【技术实现步骤摘要】
一种石英音叉的加工方法
[0001]本专利技术涉及音叉加工
，尤其是涉及一种石英音叉的加工方法。
技术介绍
[0002]石英音叉具有体积小、成本低、功耗小、可靠性高、抗过载能力强及可批量生产等优点，使其适用于战术武器指导、微小卫星姿态控制、微小飞行器导航、作战平台稳定控制及微小型机器人等军事领域，又可广泛应用于汽车稳定控制系统、相机防抖系统、医疗仪器、运动机械及玩具等民用领域。Cr/Au掩模工序是制作石英音叉的中药工序，影响石英音叉元件Cr/Au掩模的因素很多，主要有石英音叉元件的表面质量即清洁处理、制备薄膜的加工工艺及参数，制作出优良的Cr/Au掩模是石英音叉整个工艺的基础，现有Cr/Au掩模应力较大、附着力差、耐腐蚀性差。
技术实现思路
[0003]本专利技术为了克服现有技术的不足，提供一种石英音叉的加工方法，Cr/Au掩模的应力小、附着力强、耐腐蚀性好，最终制备出来的石英音叉质量好。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种石英音叉的加工方法，包括以下步骤：
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英音叉的加工方法，其特征在于：包括以下步骤：a：对石英音叉元件清洁，将配制后的处理液倒入烧杯内，同时将石英音叉元件均匀的布置在烧杯内，将烧杯放入超声波槽内进行超声，超声后排出烧杯内处理液，将烧杯内的石英音叉元件用冷热交替纯水流水冲洗，再用去离子水流水冲洗，将冲洗后的石英音叉元件和C2H5OH倒入烧杯内二次超声，二次超声后排出C2H5OH并对石英音叉元件烘干；b：镀制Cr/Au掩模，将清洁完成后的石英音叉元件固定在掩模夹具上，采用真空溅射和真空热蒸发对基本元件进行镀膜，对基本元件镀制两层金属膜，第一层为Cr膜，第二层为Au膜；c：光刻音叉第一面，采用光刻机将石英音叉元件第一面进行光刻；d：音叉第一面掩模刻蚀，将第一面光刻后的石英音叉元件放入腐蚀液中；e：套刻音叉第二面，采用光刻机套刻第二面音叉图形，采用黑白十字标记套准；f：音叉第二面掩模刻蚀，将第二面光刻后的基本元件放入腐蚀液中，剥离除光刻胶；g：石英化学腐蚀，采用氢氟酸和氟化铵溶液对基本元件进行化学腐蚀。2.根据权利要求1所述的一种石英音叉的加工方法，其特征在于：所述步骤a中的处理液为500mlH
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和500ml纯水及250mlHCL，超声波槽内水平面与...
【专利技术属性】
技术研发人员：林家海，
申请(专利权)人：浙江一晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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