一种深度等离子刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术涉及等离子刻蚀机技术领域，具体为一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座与驱动机构，所述的安装基座的两侧安装有连接脚件；所述的所述的安装基座上安装有放置箱体，所述的放置箱体的两侧设置有滑槽，所述的驱动机构通过连接脚件转动连接在安装基座的两侧，通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆能够在连接脚件上固定方向上转动，避免螺纹杆在转动时发生偏移，同时通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆在转动过程中更加流畅，避免卡顿，有效避免压板与放置箱体发生碰撞，保证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。

【技术实现步骤摘要】
一种深度等离子刻蚀机


[0001]本技术涉及等离子刻蚀机
，具体为一种深度等离子刻蚀机。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀机是运用于等离子刻蚀工艺中，等离子刻蚀机装片用的夹具需要将刻蚀的硅片的叠放在一起并压紧，用以确保等离子刻蚀机的辉光刻蚀能够有效去除硅片边缘的PN结，然而现有的等离子刻蚀机在前期准备装置使用时依然存在一定的问题；
[0003]现有的等离子刻蚀机通过夹具基座对硅片进行整齐夹紧，通过两个螺栓杆带动压板下移对硅片进行压紧固定，然而在使用过程中，由于基座的存在，在压板下移过程中容易导致压板与基座之间发生碰撞，碰撞过程中容易与放置的硅片发生碰撞，导致硅片的损坏，影响等离子刻蚀机的辉光加工。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种深度等离子刻蚀机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座与驱动机构，所述的安装基座的两侧安装有连接脚件；所述的所述的安装基座上安装有放置箱体，所述的放置箱体的两侧设置有滑槽，所述的驱动机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座(10)与驱动机构(20)，所述的安装基座(10)的两侧安装有连接脚件(13)；其特征在于：所述的所述的安装基座(10)上安装有放置箱体(11)，所述的放置箱体(11)的两侧设置有滑槽(111)，所述的驱动机构(20)通过连接脚件(13)转动连接在安装基座(10)的两侧。2.根据权利要求1所述的一种深度等离子刻蚀机，其特征在于：所述的驱动机构(20)包括的螺纹杆(21)与套环(24)，所述的套环(24)套接在螺纹杆(21)的外部，且所述的螺纹杆(21)的外表面设置有螺纹，所述的套环(24)的内壁设置有螺纹，所述的套环(24)通过螺纹配合在螺纹杆(21)的上传动连接。3.根据权利要求2所述的一种深度等离子刻蚀机，其特征在于：所述的连接脚件(13)的上端设置有固定槽(131)，所述的固定槽(131)的内部固定安装有安装轴承(132)，所述的螺纹杆(21)底部与所述的安装轴承(132)的内环固定套接，所述的螺纹杆(21)通过安装轴承(132)的配合与所述的连接脚件(13)转动连接。4.根据权利要求2所述的一种深度等离子刻蚀机，其特征在于：所述的套环(24)的外壁连接有连接杆(241)，所述的连接杆(241)与套环(24)...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖海涛，
申请(专利权)人：江苏邑文微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：