蒸镀掩模单元的制作方法技术

本发明专利技术提供一种蒸镀掩模单元的制作方法。该方法包含：形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；将具有光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由蒸镀掩模和保护膜夹着光固化性树脂膜，且光固化性树脂膜覆盖多个开口的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；隔着保护膜对光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；去除保护膜的步骤；在去除了保护膜之后，对光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；通过使光固化性树脂膜显影来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；将具有至少一个窗的支承架以与蒸镀掩模接触的方式配置在蒸镀掩模上的步骤；和使用镀敷法形成用于将支承架固定于蒸镀掩模的连接部的步骤。根据本发明专利技术，能够以高成品率或低成本地制造蒸镀掩模单元。够以高成品率或低成本地制造蒸镀掩模单元。够以高成品率或低成本地制造蒸镀掩模单元。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模单元的制作方法


[0001]本专利技术的实施方式之一涉及蒸镀掩模单元的制作方法。

技术介绍

[0002]作为平板型显示装置的一个例子，可举出液晶显示装置或有机电致发光显示装置。这些显示装置都是包含绝缘体、半导体、导体等各种材料的薄膜被层叠在基板上而成的构造体，这些薄膜通过适当地图案化、连接，能够表现出作为显示装置的功能。
[0003]形成薄膜的方法大致分为气相法、液相法、固相法。气相法分为物理气相法和化学气相法，作为前者的代表例，已知一种蒸镀法。蒸镀法中的最简便的方法是真空蒸镀法，通过在高真空下加热材料，使材料升华或蒸发(以下将升华和蒸发统称为气化)而生成材料的蒸气，通过使该蒸气在目的区域(以下称为蒸镀区域)固化、沉积，能够得到材料的薄膜。这时，为了在蒸镀区域有选择地形成薄膜，且在其以外的区域(以下称为非蒸镀区域)不沉积材料，使用物理屏蔽非蒸镀区域的掩模(参照专利文献1、2)。该掩模被称为蒸镀掩模等。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2009
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模单元的制作方法，其特征在于，包含：形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；将具有光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由所述蒸镀掩模和所述保护膜夹着所述光固化性树脂膜，且所述光固化性树脂膜覆盖所述多个开口的方式配置在所述蒸镀掩模上的步骤；隔着所述保护膜对所述光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；去除所述保护膜的步骤；在去除了所述保护膜之后，对所述光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；通过使所述光固化性树脂膜显影来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；将具有至少一个窗的支承架以与所述蒸镀掩模接触的方式配置在所述蒸镀掩模上的步骤；和使用镀敷法形成用于将所述支承架固定于所述蒸镀掩模的连接部的步骤。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述第一曝光和所述第二曝光是隔着同一光掩模进行的。3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述保护膜含有聚烯烃、聚酰亚胺、聚酯、聚苯乙烯或者含氟聚烯烃。4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述支承架含有铁和镍。5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述连接部的形成是以所述连接部的厚度成为所述多个抗蚀剂掩模的厚度以下的方式进行的。6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述至少一个窗包含多个窗，所述支承架以所述多个抗蚀剂掩模的至少一个从所述多个窗中的一个窗露出的方式配置在所述蒸镀掩模上。7.一种蒸镀掩模单元的制作方法，其特征在于，包含：形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤；以覆盖所述多个开口的方式将第一光固化性树脂膜配置在所述蒸镀掩模上的步骤；将具有第二光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜，以由所述蒸镀掩模和所述保护膜夹着所述第二光固化性树脂膜，且所述第二光固化性树脂膜覆盖所述多个开口的方式配置在所述第一光固化性树脂膜上的步骤；隔着所述保护膜对所述第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜实施第一曝光的步骤；去除所述保护膜的步骤；在去除了所述保护膜之后，对所述第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜实施第二曝光的步骤；通过使所述第一光固化性树脂膜和第二光固化性树脂膜显影，来形成多个抗蚀剂掩模的步骤；将具有至少一个窗的支承架以与所述蒸镀掩模接触的方式配置在所述蒸镀掩模上的
步骤；和使用镀敷法形成用于将所述支承架固定于所述蒸镀掩模的连接部的步骤。8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：所述第一曝光和所述第二曝光是隔着同一光掩模进行的。9.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于：所述保护膜含有聚烯烃、聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：西之原拓磨，渡部将弘，松本优子，木村辽太郎，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：