大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具技术方案

本实用新型专利技术涉及PIND试验夹具、属于微电子器件试验领域，具体涉及大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具，该夹具包括上固定座、下固定座和内六角螺栓；被测CQFP双面多腔微系统器件固定在所述上固定座和所述下固定座之间的容纳槽上，所述上固定座和所述下固定座通过所述内六角螺栓连接；在分别进行所述CQFP双面多腔微系统器件的上腔或下腔PIND试验时，所述上固定座或所述下固定座分别通过水溶胶与换能器平台黏合连接；避免了在PIND试验过程中引脚和框架出现裂纹、断裂等损伤的现象，提供一种可以对此器件的引脚和框架予以受力支持的PIND试验夹具，同时避免了采用传统独立夹具、需要设置两套夹具的现象。需要设置两套夹具的现象。需要设置两套夹具的现象。

【技术实现步骤摘要】
大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具


[0001]本技术涉及PIND试验夹具、属于微电子器件试验领域，具体涉及大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具。

技术介绍

[0002]粒子碰撞噪声检测(PIND)用于检测器件封装体内存在的自由粒子。其原理是通过驱动装置对被试器件(DUT)提供高加速度的冲击脉冲，以此来激活被试器件封装腔体中的多余粒子，然后再提供基本为正弦的运动，使自由粒子与器件封装腔体发生碰撞，通过传感器将力学信号转换为电信号及声学信号输出，从而判断是否有多余粒子存在。该实验是一种非破坏性试验。
[0003]现有技术通常按GJB548B
‑
2005方法2020进行PIND试验，多数器件由于尺寸结构较小，通过水溶胶直接固定在换能器上。
[0004]在安装方向上，为了获得最大的灵敏度，应使器件的最大扁平表面对着换能器，如果元器件具有一个以上的较大表面，则选取其中最薄或厚度最均匀的一面朝向换能器(如果将元器件的基板朝下安装，信号须通过较厚的底座或基板传到换能器导致信号损失)。
[0005]随着密封空腔体器件的发展，大尺寸大质量的双面多腔微系统器件越来越多，但在对其进行PIND试验的过程中，大尺寸样品的框架超出了换能器平台，如采用常规方法直接通过水溶胶固定在换能器上，悬空的引脚和框架在冲击和振动过程中容易受到较大的外力而出现裂纹、断裂等损伤，出现失效、PIND试验不可有效实施的现象。
[0006]在安装方向上，多腔微系统器件需要分别对上腔和下腔进行PIND 试验，采用传统独立夹具的方式，需要设置两套夹具。

