34的全部被固定于高电平的情况下，在上述的断线检查方法中不能依次选择栅线(G1～G6)而流过电流。因而，在上述的断线检查方法中，存在不能始终稳定地进行断线检查操作的担心。再者，在上述的断线检查方法中，必须依次选择庞大的条数的布线的每一条来检测出断线的有无。因而，也存在在检查中所需要的时间变长的问题。专利技术的公开本专利技术是鉴于上述的情况而进行的，其目的在于提供这样一种，其中，能迅速且可靠地确定缺陷部位，而且，能始终稳定地进行缺陷检查。为了达到上述目的，本专利技术提供一种以具备多条布线、多个开关元件和通电装置为特征的电光装置用基板。在此，多个开关元件的每一个被插到邻接的上述各布线之间。此外，多个开关元件的每一个属于第1组或第2组的某一组，相邻的开关元件属于不同的组，能以上述各组为单位来切换属于该组的开关元件的通断。此外，上述通电装置使电流流过由通过多个开关元件串联连接的2条布线构成的多个布线对，或对该多个布线对施加电压。此外，本专利技术提供一种上述的电光装置用基板的检查方法。该检查方法是电光装置用基板的检查方法，该电光装置用基板具有多条布线和分别插在邻接的上述各布线间的多个开关元件，其特征在于将上述多个开关元件分成第1组和第2组，以使邻接的开关元件属于不同的组，该电光装置用基板的检查方法具有第1布线检查过程，在使属于上述第1组的开关元件导通的同时，使电流流过由通过该开关元件串联连接的2条布线构成的多个布线对，或对该多个布线对施加电压，由此，判定该布线对中的缺陷的有无；第2布线检查过程，在使属于上述第2组的开关元件导通的同时，使电流流过由通过该开关元件串联连接的2条布线构成的多个布线对，或对该多个布线对施加电压，由此，判定该布线对中的缺陷的有无；以及缺陷判定过程，根据上述第1布线检查过程的判定结果和上述第2布线检查过程的判定结果判定具有缺陷的布线。按照这样的电光装置用基板的检查方法，因为能判定由邻接的2条布线构成的布线对中的缺陷的有无，故可高速地检测出各布线的缺陷的有无。此外，由于能判定由利用属于第1组的开关元件串联连接的2条布线构成的布线对中的缺陷的有无和由利用属于第2组的开关元件串联连接的2条布线构成的布线对中的缺陷的有无，故可根据各判定结果比较详细地确定具有缺陷的布线。此外，本专利技术提供一种电光装置用基板，其特征在于，具备分别具有第1端部和第2端部的多条布线；多个第1开关元件，该多个第1开关元件是分别插在邻接的上述各布线间的上述第1端部附近的多个第1开关元件，分别属于第1组或第2组的某一组，相邻的开关元件属于不同的组，能以上述各组为单位进行属于该组的开关元件的通断切换；多个第2开关元件，该多个第2开关元件是分别插在邻接的上述各布线间的上述第2端部附近的多个第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光装置用基板，其特征在于，具备： 多条布线； 多个开关元件，该多个开关元件是分别插在邻接的上述各布线间的多个开关元件，分别属于第１组或第２组的某一组，相邻的开关元件属于不同的组，能以上述各组为单位进行属于该组的开关元件的通断切换；以及 通电装置，使电流流过由通过上述多个开关元件串联连接的２条布线构成的多个布线对，或对该多个布线对施加电压。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小泽德郎，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]