超声波清洗用龙门架制造技术

本申请公开了一种超声波清洗用龙门架，包括底座和升降机构，升降机构包括齿轮箱和升降齿条，齿轮箱设置在底座上，升降齿条从上往下依次贯穿齿轮箱和底座，齿轮箱内设有与升降齿条啮合的升降齿轮，升降齿轮通过转轴与齿轮箱转动连接，底座上设有驱动转轴转动的第一减速电机，底座下方设有与升降齿条底端固定连接的升降板，升降板底部设有一排双向气缸，一排双向气缸位于同侧的输出端共同连接有夹板，夹板上固定有若干夹具，齿轮箱两侧的底座上设有一对支撑臂，一对支撑臂的顶端与平移机构连接。该龙门架通过齿轮齿条带动夹具升降，并且在平移机构的配合下实现平移，结构更加稳定，承重性更强，可以同步抓取多个花篮同步进行清洗，提高效率。提高效率。提高效率。

【技术实现步骤摘要】
超声波清洗用龙门架


[0001]本申请涉及硅片清洗领域，特别是一种超声波清洗用龙门架。

技术介绍

[0002]现有技术中，硅片放置在花篮内，在通过龙门架带动夹具夹持花篮后带动花篮进行移动和升降，现有的龙门架通常只能带动单独的花篮进行位移，而随着行业的发展，为了提高清洗效率，需要多个花篮进行同步移动升降清洗，而目前的龙门架无法满足多花篮抓取的要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种超声波清洗用龙门架，以克服现有技术中的不足。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]本申请实施例公开了一种超声波清洗用龙门架，其特征在于：包括底座和升降机构，所述升降机构包括齿轮箱和升降齿条，所述齿轮箱设置在底座上，所述升降齿条从上往下依次贯穿齿轮箱和底座，所述齿轮箱内设有与升降齿条啮合的升降齿轮，所述升降齿轮通过转轴与齿轮箱转动连接，所述底座上设有驱动转轴转动的第一减速电机，所述底座下方设有与升降齿条底端固定连接的升降板，所述升降板底部设有一排双向气缸，一排所述双向气缸位于同侧的输出端共同连接有夹板，所述夹板上固定有若干夹具，所述齿轮箱两侧的底座上设有一对支撑臂，一对所述支撑臂的顶端与平移机构连接。
[0006]优选的，在上述的一种超声波清洗用龙门架中，所述升降机构有两个，两个所述升降机构对称设置在底座上，两个所述升降机构的转轴通过联轴器连接。
[0007]优选的，在上述的一种超声波清洗用龙门架中，所述支撑臂与底座一体成型。
[0008]优选的，在上述的一种超声波清洗用龙门架中，所述平移机构包括一对平移齿条和连接轴，所述连接轴的两端固定有平移齿轮，一对平移齿条分别设置在两个平移齿轮的上方且与平移齿轮啮合连接，所述连接轴通过轴承座与一对支撑臂的顶端转动连接，一对支撑臂相背的端面上凸设有滚轮，所述滚轮矮于所述平移齿轮，所述支撑臂上设有驱动连接轴转动的平移减速电机。
[0009]优选的，在上述的一种超声波清洗用龙门架中，每个所述夹板上设有五个夹具。
[0010]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0011]该龙门架通过齿轮齿条带动夹具升降，并且在平移机构的配合下实现平移，结构更加稳定，承重性更强，可以同步抓取多个花篮同步进行清洗，提高效率。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1所示为本技术具体实施例中超声波清洗用龙门架的结构示意图。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]参图1所示，本实施例中的超声波清洗用龙门架，包括底座1和升降机构，升降机构2包括齿轮箱3和升降齿条4，齿轮箱3设置在底座1上，升降齿条4从上往下依次贯穿齿轮箱3和底座1，齿轮箱3内设有与升降齿条4啮合的升降齿轮5，升降齿轮5通过转轴6与齿轮箱3转动连接，底座1上设有驱动转轴6转动的第一减速电机7，底座1下方设有与升降齿条4底端固定连接的升降板8，升降板8底部设有一排双向气缸9，一排双向气缸9位于同侧的输出端共同连接有夹板10，夹板10上固定有若干夹具11，齿轮箱3两侧的底座1上设有一对支撑臂12，一对支撑臂12的顶端与平移机构13连接。
[0016]进一步的，升降机构2有两个，两个升降机构2对称设置在底座1上，两个升降机构2通过联轴器14连接。
[0017]进一步的，支撑臂12与底座1一体成型。
[0018]进一步的，平移机构13包括一对平移齿条1301和连接轴1302，连接轴1302的两端固定有平移齿轮1303，一对平移齿条1301分别设置在两个平移齿轮1303的上方且与平移齿轮1303啮合连接，连接轴1302通过轴承座与一对支撑臂12的顶端转动连接，一对支撑臂12相背的端面上凸设有滚轮1304，滚轮1304矮于平移齿轮1303，支撑臂12上设有驱动连接轴1302转动的平移减速电机1305。
[0019]进一步的，夹板10上设有五个夹具11。
[0020]在该技术方案中，该龙门架通过齿轮齿条带动夹具升降，并且在平移机构的配合下实现平移，结构更加稳定，承重性更强，可以同步抓取多个花篮同步进行清洗，提高效率。
[0021]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0022]以上仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波清洗用龙门架，其特征在于：包括底座和升降机构，所述升降机构包括齿轮箱和升降齿条，所述齿轮箱设置在底座上，所述升降齿条从上往下依次贯穿齿轮箱和底座，所述齿轮箱内设有与升降齿条啮合的升降齿轮，所述升降齿轮通过转轴与齿轮箱转动连接，所述底座上设有驱动转轴转动的第一减速电机，所述底座下方设有与升降齿条底端固定连接的升降板，所述升降板底部设有一排双向气缸，一排所述双向气缸位于同侧的输出端共同连接有夹板，所述夹板上固定有若干夹具，所述齿轮箱两侧的底座上设有一对支撑臂，一对所述支撑臂的顶端与平移机构连接。2.根据权利要求1所述的一种超声波清洗用龙门架，其特征在于：所述升降机构有两个，两个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，陆进进，吴佳杰，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：新型
国别省市：