【技术实现步骤摘要】
一种用于平面ITO靶材冷等静压的包装方法
[0001]本专利技术涉及靶材加工
，尤其涉及一种用于平面ITO靶材冷等静压的包装方法。
技术介绍
[0002]ITO靶材属于铟锡复合氧化物陶瓷，是一种重要的光电功能材料，常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜，用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。ITO平面靶材，一次机械成型后，需要放置到150~300兆帕的冷等静压设备液体缸内，进行二次液压成型，让靶材晶粒更加密实。现有的靶材在液压成型时都是使用乳胶包套和PVC板进行包装，靶材容易弯曲变形，并且乳胶包套在使用一定的周期后，容易老化破损，造成靶材污染报废，因此解决这个问题就变得很重要了。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是提供一种用于平面ITO靶材冷等静压的包装方法，通过采用PE袋对平面ITO靶材进行真空包装，并且将真空包装的平面ITO靶材捆绑在表面均匀打孔的铝板上，解决了现有通过乳胶包套和PVC板对靶材进行包装容易使靶材弯曲变形的问题。
[0004]本专利技术提供一种用...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于平面ITO靶材冷等静压的包装方法，其特征在于，首先将平面ITO靶材用两个PE袋依次进行一次抽真空包装和二次抽真空包装，然后对铝板进行打孔加工，将真空包装好的平面ITO靶材和打孔后铝板采用透明胶带进行捆绑，将捆绑后的靶材放入吊篮中，并伸入冷等静压设备液体缸内进行冷等静压作业。2.如权利要求1所述的一种用于平面ITO靶材冷等静压的包装方法，其特征在于，所述铝板厚度为3
‑
5cm，铝板表面的打孔形成圆形通孔，通孔孔径为6
‑...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾探，王志强，盛明亮，石煜，曾墩风，陶成，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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