下载蒸镀掩模单元的制作方法的技术资料

文档序号:29955313

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本发明提供一种蒸镀掩模单元的制作方法。该方法包含:形成具有多个开口的蒸镀掩模的步骤;将具有光固化性树脂膜和保护膜的抗蚀剂膜,以由蒸镀掩模和保护膜夹着光固化性树脂膜,且光固化性树脂膜覆盖多个开口的方式配置在蒸镀掩模上的步骤;隔着保护膜对光固化...
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