一种深度等离子刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术涉及等离子刻蚀机技术领域，具体为一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座与驱动机构，所述的安装基座的两侧安装有连接脚件；所述的所述的安装基座上安装有放置箱体，所述的放置箱体的两侧设置有滑槽，所述的驱动机构通过连接脚件转动连接在安装基座的两侧，通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆能够在连接脚件上固定方向上转动，避免螺纹杆在转动时发生偏移，同时通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆在转动过程中更加流畅，避免卡顿，有效避免压板与放置箱体发生碰撞，保证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。

【技术实现步骤摘要】
一种深度等离子刻蚀机


[0001]本技术涉及等离子刻蚀机
，具体为一种深度等离子刻蚀机。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀机是运用于等离子刻蚀工艺中，等离子刻蚀机装片用的夹具需要将刻蚀的硅片的叠放在一起并压紧，用以确保等离子刻蚀机的辉光刻蚀能够有效去除硅片边缘的PN结，然而现有的等离子刻蚀机在前期准备装置使用时依然存在一定的问题；
[0003]现有的等离子刻蚀机通过夹具基座对硅片进行整齐夹紧，通过两个螺栓杆带动压板下移对硅片进行压紧固定，然而在使用过程中，由于基座的存在，在压板下移过程中容易导致压板与基座之间发生碰撞，碰撞过程中容易与放置的硅片发生碰撞，导致硅片的损坏，影响等离子刻蚀机的辉光加工。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种深度等离子刻蚀机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座与驱动机构，所述的安装基座的两侧安装有连接脚件；所述的所述的安装基座上安装有放置箱体，所述的放置箱体的两侧设置有滑槽，所述的驱动机构通过连接脚件转动连接在安装基座的两侧。
[0006]优选的，所述的驱动机构包括的螺纹杆与套环，所述的套环套接在螺纹杆的外部，且所述的螺纹杆的外表面设置有螺纹，所述的套环的内壁设置有螺纹，所述的套环通过螺纹配合在螺纹杆的上传动连接。
[0007]优选的，所述的连接脚件的上端设置有固定槽，所述的固定槽的内部固定安装有安装轴承，所述的螺纹杆底部与所述的安装轴承的内环固定套接，所述的螺纹杆通过安装轴承的配合与所述的连接脚件转动连接。
[0008]优选的，所述的套环的外壁连接有连接杆，所述的连接杆与套环固定连接，且所述的连接杆的另一端连接有压板，所述的压板的两侧分别与连接在螺纹杆上的套环连接，所述的压板设置在所述放置箱体的内部，所述的连接杆穿过所述的滑槽与压板连接，所述的压板通过连接杆与套环配合水平安装在放置箱体的内部。
[0009]优选的，所述的螺纹杆的上端设置有固定套，所述的固定套安装在套环的上方，所述的固定套与所述的螺纹杆的外部固定套接，所述的固定套上设置有转槽，所述的转槽内套接有皮带，所述的皮带连接在两组螺纹杆上设置固定套内部，一组所述的螺纹杆转动带动另一组螺纹杆转动。
[0010]优选的，一组所述的螺纹杆上端连接有转动把手，所述的转动把手的底部与所述的螺纹杆上端固定连接，所述的转动把手的转动带动螺纹杆转动，所述的螺纹杆转动通过皮带带动另一组的螺纹杆转动。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆能够在连接脚件上固定方向上转动，避免螺纹杆在转动时发生偏移，同时通过螺纹杆底部安装轴承的设置，使得螺纹杆在转动过程中更加流畅，避免卡顿，有效避免压板与放置箱体发生碰撞，保证刻蚀机硅片能够在放置箱体内部整体压紧。
[0013]2、通过固定套的设置，使得固定套与皮带连接能够平滑带动螺纹杆转动，保证两组螺纹杆能够稳定转动，同时带动压板能够稳定上下移动，避免与放置箱体内部发生碰撞，有效保证刻蚀机硅片的正常压紧。
附图说明
[0014]图1为本技术等离子刻蚀机安装基座的整体连接结构示意图；
[0015]图2为本技术安装基座与各部件之间的连接结构示意图；
[0016]图3为本技术图2中A处放大连接结构示意图；
[0017]图4为本技术图2中B处放大连接结构示意图；
[0018]图5为本技术图2中C处放大连接结构示意图。
