基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法。在利用基板载体保持并输送基板并且进行成膜的成膜装置中，能够提高使基板载体循环时的效率。基板载体具有：板状部件，所述板状部件保持基板；一对第一部件，所述一对第一部件分别固定于板状部件的沿着第一方向的第一边和第二边，且分别沿第一方向延伸设置；以及一对第二部件，所述一对第二部件分别固定于板状部件的沿着与第一方向交叉的第二方向的第三边和第四边，且分别沿第二方向延伸设置。向延伸设置。向延伸设置。

【技术实现步骤摘要】
基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法


[0001]本专利技术涉及基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法。

技术介绍

[0002]作为制造有机EL显示器的方法，已知有通过经由以规定的图案形成有开口的掩模在基板上进行成膜，从而形成规定的图案的膜的掩模成膜法。在掩模成膜法中，在使掩模与基板对位之后，使掩模与基板紧贴而进行成膜。
[0003]在专利文献1中记载有如下内容：使基板保持于装夹板(也称为“基板载体”)，并连同装夹板一起输送基板。由此，即便是挠曲大的大面积基板，也能够进行输送。而且，在专利文献1中记载有在使基板保持于基板载体的状态下将基板与掩模粘合而进行成膜。在专利文献1中，在向基板的一系列成膜完成后，将基板和基板载体分离，使分离后的基板载体通过返回线返回到装夹室，在返回的基板载体上在装夹室保持其他基板而进行成膜。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：韩国公开专利第10
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2018
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0067031号公报
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板载体，其特征在于，所述基板载体具有：板状部件，所述板状部件保持基板；一对第一部件，所述一对第一部件分别固定于所述板状部件的沿着第一方向的第一边和第二边，且分别沿所述第一方向延伸设置；以及一对第二部件，所述一对第二部件分别固定于所述板状部件的沿着与所述第一方向交叉的第二方向的第三边和第四边，且分别沿所述第二方向延伸设置。2.如权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述第一部件的杨氏模量和所述第二部件的杨氏模量比所述板状部件的杨氏模量高。3.如权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述板状部件由铝或铝合金构成，所述第一部件和所述第二部件由不锈钢构成。4.如权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述第二部件的与所述第二方向正交的截面中的截面惯性矩比所述第一部件的与所述第一方向正交的截面中的截面惯性矩小。5.如权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述第一部件和所述第二部件分别由相同的材料构成，所述第二部件的与所述第二方向正交的截面的面积比所述第一部件的与所述第一方向正交的截面的面积小。6.如权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述第一部件和所述第二部件的表面被DLC涂层覆膜，或者表面被淬火处理。7.如权利要求1所述的基板载体，其特征在于，在对所述基板进行成膜的成膜装置中，基板载体一边保持所述基板一边沿所述第一方向及所述第二方向被输送，所述成膜装置具备：沿所述第一方向排列的多个第一输送旋转体；以及沿所述第二方向排列的多个第二输送旋转体，所述一对第一部件由所述第一输送旋转体支承，所述一对第二部件由所述第二输送旋转体支承。8.如权利要求7所述的基板载体，其特征在于，所述基板载体从所述一对第一部件被支承且所述一对第二部件未被支承的状态载置于掩模上，在将所述基板的被成膜面朝向下方地载置于掩模上的状态下进行成膜。9.如权利要求8所述的基板载体，其特征在于，所述第二部件的与所述第二方向正交的截面中的截面惯性矩比所述第一部件的与所述第一方向正交的截面中的截面惯性矩小。10.如权利要求8所述的基板载体，其特征在于，所述第二部件的与所述第二方向正交的截面的面积比所述第一部件的与所述第一方向正交的截面的面积小。11.如权利要求8所述的基板载体，其特征在于，
所述第二部件的与所述第二方向正交的截面中的截面惯性矩的大小被设定为，在载置于所述掩模上时，相对于所述掩模，从所述基板载体中的最向下方突出的挠曲最大的部分开始接触。12.如权利要求8所述的基板载体，其特征在于，在与所述第一方向垂直的截面观察时的、所述一对第一部件被支承且所述一对第二部件未被支承的状态下的所述基板载体的挠曲量(dc)，比在与所述第一方向垂直的截面观察时的、所述掩模的挠曲量(dm)大。13.如权利要求7所述的基板载体，其特征在于，在将所述基板的被成膜面朝向上方地将掩模载置于上方的状态下进行成膜。14.一种成膜装置，具备：基板载体，所述基板载体保持基板；成膜构件，所述成膜构件用于经由掩模对保持于所述基板载体的所述基板的成膜面进行成膜；多个第一输送旋转体，所述多个第一输送旋转体沿第一方向排列；以及多个第二输送旋转体，所述多个第二输送旋转体沿与所述第一方向交叉的第二方向排列，所述成膜装置的特征在于，所述基板载体具有：板状部件，所述板状部件保持基板；一对第一部件，所述一对第一部件分别固定于所述板状部件的沿着所述第一方向的第一边和第二边，且分别沿所述第一方向延伸设置；以及一对第二部件，所述一对第二部件分别固定于所述板状部件的沿着所述第二方向的第三边和第四边，且分别沿所述第二方向延伸设置，所述多个第一输送旋转体支承所述一对第一部件，在所述第一方向上输送所述基板载体，所述多个第二输送旋转体支承所述一对第二部件，在所述第二方向上输送所述基板载体。15.如权利要求14所述的成膜装置，其特征在于，所述多个第一输送旋转体和所述多个第二输送旋转体分别输送未保持所述基板的状...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木健太郎，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：