技术实现思路

[0007]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于大尺寸大质量 CQFP微系统器件PIND试验的夹具，避免了在PIND试验过程中引脚和框架出现裂纹、断裂等损伤的现象，提供一种可以对此器件的引脚和框架予以受力支持的PIND试验夹具，同时避免了采用传统独立夹具、需要设置两套夹具的现象。
[0008]本技术通过以下技术方案予以实现：
[0009]一种用于大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具，该夹具包括上固定座、下固定座和内六角螺栓；
[0010]被测CQFP双面多腔微系统器件固定在所述上固定座和所述下固定座之间的容纳槽上，所述上固定座和所述下固定座通过所述内六角螺栓连接；
[0011]在分别进行所述CQFP双面多腔微系统器件的上腔或下腔PIND试验时，所述上固定座或所述下固定座分别通过水溶胶与换能器平台黏合连接。
[0012]优选的，所述上固定座的上表面和所述下固定座的下表面均开设有固定槽，所述固定槽的尺寸与所述换能器平台的尺寸相配合，在分别进行所述CQFP双面多腔微系统器件
的上腔、下腔PIND试验时，所述固定槽通过所述水溶胶与所述换能器平台黏合连接。
[0013]优选的，所述容纳槽包括第一容纳槽、第二容纳槽和第三容纳槽。
[0014]优选的，所述上固定座的下表面分别开设有所述第一容纳槽和所述第二容纳槽，所述第一容纳槽与所述CQFP双面多腔微系统器件的上腔面贴合，所述第二容纳槽与所述CQFP双面多腔微系统器件的引脚上表面贴合。
[0015]优选的，所述下固定座的上表面开设有所述第三容纳槽，所述第三容纳槽与所述CQFP双面多腔微系统器件的下腔面贴合，所述下固定座的上表面与所述CQFP双面多腔微系统器件的框架下表面贴合。
[0016]优选的，所述上固定座上开设有沉头孔，所述下固定座上开设有螺纹孔，所述内六角螺栓通过所述沉头孔、所述螺纹孔将所述上固定座和所述下固定座紧固连接。
[0017]优选的，所述上固定座和所述下固定座均为7075铝合金材质制成。
[0018]本技术的有益效果为：
[0019]本技术在采用上述部件的设计和使用下，避免了在PIND试验过程中引脚和框架出现裂纹、断裂等损伤的现象，提供一种可以对此器件的引脚和框架予以受力支持的PIND试验夹具，同时避免了采用传统独立夹具、需要设置两套夹具的现象；
[0020]而且本技术结构简单、新颖，设计合理，使用方便，具有较强的实用性。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术的夹具应用于CQFP双面多腔微系统器件PIND 试验的结构示意图；
[0023]图2为本技术中图1的分解图；
[0024]图3为本技术中上固定座的结构示意图；
[0025]图4为本技术中下固定座的结构示意图。
[0026]图中：1
‑
上固定座、2
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下固定座、3
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内六角螺栓、4
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CQFP双面多腔微系统器件、5
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换能器平台、6
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固定槽、701
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第一容纳槽、702
‑ꢀ
第二容纳槽、703
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第三容纳槽、8
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沉头孔、9
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螺纹孔。
具体实施方式
[0027]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]实施例一：
[0029]如图1
‑
4所示：本技术具体公开了一种用于大尺寸大质量 CQFP微系统器件
PIND试验的夹具，该夹具包括上固定座1、下固定座2和内六角螺栓3；
[0030]被测CQFP双面多腔微系统器件4固定在上固定座1和下固定座 2之间的容纳槽上，上固定座1和下固定座2通过内六角螺栓3连接；
[0031]在分别进行CQFP双面多腔微系统器件4的上腔或下腔PIND试验时，上固定座1或下固定座2分别通过水溶胶与换能器平台5黏合连接。
[0032]具体的，上固定座1的上表面和下固定座2的下表面均开设有固定槽6，固定槽6的尺寸与换能器平台5的尺寸相配合，在分别进行 CQFP双面多腔微系统器件4的上腔、下腔PIND试验时，固定槽6通过水溶胶与换能器平台5黏合连接。
[0033]具体的，容纳槽包括第一容纳槽701、第二容纳槽702和第三容纳槽703。
[0034]具体的，上固定座1的下表面分别开设有第一容纳槽701和第二容纳槽702，第一容纳槽701与CQFP本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具，其特征在于，该夹具包括上固定座（1）、下固定座（2）和内六角螺栓（3）；被测CQFP双面多腔微系统器件（4）固定在所述上固定座（1）和所述下固定座（2）之间的容纳槽上，所述上固定座（1）和所述下固定座（2）通过所述内六角螺栓（3）连接；在分别进行所述CQFP双面多腔微系统器件（4）的上腔或下腔PIND试验时，所述上固定座（1）或所述下固定座（2）分别通过水溶胶与换能器平台（5）黏合连接。2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具，其特征在于，所述上固定座（1）的上表面和所述下固定座（2）的下表面均开设有固定槽（6），所述固定槽（6）的尺寸与所述换能器平台（5）的尺寸相配合，在分别进行所述CQFP双面多腔微系统器件（4）的上腔、下腔PIND试验时，所述固定槽（6）通过所述水溶胶与所述换能器平台（5）黏合连接。3.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸大质量CQFP微系统器件PIND试验的夹具，其特征在于，所述容纳槽包括第一容纳槽（701）、第二容纳槽（702）和第三容纳槽（703）。4.根据权利要求3所述的一种用于大尺寸大质量CQFP微系...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世楠，马勇，张凯虹，解维坤，吕栋，虞勇坚，朱凯，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十八研究所，
类型：新型
国别省市：