[0019]图中：100、刻蚀机硅片；
[0020]10、安装基座；11、放置箱体；111、滑槽；12、压板；13、连接脚件；131、固定槽；132、安装轴承；
[0021]20、驱动机构；21、螺纹杆；211、固定套；22、转动把手；23、皮带；24、套环；241、连接杆。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]实施例
[0024]请参阅图1
‑
5，图示中的：本实施例为本技术方案中一种优选实施方式，一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座10与驱动机构20，所述的安装基座10的两侧安装有连接脚件13，所述的所述的安装基座10上安装有放置箱体11，所述的放置箱体11的两侧设置有滑槽111，所述的驱动机构20通过连接脚件13转动连接在安装基座10的两侧；
[0025]所述的驱动机构20包括的螺纹杆21与套环24，所述的套环24套接在螺纹杆21的外部，且所述的螺纹杆21的外表面设置有螺纹，所述的套环24的内壁设置有螺纹，所述的套环24通过螺纹配合在螺纹杆21的上传动连接；
[0026]如图2、3所示，所述的连接脚件13的上端设置有固定槽131，所述的固定槽131的内部固定安装有安装轴承132，所述的螺纹杆21底部与所述的安装轴承132的内环固定套接，所述的螺纹杆21通过安装轴承132的配合与所述的连接脚件13转动连接；
[0027]如图2、4所示，所述的套环24的外壁连接有连接杆241，所述的连接杆241与套环24固定连接，且所述的连接杆241的另一端连接有压板12，所述的压板12的两侧分别与连接在
螺纹杆21上的套环24连接，所述的压板12设置在所述放置箱体11的内部，所述的连接杆241穿过所述的滑槽111与压板12连接，所述的压板12通过连接杆241与套环24配合水平安装在放置箱体11的内部；
[0028]如图2、5所示，所述的螺纹杆21的上端设置有固定套211，所述的固定套211安装在套环24的上方，所述的固定套211与所述的螺纹杆21的外部固定套接，所述的固定套211上设置有转槽，所述的转槽内套接有皮带23，所述的皮带23连接在两组螺纹杆21上设置固定套211内部，一组所述的螺纹杆21转动带动另一组螺纹杆21转动；
[0029]一组所述的螺纹杆21上端连接有转动把手22，所述的转动把手22的底部与所述的螺纹杆21上端固定连接，所述的转动把手22的转动带动螺纹杆21转动，所述的螺纹杆21转动通过皮带23带动另一组的螺纹杆21转动；
[0030]本实施例中：在对刻蚀机硅片100进行固定压紧时，通过转动所述的转动把手22带动安装基座10一侧螺纹杆21转动，螺纹杆21底部通过固定槽131内部设置的安装轴承132在连接脚件13的上端稳定转动，一侧的螺纹杆21转动通过皮带23带动另一侧的螺纹杆21转动，使得两组螺纹杆21之间能够同步转动，在螺纹杆21同步转动过程中，通过螺纹杆21外部螺纹与套环24内壁的螺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种深度等离子刻蚀机，包括安装基座(10)与驱动机构(20)，所述的安装基座(10)的两侧安装有连接脚件(13)；其特征在于：所述的所述的安装基座(10)上安装有放置箱体(11)，所述的放置箱体(11)的两侧设置有滑槽(111)，所述的驱动机构(20)通过连接脚件(13)转动连接在安装基座(10)的两侧。2.根据权利要求1所述的一种深度等离子刻蚀机，其特征在于：所述的驱动机构(20)包括的螺纹杆(21)与套环(24)，所述的套环(24)套接在螺纹杆(21)的外部，且所述的螺纹杆(21)的外表面设置有螺纹，所述的套环(24)的内壁设置有螺纹，所述的套环(24)通过螺纹配合在螺纹杆(21)的上传动连接。3.根据权利要求2所述的一种深度等离子刻蚀机，其特征在于：所述的连接脚件(13)的上端设置有固定槽(131)，所述的固定槽(131)的内部固定安装有安装轴承(132)，所述的螺纹杆(21)底部与所述的安装轴承(132)的内环固定套接，所述的螺纹杆(21)通过安装轴承(132)的配合与所述的连接脚件(13)转动连接。4.根据权利要求2所述的一种深度等离子刻蚀机，其特征在于：所述的套环(24)的外壁连接有连接杆(241)，所述的连接杆(241)与套环(24)...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖海涛，
申请(专利权)人：江苏邑文微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：