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本发明一种用于平面ITO靶材冷等静压的包装方法，首先将平面ITO靶材用两个PE袋依次进行一次抽真空包装和二次抽真空包装，然后对铝板进行打孔加工，将真空包装好的平面ITO靶材和打孔后铝板采用透明胶带进行捆绑，将捆绑后的靶材放入吊篮中，并伸入冷...
该专利属于芜湖映日科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖映日科技股份有限公司授权不得商用。

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