一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及金属掩膜装置技术领域，且公开了一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，包括掩膜板，所述掩膜板下表面设置有磁性保护膜，且所述磁性保护膜与所述掩膜板相连接，所述掩膜板上表面设置有基材，且所述基材与所述掩膜板相连接。该一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，通过将金属掩膜板及基材下面贴上磁性保护膜，用电磁铁来产生磁性，来控制基材与磁性保护膜之间的压力，利用电流大小来控制磁性大小，而由于基材下部分是均匀的铁氧体保护膜，这样的好处是金属掩膜板和保护膜之间有相互的引力，可以控制金属掩膜板对基材之间的压力和使基材受力更均匀，消除了基材与金属掩膜板之间的缝隙或用机械方法来贴合时候可能会产生的金属掩膜板折皱。产生的金属掩膜板折皱。产生的金属掩膜板折皱。

【技术实现步骤摘要】
一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置


[0001]本技术涉及金属掩膜装置
，具体为一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置。

技术介绍

[0002]在有机发光二极管显示面板的制造过程中，通常采用蒸镀工艺形成OLED显示面板中OLED器件的有机发光层，采用蒸镀工艺制造显示面板中的膜层时，通常将具有对应于膜层图案的掩膜版与显示面板的基板上待蒸镀的一侧贴合，并置于蒸镀源上方，蒸镀源中的蒸镀材料受热形成蒸气散至基板上，并沉积在基板上，以在基板上形成膜层。
[0003]目前，现有的掩膜装置的基材与金属掩膜板之间的缝隙或用机械方法来贴合时候可能会产生的金属掩膜板折皱，导致所镀出来的膜的图形产生模糊，精度较差，因此需要对该金属掩膜进行改进。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，具备提高图形的清晰度和避免金属掩膜板插上折皱的优点，解决了现有的掩膜装置的基材与金属掩膜板之间的缝隙或用机械方法来贴合时候可能会产生的金属掩膜板折皱，导致所镀出来的膜的图形产生模糊，精度较差，因此需要对该金属掩膜进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，包括掩膜板(2)，其特征在于：所述掩膜板(2)下表面设置有磁性保护膜(3)，且所述磁性保护膜(3)与所述掩膜板(2)相连接，所述掩膜板(2)上表面设置有基材(6)，且所述基材(6)与所述掩膜板(2)相连接，所述基材(6)上表面设置有电磁铁(7)，且所述电磁铁(7)与所述基材(6)相连接，所述掩膜板(2)外部右侧设置有凸板(9)，且所述凸板(9)与所述掩膜板(2)相连接，所述凸板(9)外部左侧设置有左框架(4)，且所述左框架(4)与所述凸板(9)相连接，所述左框架(4)内部右侧设置有中间连接板(5)，且所述中间连接板(5)与所述左框架(4)相连接，所述中间连接板(5)上表面开设有滑动槽(8)，所述中间连接板(5)右侧外部靠近所述凸板(9)右侧设置有右框架(1)，且所述右框架(1)与所述中间连接板(5)相连接。2.根据权利要求1所述的一种带有磁性保护膜的金属掩膜装置，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨武，杨志，
申请(专利权)人：江苏信核芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：