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本发明提供基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法。在利用基板载体保持并输送基板并且进行成膜的成膜装置中，能够提高使基板载体循环时的效率。基板载体具有：板状部件，所述板状部件保持基板；一对第一部件，所述一对第一部件分别固定于板状部...
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